YSD_Users_K.pdf - 第377页

3-3 3  2. 매월 여 기 에서 는 ,점검 후의청 소및급 유를중심 으로설 명 합니 다 . 각축 의볼스크 류및가이드 를점검 해주 십 시 오 .점 검내 용은다음과같 습니 다 .  X,Y 축에 는구리 스비산방 지커 버 가부착되 어있 으므로 ,점 검 시 에 는커 버 를탈착하 고점 검작업을실 시해주십 시오 . █  점검포인트 1 . 볼스…

100%1 / 400
3-2
3
1.2 기판클램프의상태와동확인
1.2.1 기판클램프의상태확인
다음목을 주십 .
1.판클램프했을때 ,기판에덜컹거림이없을것 .
2.기판클램프했을때 ,기판누름플레트와기판의사에틈새가없을것 .
3.기판클램프했을때 ,컨베어레일상면과기판과의단차가발생지않을것 .
4.기판클램프유닛의동작이원활하게작동할것 .
1.2.2 기판클램프동작의확
1
[ ]-「컨베이어」을선택합니다 .
2
[ 컨베이어폭 ] 버튼을눌러서기판을
입력합니다 .
컨베이어폭변경대화창의「변경후의컨이어
에기판폭을입고[OK] 튼을눌러주
십시오 .
컨베이어가지정된폭로이합니 .
3
기판두께를입력합니다 .
[ ] 버튼을눌러서「두께에기판두께를
고[OK] 버튼을눌러주십시 .
4
[ 기판클램프 ] 버튼을눌러서기판을
프합 .
5
재차[ 기판클램 ] 을눌러서
기판을언클램프합니다 .
58302-N7-00
"Step4,5" 의기판클램 ,언클램를반복
해서 , 작이안지확합니 .
동작의 확인
Step 2-5
2
45
3
3-3
3
2.매월
에서 ,점검후의청소및급유를중심으로설합니 .
각축의볼스크류및가이드를점검해주 .점검내용은다음과같습니 .
X,Y 축에는구리스비산방지커가부착되어있으므로 ,점는커를탈착하고점검작업을실시해주십
시오 .
점검포인트
1. 볼스가이드상이물질의 부착 여부
볼스크류및가이드상에칩등이튀어서부착되어있지확인하여주십시 .
2. 볼스가이드상의 구리스 적절 여부
구리스가흘러리거나튀어서전혀묻어지않거 ,또는변색어굳어있지않은지상태를확인하여주 .
e
3. 볼스류에서의 이음발생 여부
비상정지버튼을누른상태에 ,X 축을손으로밀어봐서이상한소리가나지않지확인하여주십시 .
대처방
1.칩등이끼이게되면볼스크류및가이를손상시는원이되므로 ,부착되어있을경우는구리스채닦아내거
핀셋등으로제여주십시 .
2.후술「청소
급유」방법을참해서구스를주입및도포해주십시 .
3.상기의1. 과2. 의대방법을실도이상한소리가날경는야마하또는대리점으로연해주십시 .
c
주의
구리스의사용에관해서 ,제 1 「2.유지보수작의준비에기재되어있「구리스의취금에관한주의사항을읽어주십
시오 .
c
주의
X,Y 축의볼스크와가이드에서이음이발생할경우에 ,대리에연락해주 .
자체인분해청소는보장의대상이안됩니 .
3-4
3
2.1 X,Y 축의청와급
X, Y 스크, 가이급유. (NSL)
.
2.1.1 X 축볼크류의청소
급유
e
1
비상정지버튼을누릅니다 .
안전을위해 ,반드시장비를비상정지상태로해
십시오 .
2
구리스비산방지커버를분리합니다 .
1. 자드라이버로구리스비산방지커버좌측의
커버고정나사를분리합니다 .
2. 드를좌측끝지이시켜 ,십자드라이
로구리스비상방지우측의커버고정나사를
리합니다 .
3. 구리스비산방지커를우측으로당겨서빼
십시오 .
57301-N7-0 0
참고
X 의 구스 비지 커를 장할 때 , 상와 반
으로 작해 주십 .
3
볼스크류부를청합니 .
1. 동핸들을잡고각축을한쪽으로이
니다 .
2. 볼스크류전체를먼지가나지않는종이와이
( 클린룸용 )등으로오래된구리스와더러
냅니다 .
3. 축을반으로이시켜 ,반의볼스
크류도니다 .
57302-N7-00
c
주의
소작시에 ,볼스크류의리드홈부분도깨히닦아주
십시 .또 ,이물질등의발생여도확해주십시 .
4
구리스를도포합니다 .
구리스건을사용해서 ,구리스니부터지정
구리 (NSL) 를주입해주십 .축을손으로
움직여서여의구리스를닦아주십시 .
57303-N7- 0 0
5
커버를원상태로되돌립니다 .
구리스비산방지커를탈착했을때와반대
로장착해주 .
X축 볼스크류 커버의 분리
Step 2
커버고정 나사
구리스
비산방지 커버
X축 볼스크류의 청소
Step 3
이동용 핸들
닦기용 와이퍼
X축 볼스크류의 급유
Step 4
X축 볼스크류용 구리스 니플
구리스 건(표준 노즐)