YSD_Users_K.pdf - 第161页

4-32 4 3. 1 .8 각 설 정의 정합성 확 인 정 확 하 게 보 정 이 되 도 록 하 기 위 해 , 다음 의 설 정 항 목 이 맞 는 지 확 인 합 니 다 . 여 기 에 서 는 , 1 1 1 노 즐 의 설 정 을 예 로 설 명 합 니 다 . 임 의 로 설 정 되 어 있 는 경 우는 , 다음 과 같 이 설 정 해 주십 시 오 . 각 설정항목의 확인 111노즐의 설정예 [셋업]󳉎「노즐정…

100%1 / 400
4-31
4
산타입
가산타입계산식의해 보정면적계산되어 거기따라 량이 보정 .
( 산값 )=( 인식해서 면적 )-( 용액량에서 준면적 )
( 보정면적 )=( 테이블 기준 )+( )
산타보정방법의
보정같이 디스펜보정 노즐을 사용해서 20 으로 디스펜체크실행 , 측정면
0.60 , 정값다음과 같이 계산됩 .
( 산값 )=( 인식해서 면적 )-( 용액타이머에서 산출한 준면 )
=0.06-1.00=-0.40
기에보정비를 섹션합니다 . 량과 면적관계그래프와 같습니 .
0
0.5
1.0
1.5
2.0
2.5
3.0
3.5
0 10 20 30 40 50
−0.4
−0.4
가산타입 그래프 1
액량 [msec]
도포면적 [mm2]
기준면적
보정면적
67410 - N 7-0 0
스펜기준면 , 적을 바탕으로 자동으로 합니 .
1. 디스펜체크와 20[msec] 으로 기준면합니다 .(=1.0)
2. 상기1. 에서 준면적보정그래프가 교차하부위를 구합니 .
3. 상기2. 에서 얻은 부위의 액량이 후의 액 .
0
0.5
1.0
1.5
2.0
2.5
3.0
3.5
0 10 20 30 40 50
24
보정값
1
2
3
가산타입 그래프 2
액량 [msec]
도포면적 [mm2]
기준면적
보정면적
67411-N7-0 0
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4
3.1.8 정의 정합성
, 다음. , 111
. 우는, 다음주십 .
각 설정항목의 확인
111노즐의 설정예
[셋업]󳉎「노즐정보」 화면 [장비설정]󳉎「디스펜스 보정」 화면
[기판]󳉎「프리 디스펜스」 화면
「마크」 화면
1
1
4
4
3
3
2
2
68426-N7- 0 0
111 노
설정값 내용
1 입 -111 : 타입 11 대상 노즐과 보정타입이 맞는지 확인합니다 .
2 11 용할 마크 No. 맞는확인합니다 .
3 면적 / 주변길이 : 0.190 형상체크방식이 면적 / 변길이로 되어 있으며 , 기준면적 값맞는확인합니다 .
4 20 액량과 타이머 값이 맞는지 확인합니다 .
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4
4. 위치디스기능
4.1 개요제한사항
, 합공틀어 , 으로
도포 향상 . 도트 도트 도포도트
, 량을 , 판상.
도포 틀어짐량
이상적인 위치
도포위치
도포 틀어짐량
67412-N7-00
스가 가능 , 1 Shot 2Shot 즐이 . ( )
, 2Shot 즐에XY 으로 즐에.
대응 노즐예
사용 가능
사용 불가능
67413 -N7-0 0
[ 설정 ]-[ 파라 ]-[ 치보스펜 ] 면의 [ 기판 로딩 ] [ 커버 픈후 실행 ]
V4.42STD R1.000 이후 대응됩니다 .
도트 플레이트는 V4.42STD R1.000 후에 응됩니 .
도트를 인식도포액용하우는 , 액량위치보정있습 .
특히 , 도트 플레트는 백 조명장착되으므로 , 도트 스테이션에인식라도 , 플레에서인식
않을 능성이 있습 .
위치보정 스펜포함하이터미대 (YGD, HSD-XG ) , 미대프라인 소프
용해서 기판 하면 , 위치보정 스펜상실할 수 있습니 .
Y.Fact 대응 버전 , V4.41STD R1.000 이후 .