YSD_Users_K.pdf - 第84页

2-23 2 3 . 4 헤 드부의 셋업 헤 드 부 의 셋 업 과 도 포 상 태 를 확 인 합 니 다 . 1 「 셋업」 화면의 [ 실린지 교환 ] 버튼 을 누릅 니다 . 「실 린지 교환 」화면이 표시됩 니 다 . 2 헤드를 이동시킵니다 . [ 교 환위 치 이 동 ] 버 튼을 눌러 서 헤 드 를 이 동 시 킵 니 다 . 참고 비 상 정 지 상 태 에 서 손 으로 헤 드 를 이 동 시 킬 수 도 …

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푸쉬업 레이트를 승시킵니다 .
안전확인 ,이어[ 푸쉬업 ] 튼을 누릅니 . 기판두께박스가 표시
므로 판두께 , [OK] 누릅니 . 푸쉬플레트가 상승합니다 .
e
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기판이 지탱되어 있는 것을 확인합니다 .
상정튼을 누르고 나서 , 기판을 가볍게 드리거측면에판이 휘어합니 .
판이 휘어지지 않고 균일하게 탱되당합니 . , 푸쉬업 판의 바닥닿지
않거 , 판을 올린 상태되면 , 플레트의 높이조정합니 .
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기판의 고정상태인합니다 .
1. 커버 , 상정지를 해제후에「READY」버튼눌러 주십시 .
2. 「컨화면[ 기판 클램 ] 튼을 눌러기판을 합니 . , 가볍
리거 , 옆에봤을 때의 판의 등을 주십시 . 판의 어짐균일
당합니 .
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주의
비상정지 상라도 기판 클램는 동작합니 . [ 기판 클램 ] 튼을 눌러서 수동으로 조작할 경우는 , 커버를 닫고 손이 끼
않도록 주의해 주십시 .
0
기판을 분리합니다 .
1. 커버 , 상정지를 해제후에「READY」버튼눌러 주십시 .
e
2. 오퍼레이션 널의「RESET눌러서 , 고정해제합니 .
3. 상정튼을 르고 , 어서 판을 주십 .
q
비상정지 상태를 해제합니다 .
, 비상정해제후에「READY」버눌러 주십시 .
참고
의 종로 푸쉬업 핀의 위를 나타내는 화살 ( , 매 ) 를 푸쉬업 플에 부착해 두면 편.
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3.4 드부의 셋업
.
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셋업」화면의 [ 실린지 교환 ] 버튼누릅니다 .
「실린지 교환」화면이 표시됩 .
2
헤드를 이동시킵니다 .
[ 환위 ] 튼을 눌러 .
참고
지 상서 손으로 헤를 이킬 수도 있 .
「실린지 교환」화면
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노즐타입을 인합니다 .
사용할 즐을 확인해 주십시 .
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4
커버를 오픈합니다 .
오퍼비상정튼을 눌러 , 주십시 .
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노즐에 조인트 합니다 .
육각렌치 (1.5) 용해 , 즐에 조인즐을 장착해 .
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노즐합니다 .
1. 즐을 직접 으로 잡거 , 부속 브에 즐을 팅해 , 단의 장착부에 갖다 댑니 .
2. 프트슬릿맞추 , 노즐을 헤드삽입합니 .
3. 브로 즐을 , 돌리면서 즐을 합니 .
노즐의 장착방법
노즐
록 너트
튜브
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실린지를 세팅합니다 .
1. , 댑터장착둡니 .
2. 홀더삽입합니 .
3. 합니 .
4. 호스를 트에 삽입합니 .
실린지를 어댑터 홀더에 세팅
실린지 어댑터
어댑터 홀더
실린지
에어호스
조인트
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주의
에 큰 상표 스티커가 부착되어 있을 경우 , 큰 상표 스티가 부착되어 있면 실지 선에서 반 이상은 벗겨서 세팅해
주십시 . 상표 스티가 용액진 검지 센부에 있으면 , 용액소을 검출할 수 없게됩 .