YSD_Users_K.pdf - 第152页

4-23 4 3 .1 . 6 디스펜스 보정 맵의 작성 작 성 한 마 크 데 이 터 와 프 리 디 스 펜 스 파 라 미 터 를 바 탕 으로 , 디 스 펜 스 보 정 맵 을 작 성 합 니 다 . 보 정 맵 의 작 성 은 , 새 실 린 지 를 사 용 해 서 도포가 충분 히 안 정 된 상 태 에 서 실 행 합 니 다 . 전 술 「3 . 1 . 4 도 트 스 테 이 션 상에 서 의 도포 확 인 」 에…

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4
3.1.5 에서의 확인
도트 도포 , , 도트
판상도포차이.
1
디스펜라미터를 입력합니다 .
[ ]-도트 스펜화면열어 , 도포량을 확인파라미주십 .
안정된 상태에도포량을 하기 , 속해5 각 액량으로 도포하는 이터작성합니 .
도트 디스펜스
파라미터 입력예
68418-N7- 00
2
기판에 포합니다 .
[ ]-프리 스펜화면 , [ ] 튼을 눌러서으로 설정합니 . 둥운전으로
판상도포주십시 . 도포할 크기가 도록 액량을 반복합니 .
3
테이션도포합니다 .
[ ]-「프리 스펜」화[ ] 튼을 눌러「도트 스테션상」으로 설정돌립니다 .
판상도포했때와 같이 량을 정합니 .
「셋」화면의 [ 스펜스트 ]-[ 실행 ] 버튼눌러서 설정량으로 도트 스테이션도포
십시오 .
4
포량의 이를 합니다 .
육안으로 도트 션상에 도포량과 높이를 확 , 카메도트의
상을 주십 . , 프리 스펜「20」으로 돌립 .
도포량의 상태확인
󳋴 기판상의 도포가 클 경우 󳋴 도포에 차이가 없을 경우 󳋴 기판상의 도포가 작을 경우
도트 스테이션
차이
기판
차이
낮다
높다
높다
낮다
차이 없음
차이 없음
차이 없음
동일 액량으로 도포했을 때의 예
674 0 6 -N7- 0 0
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4
3.1.6 디스펜스 보정 맵의 작성
으로 , .
, 도포가 충분. 「3.1.4 상에
도포량이 , 사용. , 111
우를 들어.
1
테이션의 설정을 변경합니다 .
도트 스테프리수를 늘리 , 도트 스테션의 최대 프리수를「10으로
변경합니다 .
[ 장비설정 ]-「도트 스테션」의도트 」피치「4.000」으로 , 수를「10」으로
주십시 .
도팅 피치와 개수변경
피치를「4.000」으로 설정 개수를「10」으로 설정
68419 -N7-0 0
n
요점
대 프리 도수를 4mm 치 X 10 로 하 , 도트 스의 도포 ( 퍼 사용 ) 를 1로 할 수가 있으므로 ,
퍼 사용량을 절약할 수 있.
c
주의
특주 노즐을 사할 경우는 , 설정을 변경지 마십시 .
2
기판 데이터를 다시 읽습니다 .
[ 판선택 ] 버튼눌러서 기판 이터주십 .
n
요점
을 변을 경, 설용을 반기 위해 기판 데를 다시 읽.
3
조정 유틸리티를 기동합니다 .
1. 화면의 [ 조정 ] 버튼누릅니 .
2. 「Supervisor , 스워드를 , [OK] 튼을 누릅니 .
3. [Dispense Correction] 버튼누릅니 .
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4
4
실행 항목설정합니다 .
설정「3.1 스펜능을 사용
설정참조주십 .
실행항목의 설정
111노즐 설정예
도포장소
[타이머 자동입력] 버튼
[실행] 버튼
타입
헤드
68420-N7- 0 0
111 노
항목 권장값 내용
헤드 Head 1 포할 헤드를 선택합니다 .
Typ e Type11 노즐보정타입을 택합니다 .(111 노즐의 경우는 Type11)
Num. 5 측정할 점수설정합니다 .( 권장 :5 점이상 )
Pre Disp.Num. 5 프리 도팅점수설정합니다 .( 권장 :3 점이상 )
Mark No. 11 인식에 용할 마크 번호를 설정합니다 .
Speed 100 스피드는 100 로 설정합니다 .
Use Section 10 보정할 섹션수설정합니다 .( 권장 :10)
Height Cor. Not Use 비접촉 노즐의 경우 , 용」 으로 설정합니다 .
장소
DotStation
일반적으로 DotStation 설정합니다 .