YSD_Users_K.pdf - 第210页
5-22 5 4.4 피 듀셜 파라미 터 피 듀셜 기 능 이 란 , 기 판 상 에 설 치 된 피 듀셜 마 크 의 인 식 결 과 로 부 터 기 판 의 기 준구 멍 또 는 외 형 가공 오차 , 기 판 고 정 기 구 에 서 생 기 는 오 차 , 기 판 상 의 국 소 적 인 뒤 틀 림 을 보 정 하는 기 능 입 니 다 . 여 기 에 서 는 , 피 듀셜 기 능을 사용 하 기 위 한 피 듀셜 마 크 를 …
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블록피치 및 개수를 입력합니다 .
전개하고 싶은 블록의 XY 피치와 XY 개수를 입력하고 [OK] 버튼을 클릭하여 주십시오 .
옵셋 No.1의 좌표
피치전개
기판원점
X
Y
68513-N7- 00
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전개내용을 확인합니다 .
블록옵셋에 전개된 데이터가 표시되므로 확인하여 주십시오 . 또한 , 전개를 하면 모든 블록옵셋이 유효
하게 됩니다 . 스킵할 블록이 있을 경우는 체크박스 버튼을 클릭해서 체크하여 주십시오 .
피치 전개후의 데이터
피치 전개된 데이터
스킵 체크박스
68514-N7- 00
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4.4 피듀셜 파라미터
피듀셜 기능이란 , 기판상에 설치된 피듀셜마크의 인식결과로부터 기판의 기준구멍 또는 외형가공오차, 기판
고정 기구에서 생기는 오차, 기판상의 국소적인 뒤틀림을 보정하는 기능입니다. 여기에서는 , 피듀셜 기능을
사용하기 위한 피듀셜마크를 설정합니다. 피듀셜마크는 2 점 또는 4 점을 1 조로하며, 각각의 마크형상은 달
라도 상관없습니다. 사용할 피듀셜마크 데이터는 미리 마크정보에 등록해 둘 필요가 있습니다. (본 장의
「6. 마크 정보의 작성」참조 .)
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피듀셜 파라미터 화면
68515-N7- 00
1. 기판 , 블록 , 로컬
피듀셜 기능에는 크게 나누어 , 기판단독으로 설정하는 「기판」피듀셜 , 분할기판의 블록단위로 설정하는「블록」피듀셜 ,
탑재데이터 단위로 설정하는「로컬」피듀셜이 있습니다 . 유효로 하고 싶은 피듀셜 기능을 「실행한다」로 설정합니다 .
변경할 때는 [ 편집 ] 버튼을 누릅니다 .
2. 기판
파라미터 리스트의 맨 윗행에는 기판피듀셜 마크를 설정합니다 .
3. 블록
파라미터 리스트의 둘째 행에는 블록피듀셜 마크를 설정합니다 .
4. 패턴명칭
피듀셜 마크의 명칭을 입력합니다 . (1 행과 2 행에는 입력 불가능 .)
5. 종류
파라미터 리스트의 셋째 행 이후에 로컬피듀셜 기능의 종류를 지정합니다 .「포인트」,「로컬」,「4 로컬메인」,「4 로컬서브」
에서 선택합니다 .
6. X1, Y1
피듀셜 마크 1 의 기판원점에서 XY 좌표를 입력합니다 . [ 티칭 ] 버튼으로 티칭할 수도 있습니다 .
7. 마크 1
피듀셜 마크 1 에 사용할 마크번호 ( 마크정보에 등록한 마크 ) 를 입력합니다 .
8. X2, Y2
피듀셜 마크 2 의 기판원점으로부터의 XY 좌표를 입력합니다 . [ 티칭 ] 버튼으로 티칭할 수도 있습니다
9. 마크 2
피듀셜 마크 2 에 사용할 마크번호 ( 마크정보에 등록한 마크의 번호 ) 를 입력합니다 . 마크 1 과 같으면 , 「0」이어도 상관
없습니다 .
n
요점
마크의 XY 좌표는 [ 티칭 ] 버튼으로 티칭할 수도 있지만 , 이 좌표 데이터의 정확함은 탑재정밀도에 영향을 주므로 , 정확한
설계 데이터를 이용해서 입력하실 것을 권장합니다.
10. 오리지널 블록번호
블록전개 ( 참고데이터 있음 ) 를 실행했을 때에 , 전개된 블록별로 자동으로 할당되는 블록번호를 표시합니다 .
블록전개 ( 참고데이터 있음 ) 에 대해서는 , 제 7 장「2.2.1 블록옵셋의 전개」를 참고해 주십시오 .
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4.4.1 기판피듀셜 기능
기판피듀셜 기능은, 2 개 1 조의 피듀셜 마크를 사용하여 , 기판전체를 위치보정하는 기능입니다. 특히 기판
고정이 불균형할 때 유효합니다. 기판전체에 대하여 한 쌍의 피듀셜 마크가 필요합니다. 아래 그림과 같이,
기판원점에서의 마크1과 마크 2 의 XY 좌표 (mm) 를 입력합니다.
마크1 (X1, Y1)
마크2 (X2, Y2)
기판 피듀셜
기판원점
67511-N 7-0 0
4.4.2 블록피듀셜 기능
블록피듀셜 기능은, 각 블록을 2 개 1 조의 피듀셜 마크를 사용하여 위치보정을 하는 기능입니다.
특히 기판고정이 불균형할 때 유효합니다. 각 블록별로 한 쌍의 피듀셜 마크가 필요합니다.
아래 그림과 같이, 기준블록의 기판원점에서의 마크1과 마크 2 의 XY 좌표 (mm) 를 입력합니다.
마크1 (X1, Y1)
마크2 (X2, Y2)
기준블록 원점
블록 피듀셜
블록2
67512-N7-00
c
주의
블록피듀셜 기능은 , 옵셋정보의 「블록피듀셜」이 설정되어 있는 기판데이터 ( 블록옵셋 기능을 사용하고 있는 분할 기판데이터 )
만 사용할 수 있습니다 .