YSD_Users_K.pdf - 第173页
4-44 4 • 가산타입 프리 디 스펜 스한 액 량 ( 타 이 머 ) 으 로 도포 해 야 할 면 적 ( 기준면 적 ) 과 , 실제 로 도포 된 면적 ( 보정 면적 ) 의 차 이 를 보정 량 ( 기준면 적 / 보 정면적 ) 으 로 합 니다 . 기 준면적 은 , [ 장 비설 정 ] - 「디스펜 스 보정 」- 「기 준면적 」 에서 구 합니 다 . 예) 액 량이 ( 타이머 )20, 기 준면적 이 0…
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5.3 디스펜스 보정 리미트 체크
본 기능은 , 디스펜스 체크에 의한 도포량의 보정을 실행할 때, 보정량의 리미트 체크를 실행합니다.
「장비설정」에 미리 설정되어 있는 최소보정, 최대보정은 다음의 보정량 계산에 의해 구해진 값에 대해 범위
체크를 하고 보정량이 어느 일정한 범위를 넘었을 경우에는 에러정지하고 , 작업자에게 확인작업을 요구합니
다.
n
요점
본 기능의 대응 소프트 버전은 , V4.49STD R1.000 입니다.
5.3.1 보정량의 계산
보정량의 계산은,「장비설정」-「디스펜스 보정」의「계산타입」의 설정에 따라 다릅니다.
•
비례타입 : 보정량 = 기준면적 / 측정면적
•
가산타입 : 보정량 = 기준면적 - 측정면적
디스펜스 체크에 의해 구해진 보정량의 값이, 최대•최소 보정량을 넘지 않으면 기판상에 도포작업을 시작
합니다 .
n
요점
본 기능은 , 최대 보정량 값이 0.001 이하의 경우에는 동작하지 않습니다.
•
비례타입
프리 디스펜스한 액량 ( 타이머 ) 으로 도포해야 할 면적 ( 기준면적 ) 과 , 실제로 도포된 면적 ( 보정면적 ) 의 비율을 보정량
( 기준면적 / 보정면적 ) 으로 합니다 .
기준면적은 , [ 장비설정 ]-「디스펜스 보정」-「기준면적」에서 구합니다 .
예)
액량이 ( 타이머 )20, 기준면적이 0.20, 최소보정 0.8. 최대보정 1.2 의 경우
최소 보정량으로 보정된 도포면적 :0.20 X 0.8=0.16
최대 보정량으로 보정된 도포면적 :0.20 X 1.2=0.24
실제로 도포된 면적이 0.16~0.24 에서 벗어났을 경우 , 에러 메시지가 표시됩니다 .
0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0 10 20 30 40 50
보정된 액량 (타이머)
보정량 리미트 범위
0.16~0.24
비례타입의 예
액량 [msec]
도포면적 [mm2]
기준면적
보정면적
67417-N7- 0 0
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4
•
가산타입
프리 디스펜스한 액량 ( 타이머 ) 으로 도포해야 할 면적 ( 기준면적 ) 과 , 실제로 도포된 면적 ( 보정면적 ) 의 차이를 보정량
( 기준면적 / 보정면적 ) 으로 합니다 .
기준면적은 , [ 장비설정 ]-「디스펜스 보정」-「기준면적」에서 구합니다 .
예)
액량이 ( 타이머 )20, 기준면적이 0.20, 최소보정 0.8. 최대보정 1.2 의 경우
최소 보정량으로 보정된 액량 :20 X 0.8=16
최대 보정량으로 보정된 액량 :20 X 1.2=24
실제로 도포된 액량이 16~24 에서 벗어났을 경우 , 에러 메시지가 표시됩니다 .
0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0 10 20 30 40 50
가산타입의 예
보정된 액량 (타이머)
보정량 리미트 범위
16~24
액량 [msec]
도포면적 [mm2]
기준면적
보정면적
67418-N7- 00
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에러 메시지
보정량의 값이 허용량 ( 최소보정 , 최대보정 ) 을 초과했을 경우는 , 다음의 에러 메시지가 표시됩니다 .
그 후 , [ 에러 클리어 ] 버튼을 누르면 , 다음의 동작 선택 대화창이 표시되어 ,「디스펜스 테스트」「재시도」「리세트」「계속」
중에서 동작을 선택할 수 있습니다 .
보정 리미트 에러
68435-N7- 0 0
「디스펜스 테스트」
디스펜스 테스트를 실행합니다 .
「재시도」
프리 디스펜스를 재실행합니다 . ( 재차 보정 리미트 에러가 발생하면 , 또 상기의 대화창이 표시됩니다 .)
「리세트」
자동운전을 리세트합니다 .
「계속」
자동운전을 그대로 계속합니다 . ( 전회의 보정량으로 디스펜스 보정을 실행합니다 .)