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2-6 2 3 원점위 치로 의 이동 을 합니다 . 원 점 이 동 대 화창 이 표시 되 면 , [OK ] 버 튼을 눌러 주십 시 오 . 4 전원 OFF 확 인 대화 창 이 표 시되면 , [ OK] 버튼 을 누 릅 니다 . e 5 비상정지 버튼을 누 릅니다 . 비 상정 지 대 화 창이 표시되 면 , 비 상정지 버튼 을 누 르고 , [OK] 버 튼을 누릅니 다 . 6 장비의 전원스위치를 OFF 로…

2-5
2
1.4 장비의 종료
장비의 전원을 OFF 하는 방법은 다음과 같습니다.
1
[ 전원 off] 버튼을 누릅니다 .
좌측의 버튼에리어에서 [ 전원 Off] 버튼을 눌러 주십시오 .
[전원 Off] 버튼
[전원 Off] 버튼
68226-N7-0 0
2
확인 대화창이 표시되면 , [ 예 ] 버튼을 누릅니다 .
확인 대화창
[예] 버튼
68227-N7-00

2-6
2
3
원점위치로의 이동을 합니다 .
원점이동 대화창이 표시되면 , [OK] 버튼을 눌러 주십시오 .
4
전원 OFF 확인 대화창이 표시되면 , [OK] 버튼을 누릅니다 .
e
5
비상정지 버튼을 누릅니다 .
비상정지 대화창이 표시되면 , 비상정지 버튼을 누르고 , [OK] 버튼을 누릅니다 .
6
장비의 전원스위치를 OFF 로 합니다 .
화면에 전원 OFF 허가 내용이 표시되면 , 장비본체 우측아래의 전원스위치를 왼쪽으로 돌려서 OFF 로
해 주십시오 .
c
주의
순서를 무시하고 , 무리하게 전원스위치를 OFF 하면 데이터와 기기 파손의 원인이 됩니다 .

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2
2. 조작화면과 각종 버튼
소프트웨어 화면의 기본적인 구성과 조작방법을 설명합니다 . 장비의 조작을 실행하기 전에 읽어 주십시오 .
n
요점
표준사양의 경우, 키보드 및 마우스가 없으므로 , 조작은 전부 터치패널로 합니다. 파라미터를 입력할 때는 대화창이 표시되
므로 , 터치팬으로 조작•입력해 주십시오 .
2.1 조작화면의 기본구성
조작화면은 , 「스테이터스 에리어」 「버튼에리어」 「프리에리어」로 구성되어 있습니다.
버튼 에리어 1
버튼 에리어 2
스테이터스 에리어
프리 에리어
화면구성 예
셋업화면
버튼 에리어 3
68200-N7-00
■ 화면상의 에리어
스테이터스 에리어
좌측끝에 현재 장비의 상태 , 중앙에 선택되어 있는 기판명 , 우측끝에 기판의 생산수량을
표시합니다 . ( 듀얼 레인에서 양측 레인을 사용해서 이품종을 생산할 경우는 , 각각의 기판명과 생
산수량을 2 행으로 표시합니다 .)
버튼 에리어 1
조작상의 주요메뉴를 선택할 수 있습니다 . 선택한 버튼에 따라 「프리에리어」 의 화면 내용이 바뀝
니다 .
버튼 에리어 2 보조적인 기능을 불러내기 위한 버튼입니다 .
버튼 에리어 3 전원을 OFF 하기 위한 [ 전원 Off] 버튼이 있습니다 .
프리 에리어 메뉴버튼에서 선택된 조작화면이 표시됩니다 .