YSD_Users_K.pdf - 第122页
3-9 3 불량 의 원인 과 대책 기판 표면 에 노즐 스톱퍼의 찍은 흔적이 심하게 남을 경우 원인 헤드 하 강단이 너무 낮다 . 대책 기판 면의 높이 또는 지정되어 있는 디스펜스 시퀀스 목표높 이를 재확 인 해 주 십시오 . 원인 노즐이 올바르게 장 착되어 있 지않다 . 대책 노즐 을 올바르 게 장 착 해 주십시오 . 용액의 늘어짐이 발생할 경우 원인 노즐의 능 력 이상의 액량 데이터 가 입…
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그 외의 도포 불량
불량의 원인과 대책
갑자기 도포량이 늘어날 경우
원인 히터의 설정온도가 높다 .
대책 적정온도로 설정하고 , 노즐선단에서 용액을 수동으로 배출시켜서 온도가 내려갈 때까지 기다려 주십시오 .
원인 토출 에어압력이 적정치보다 높다 .
대책 에어압력을 적정치로 되돌려 주십시오 .
원인 액량데이터에 큰 수치가 잘못 입력되어 있다 .
대책 디스펜스 데이터의 액량치를 적정치로 되돌려 주십시오 .
원인 노즐홀의 직경이 큰 노즐이 장착되어 있다 .
대책 적정한 노즐을 세팅하여 주십시오 .
원인 실린지 내의 용액 온도가 실온보다 낮다 .
대책 실린지 내부가 실온이 될 때까지 충분한 시간을 두십시오 .
원인 디스펜스체크만 실행하고 보정을 사용하지 않고있다 .
대책
셋업화면의 「노즐정보」 의 각 헤드의 보정타입이 「없음」 으로 되어 있는지 확인해 주십시오 .
보정타입이 설정되어 있으면 도포량이 갑자기 늘어날 경우가 있습니다 .
갑자기 도포량이 줄거나 , 또는 안나올 경우
원인 실린지 내의 용액이 없다 .
대책 실린지의 교환과 용액소진 경고용 수치 , 용액소진 센서의 설정 ( 도트 스테이션의 최대액량） 을 재검토 해 주십시오 .
원인 히터의 설정온도가 낮다 .
대책 적정온도로 설정하고 , 「장치」 - 「헤드」 탭의 「온도」 표시가 설정치로 될 때까지 기다려 주십시오 .
원인 실린지의 뚜껑을 닫지 않고 방치해서 , 실린지 선단부 , 실린지내 피스톤 주위의 용액이 건조해서 굳어졌다 .
대책 실린지를 교환해 주십시오 .
원인 기판의 두께가 부분적으로 얇다 , 또는 패턴의 동박 두께가 이전보다 두꺼워졌다 .
대책 기판을 확인해 주십시오 . 액량 데이터를 변경해 주십시오 .
원인 노즐 세팅시에 이물이 혼입되어서 막혀있다 .
대책 노즐을 세척하고 에어블로우 해 주십시오 .
원인
실린지나 노즐을 헤드에 장착한채 며칠동안 방치하여 , 노즐선단 또는 실린지 내에서 용액이 굳어있다 .
（UV 경화형이 아니더라도 방치하면 굳어진다 .）
대책
노즐내의 경화물 제거와 세척을 해 주십시오 . 불가능할 경우는 노즐을 교환해 주십시오 .
저장상태가 양호한 실린지 （접착제） 로 교환해 주십시오 .
원인 노즐이 제대로 장착되어 있지 않다 .
대책 노즐과 실린지를 탈착하고 , 노즐과 조인트 노즐을 세척한 후 , 확실하게 장착해 주십시오 .
원인 디스펜스 체크만 실행하고 보정을 사용하지 않고있다 .
대책
셋업 화면의 「노즐정보」 의 각 헤드의 「보정타입」 이 「없음」 으로 되어 있는지 확인해 주십시오 .
보정타입이 설정되어 있으면 도포량이 갑자기 줄어 들 경우가 있습니다 .
가끔 용액이 도포되지 않을 경우
원인 실린지 내의 용액중에 아주 작은 기포가 혼입되어 있다 .
대책 실린지를 교환해 주십시오 . 탈포를 충분히 실시해 주십시오 .
원인 노즐 또는 실린지 내에 고체화된 입자가 분포되어 있다 .
대책 노즐과 실린지를 교환해 주십시오 .
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불량의 원인과 대책
기판 표면에 노즐 스톱퍼의 찍은 흔적이 심하게 남을 경우
원인 헤드 하강단이 너무 낮다 .
대책 기판면의 높이 또는 지정되어 있는 디스펜스 시퀀스 목표높이를 재확인 해 주십시오 .
원인 노즐이 올바르게 장착되어 있지않다 .
대책 노즐을 올바르게 장착해 주십시오 .
용액의 늘어짐이 발생할 경우
원인 노즐의 능력이상의 액량 데이터가 입력되어 있다 .
대책 데이터의 재검토 , 또는 액량에 맞는 노즐로 교환해 주십시오 .
원인 히터의 설정온도가 낮다 .
대책 적정 온도로 설정해 주십시오 .
원인 헤드의 상승속도가 너무 빠르다 .
대책 디스펜스 시퀀스의 상승속도를 늦춰 주십시오 .
원인 노즐의 선단에 고착물이 있다 .
대책 노즐의 선단을 칫솔 등으로 닦아 주십시오 .
용액의 물보라가 디스펜스 포인트 주변에 흩어져 날려 있을 경우
원인 헤드의 상승속도가 너무 빠르다 .
대책 디스펜스 시퀀스의 상승속도를 늦춰 주십시오 .
원인 노즐의 선단에 고착물이 있다 .
대책 노즐의 선단을 칫솔 등으로 닦아 주십시오 .
디스펜스 포인트가 어긋날 경우
원인 디스펜스 데이터에 부적절한 데이터가 입력되어 있다 .
대책 해당되는 디스펜스 데이터를 수정해 주십시오 .
원인 노즐이 제대로 장착되어 있지 않다 .
대책 노즐을 확실하게 장착해 주십시오 .
2 점 노즐의 도포각도가 어긋날 경우
원인 기판이 위로 많이 휘어져 있다
대책 푸쉬업 핀을 재조정 해 주십시오 .
원인 노즐이 올바르게 장착되어 있지않다 .
대책 노즐을 올바르게 장착해 주십시오 .
실린지의 잔량감소와 함께 택타임이 늦어질 경우
원인 실린지의 수두차에 의해 도포량이 줄어들고 보정 타이머가 늘어났다
대책 디스펜스 보정 리미트 체크를 설정해 주십시오 . ( 상세한 내용은 제 4 장 「5.3 디스펜스 보정 리미트 체크」 참조 )
장비 , 헤드별로 기능차가 클 경우
원인 밸브 등이 노화되었다 .
대책
밸브를 교환하거나 에어 경로를 청소해서 원인을 제거해 주십시오 .
잠정적인 대책으로 [ 장비설정 ]- 「노즐 데이터」 의 「계수」 값을 변경한다 .
디폴트값 :1.0 →수치 변경후의 도포량 :0.9( 소 ) 〈 1 〈 1.1( 대 )
노즐마다 XYR 에 편차가 있을 경우
원인 노즐 개체에 차이가 있다 .
대책 위치보정 디스펜스 기능을 사용해 주십시오 . ( 상세한 내용은 제 4 장 「4. 위치보정 디스펜스 기능」 참조 )
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3. 페이퍼 사용량의 절감
도트 스테이션의 페이퍼 사용량을 절감할 수 있는 기능에 대해서 다음과 같이 설명합니다 .
3.1 프리 디스펜스 실행간격 지정기능
프리 디스펜스 동작을 장수 또는 시간별로 실행간격을 지정하는 기능입니다. 실행간격을 지정함으로서 도트
스테이션의 도포 횟수를 줄여서 , 페이퍼 사용량을 절감할 수가 있습니다. ( 헤드단위로 설정가능 )
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설정범위
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기판수량 간격 :0~999 장
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시간간격 :0~30000 초
기판수량 간격 , 시간간격 중에서 어느 한쪽을 설정해서 , 그 조건으로 실행 간격을 지정할 수도 있습니다 .
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기판수랑 간격의 설정 예
「기판수량 간격」지정에서 헤드 1 의 설정값이「2」일 경우는 , 2 장 간격으로 프리 디스펜스를 실행하고 , 헤드 2 의 설정값
이「4」의 경우는 , 4 장 간격으로 프리 디스펜스를 실행합니다 .
헤드번호 / 기판수량 1 장째 2 장째 3 장째 4 장째 5 장째
헤드 1 실행 – 실행 – 실행
헤드 2 실행 – – 실행
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간격실행 설정방법
1. [ 기판 ]-「프리 디스펜스」화면을 표시합니다 .
2. 「기판수량 간격」,「시간간격 (sec)」란에 설정값을 입력합니다 .
실행간격의 설정
간격 지정조건 설정
68300-N7-00
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요점
초기에는 연속생산에 있어서 2 장에 1번으로 간격을 설정해 주십시오 . 구체적인 설정은 다음과 같습니다.
• 기판수량 간격 :2 장
• 시간간격 : 사이클 타임 +10 초 정도
c
주의
설정 간격을 너무 띄우면 , 도트 디스펜스의 첫번재 점수가 극단적으로 작아질 수가 있습니다 . 점차적으로 간격을 넓히면서 도포
상태를 확인해 주십시오 .