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3-3 3 2. 매월 여 기 에서 는 ,점검 후의청 소및급 유를중심 으로설 명 합니 다 . 각축 의볼스크 류및가이드 를점검 해주 십 시 오 .점 검내 용은다음과같 습니 다 . X,Y 축에 는구리 스비산방 지커 버 가부착되 어있 으므로 ,점 검 시 에 는커 버 를탈착하 고점 검작업을실 시해주십 시오 . █ 점검포인트 1 . 볼스…

3-2
3
1.2 기판클램프의상태와동작확인
1.2.1 기판클램프의상태확인
기판의 클램프 상태에 관해서 다음의 항목을 확인해 주십시오 .
1.기판클램프했을때 ,기판에덜컹거림이없을것 .
2.기판클램프했을때 ,기판누름플레이트와기판과의사이에틈새가없을것 .
3.기판클램프했을때 ,컨베이어레일상면과기판과의단차가발생하지않을것 .
4.기판클램프유닛의동작이원활하게작동할것 .
1.2.2 기판클램프동작의확인
1
[ 장치 ]-「컨베이어」탭을선택합니다 .
2
[ 컨베이어폭 ] 버튼을눌러서기판폭을
입력합니다 .
컨베이어폭변경대화창의「변경후의컨베이어
폭」란에기판폭을입력하고[OK] 버튼을눌러주
십시오 .
컨베이어가지정된폭으로이동합니다 .
3
기판두께를입력합니다 .
[ 푸쉬업 ] 버튼을눌러서「두께」란에기판두께를
입력하고[OK] 버튼을눌러주십시오 .
4
[ 기판클램프 ] 버튼을눌러서기판을
클램프합니다 .
5
재차[ 기판클램프 ] 버튼을눌러서
기판을언클램프합니다 .
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"Step4,5" 의기판클램프 ,언클램프를반복
실행해서 , 동작이안정되는지확인합니다 .
동작의 확인
Step 2-5
2
45
3

3-3
3
2.매월
여기에서는 ,점검후의청소및급유를중심으로설명합니다 .
각축의볼스크류및가이드를점검해주십시오 .점검내용은다음과같습니다 .
X,Y 축에는구리스비산방지커버가부착되어있으므로 ,점검시에는커버를탈착하고점검작업을실시해주십
시오 .
█
점검포인트
1. 볼스크류 및 가이드상에 이물질의 부착 여부
볼스크류및가이드상에칩등이튀어서부착되어있는지확인하여주십시오 .
2. 볼스크류 및 가이드상의 구리스 상태 적절 여부
구리스가흘러내리거나튀어서전혀묻어있지않거나 ,또는변색되어굳어있지않은지상태를확인하여주십시오 .
e
3. 볼스크류에서의 이음발생 여부
비상정지버튼을누른상태에서 ,X 축을손으로밀어봐서이상한소리가나지않는지확인하여주십시오 .
█
대처방법
1.칩등이끼이게되면볼스크류및가이드를손상시키는원인이되므로 ,부착되어있을경우는구리스채닦아내거나
핀셋등으로제거하여주십시오 .
2.후술의「청소
•
급유」방법을참조해서구리스를주입및도포해주십시오 .
3.상기의1. 과2. 의대처방법을실행해도이상한소리가날경우에는야마하또는대리점으로연락해주십시오 .
c
주의
구리스의사용에관해서는 ,제 1 장「2.유지보수작업의준비」에기재되어있는「구리스의취금에관한주의사항」을읽어주십
시오 .
c
주의
X,Y 축의볼스크류와가이드에서이음이발생할경우에는 ,대리점에연락해주십시오 .
자체적인분해청소는보장의대상이안됩니다 .

3-4
3
2.1 X,Y 축의청소와급유
X, Y 축의 볼스크류, 가이드의 청소와 급유방법에 대해서 설명합니다. 구리스 건과 지정 구리스 (NSL) 를
준비해 주십시오 .
2.1.1 X 축볼스크류의청소
•
급유
e
1
비상정지버튼을누릅니다 .
안전을위해 ,반드시장비를비상정지상태로해
주십시오 .
2
구리스비산방지커버를분리합니다 .
1. 십자드라이버로구리스비산방지커버좌측의
커버고정나사를분리합니다 .
2. 헤드를좌측끝까지이동시켜서 ,십자드라이
버로구리스비상방지우측의커버고정나사를
분리합니다 .
3. 구리스비산방지커버를우측으로당겨서빼
주십시오 .
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참고
X 축의 구리스 비산방지 커버를 장착할 때에는 , 상기와 반
대순으로 작업해 주십시오 .
3
볼스크류부를청소합니다 .
1. 이동핸들을잡고각축을한쪽으로이동시킵
니다 .
2. 볼스크류전체를먼지가나지않는종이와이
퍼 ( 클린룸용 )등으로오래된구리스와더러
움을닦아냅니다 .
3. 축을반대쪽으로이동시켜서 ,반대쪽의볼스
크류도닦습니다 .
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c
주의
청소작업시에는 ,볼스크류의리드홈부분도깨끗히닦아주
십시오 .또 ,이물질등의발생여부도확인해주십시오 .
4
구리스를도포합니다 .
구리스건을사용해서 ,구리스니플로부터지정
구리스 (NSL) 를주입해주십시오 .축을손으로
움직여서여분의구리스를닦아주십시오 .
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5
커버를원상태로되돌립니다 .
구리스비산방지커버를탈착했을때와반대순으
로장착해주십시오 .
X축 볼스크류 커버의 분리
Step 2
커버고정 나사
구리스
비산방지 커버
X축 볼스크류의 청소
Step 3
이동용 핸들
닦기용 와이퍼
X축 볼스크류의 급유
Step 4
X축 볼스크류용 구리스 니플
구리스 건(표준 노즐)