YSD_Users_K.pdf - 第386页

3-12 3 4 . 4 기판반 송 부의점검 4. 4. 1 컨베이 어벨 트 의점 검과청 소 컨 베 이 어 벨 트 ( 이 후 , 벨 트 라 고 함 ) 의 마 모 상 태 를 점 검 합 니 다 . 벨 트 반송 면 이 마 모 되 면 기 판 이 미 끄 러 져 서 안 정 된 반송을 할 수 없 습 니 다 . 따라 서 정 기 적 으로 마 모 상 태 를 확 인 할 필 요가 있 습 니 다 . 또 한…

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3-11
3
4.3 푸쉬업 (PU) 축의청소
•
급유
푸쉬업 축은, 기판 클램프시에 기판이 휘어지는 것을 방지하는 역할과, 도포 동작시 기판의 처짐을 방지하
는 중요한 축이 됩니다. 정상적으로 기능할 수 있도록 정기적으로 점검과 청소를 실시할 필요가 있습니다.
4.3.1 PU 축볼스크류및볼가이드의청소
•
급유
1
컨베이어폭을최소로설정합니다 .
1. 푸쉬업플레이트상의푸쉬업핀을제거합니
다.
2.「장치」화면의「컨베이어」탭을선택합니다 .
3. [ 컨베이어 ] 폭버튼을눌러서사양의최소폭
을입력하고[OK] 버튼을누릅니다 .
2
푸쉬업유닛을상승시킵니다 .
[ 푸쉬업 ] 버튼을눌러서「1」을입력하고[OK] 버
튼을누릅니다 .
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e
3
장비뒤쪽의커버를탈착합니다 .
「비상정지」버튼을누르고 ,뒤쪽의커버를고정하
고있는나사 (6 개 ) 를십자드라이버로분리해
주십시오 .
57319 -N 7-0 0
c
주의
뒤쪽커버는안전장치등이없습니다 .탈착작업은반드시비
상정시상태에서실시해주십시오 .
4
오래된구리스를닦아냅니다 .
우측그림의볼스크류 (2 군데 ) 와볼가이드 (2 군
데 ) 의오래된구리스를닦기용와이퍼로깨끗하
게닦아주십시오 .
57320-N7- 0 0
5
새로운구리스를도포합니다 .
새로운구리스를손가락에2cm 정도묻혀서 ,볼
스크류의리드및볼가이드에균일하게도포해주
십시오 .
6
푸쉬업유닛을상하로동작시킵니다 .
비상정지를해재하고 ,푸쉬업유닛을수동조작으
로수차례상하로동작시켜주십시오 .
e
7
여분의구리스를제거합니다 .
비상정지버튼을누르고 ,여분의구리스를손가락
으로제거해주십시오 .
8
뒤쪽의커버를원상태로장착합니다 .
Step3 에서탈착한장비뒤쪽의커버를원상태로
장착해주십시오 .
c
주의
뒤쪽커버는반드시장착해주십시오 .
뒤쪽 커버의 분리
Step 3
뒤쪽커버
고정나사
푸쉬업의 상승
Step 1, 2
1
2
PU축 볼스크류의 청소
Step 4
볼가이드(2군데)볼스크류(2군데)
3-12
3
4.4 기판반송부의점검
4.4.1 컨베이어벨트의점검과청소
컨베이어 벨트 ( 이후, 벨트라고 함 ) 의 마모상태를 점검합니다. 벨트 반송면이 마모되면 기판이 미끄러져서
안정된 반송을 할 수 없습니다. 따라서 정기적으로 마모상태를 확인할 필요가 있습니다.
또한 , 벨트의 마모에 의해 컨베이어 센서 수광면에 마모 가루가 쌓여서 오검출하거나, 벨트 가이드 홈에
마모 가루가 쌓여서 벨트가 고착될 경우가 있으므로 , 정기적으로 청소하실 것을 권장합니다.
1
컨베이어폭을변경합니다 .
e
1. [ 컨베이어폭 ] 버튼을눌러서공구가사용가
능한폭을입력하고[OK] 버튼을누릅니다 .
2. 비상정지버튼을누르고 ,커버를오픈합니다 .
2
벨트의텐션을느슨하게합니다 .
1. 텐션풀리의위치를마커펜등으로마킹합니
다.
2. 육각렌치 (4,5) 로텐셔너볼트를풀고 ,긴구
멍끝까지 ( 푸는방향 )텐셔너를이동시킵니
다.
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3
벨트를분리합니다 .
풀리와기판가이드부의벨트홈으로부터벨트를
분리해주십시오 .
4
벨트반송면의마모상태를확인합니다 .
Step3 에서분리한벨트반송면의마모상태를확
인해주십시오 .
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n
요점
벨트를교환할필요가있을경우는 ,후술의「컨베이어벨트의
교환」을참조해서교환해주십시오 .
5
기판가이드부의벨트홈과풀리를
청소합니다 .
벨트홈과센서검출면의마모가루는청소기등으
로흡입해주십시오 .컨베이어의반송벨트용풀
리등도깨끗히청소해주십시오 .
6
벨트를원상태로되돌립니다 .
반송벨트의 분리
Step 2-3
육각렌치 (5mm)
마킹
육각렌치 (4mm)텐셔너 벨트
텐션풀리
반송벨트의 확인과 청소
Step 4-5
벨트 홈
반송벨트
3-13
3
4.4.2 컨베이어벨트의교환
컨베이어 벨트가 마모되어서 교환이 필요한 경우는, 다음과 같은 순서로 교환해 주십시오 .
e
1
비상정지버튼을누릅니다 .
안전을위해 ,반드시장비를비상정지상태로해
주십시오 .
2
벨트의텐션을느슨하게합니다 .
1. 텐션풀리의위치를마커펜등으로마킹합니
다.
2. 육각렌치 (4,5) 로텐셔너볼트를풀고 ,긴구
멍끝까지 ( 푸는방향 )텐셔너를이동시킵니
다.
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3
벨트를분리합니다 .
육각렌치 (3) 로벨트구동용풀리의볼트를풀고 ,
샤프트를뺍니다 .벨트를풀리로부터분리해서
샤프트와의틈새로빼주십시오 .
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4
기판클램프ASSY 를분리합니다 .
육각렌치 (3) 로기판클램프ASSY고정볼트 (4 군
데 ) 를풀고 ,기판클램프ASSY 를분리해주십
시오 .
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5
컨베이어로부터벨트를분리합니다 .
6
반송부를청소합니다 .
컨베이어프레임과기판가이드의틈새를얇은브
러시 ,또는와이퍼로청소해주십시오 .
7
새로운벨트를끼웁니다 .
1. 새로운벨트를풀리에걸어서임시로끼워둡니
다.
2. 샤프트를풀리에접속하고볼트를체결합니다 .
3. 벨트텐셔너를이동시켜서텐션을가하면서마
킹한위치에서볼트를체결합니다 .
8
기판클램프ASSY 를장착합니다 .
기판클램프ASSY 를원위치에장착해주십시오 .
9
벨트의상태를확인합니다 .
[ 장치 ]-「컨베이어」탭의[ 좌 ],[ 우 ] 버튼으로
벨트를회전시켜서동작상태를확인해주십시오 .
컨베이어벨트의회전이불규칙하거나 ,벨트가많
이처져있을경우는 ,텐션풀리의위치를조정해
주십시오 .
벨트텐션 풀기
Step 2
육각렌치 (5mm)
마킹
육각렌치 (4mm)텐셔너 볼트
텐션 풀리
반송벨트의 분리
Step 3
육각렌치(3mm) 샤프트와 풀리의 틈새
기판 클램프의 분리
Step 4
기판클램프 ASSY 고정볼트