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4.2 Z 축의청소 • 급 유  3 -1 0 4.2. 1 Z 축가 이 드및볼스크 류 ,샤 프트의청소 • 급 유  3 -1 0 4.3 푸 쉬업 (PU) 축의청소 • 급 유  3 -11 4.3. 1 P U 축볼스크류및볼가이 드의청소 • 급 유  3 -1 1 4.4 기판반 송 부 의점검 3- 12 4. 4. 1 컨베 이 어벨 트의점검 과청소 3 …

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목차
머리말
1. 각장의내용 i
2. 유지보수항목일람 ii
1 장 유지보수에대하
1. 장비의성능을유지하기위해서 1-1
1.1 수조건및환경조건 1-1
1.2 정기적인점검
청소의중요성 1-2
2. 유지보수작업의준비 1-3
2.1 품 1-3
2.2 션구입품 1-4
2.3 요공구 1-5
2 장 일상적인유지보수항
작업하기전에 2-1
1. 노즐의청소 2-2
1.1 드토출태의확인 2-2
1.2 노즐의청소 2-3
3 장 정기적인유지보수항목
1. 주 3-1
1.1 베이어센서의상태와동작확인 3-1
1.2 기판클램의상태와동작확인 3-2
1.2.1 기판클램프의상확인 3-2
1.2.2 기판클램프동작의확인 3-2
2. 월 3-3
2.1 X,Y 축의청와급유 3-4
2.1.1 X 축볼스크류의청
급유 3-4
2.1.2 X 축가드의청
급유 3-5
2.1.3 Y 축볼스크류의청
급유 3-6
2.1.4 Y 축가드의청소
3-7
3. 6 3-8
3.1 베이스부필터의청소 3-8
4. 1 년 3-9
4.1 W 축의청소
유 3-9
4.1.1 W 축볼스크의청소
급유 3-9
4.1.2 W 축가드의청소
급유 3-9
4.2 Z 축의청소
3-10
4.2.1 Z 축가드및볼스크 ,샤프트의청소
3-10
4.3 쉬업 (PU) 축의청소
3-11
4.3.1 PU 축볼스크류및볼가이드의청소
3-11
4.4 기판반의점검 3-12
4.4.1 컨베어벨트의점검과청소 3-12
4.4.2 컨베어벨트의교환 3-13
4.5 6 각스라인의청소
3-14
4.6 / 미스트필터의점검
3-15
4.6.1 필터컵의청소 3-15
4.6.2 에어필터및미스트필터의청소 3-16
4.7 컨트롤러부필터의청소및교환 3-17
5. 트스테이션의유지보수 3-18
4 장 유개소일
1. 적용구리스와구리스건 4-1
1.1 용구리스 4-1
1.2 구리스건 4-1
2. 유개소 4-2
2.1 헤드부 4-2
2.1.1 Z 축가드및볼스크 , 샤프트 4-2
2.2 X 부 4-3
2.2.1 X 축가드와볼스크류 4-3
2.3 Y 부 4-4
2.3.1 Y 축가드와볼스크류 4-4
2.4 기판반부 4-5
2.4.1 W 축가드및볼스크와6 각스플라인 4-5
2.4.2 PU 축볼가이드와볼스크류 4-6
을 대
. ,
올바르게 사용해 주십시오 .
읽으에는 취급 설명서필요 바로 참고할 있도록 가까
곳에 소중히 보해 주십시오 .
머리말
목차
1. 각장의내용 i
2. 유지보수항목일람 ii