YSD_Users_K.pdf - 第381页

3-7 3 2. 1 .4 Y 축가 이드의청소 • 급유 e 1 비상 정지버튼 을누 릅니다 . 안전 을위해 ,반드시장비 를비 상정지상태 로해 주 십시오 . 2 가 이드를청소합니다 . 1 . 각축을한쪽으로이 동시 킨후 ,가이드전 체 를 먼 지 가나지않 는종이와이퍼 ( 클린룸용 )등 으 로  닦 아 냅니다 . 3. 축을반 대 쪽 으로이 동 시켜…

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3-6
3
2.1.3 Y 축볼스크류의청소
•
급유
e
1
비상정지버튼을누릅니다 .
안전을위해 ,반드시장비를비상정지상태로해
주십시오 .
2
구리스비산방지커버를분리합니다 .
1. 육각렌치로구리스비산방지커버뒤쪽의커버
고정볼트 (4 개 ) 를분리합니다 .
2. 헤드를뒤쪽끝까지이동시켜서 ,구리스비상
방지커버앞쪽으고정볼트 (6 개 ) 를분리합니
다.
3. 구리스비산방지커버를앞쪽으로당겨서빼
주십시오 .
57306-N7-00
참고
Y 축의 구리스 비산방지 커버를 장착할 때에는 , 상기와
반대순으로 작업해 주십시오 .
3
볼스크류부를청소합니다 .
1. 이동핸들을잡고각축을한쪽으로이동시킵
니다 .
2. 볼스크류전체를먼지가나지않는종이와이
퍼 ( 클린룸용 )등으로오래된구리스와더러
움을닦아냅니다 .
3. 축을반대쪽으로이동시켜서 ,반대쪽의볼스
크류도닦습니다 .
57307-N7-00
c
주의
청소작업시에는 ,볼스크류의리드홈부분도깨끗히닦아주
십시오 .또 ,이물질등의발생여부도확인해주십시오 .
4
구리스를도포합니다 .
구리스건을사용해서 ,구리스니플 ( 좌우각 1 군
데 ) 로부터지정구리스 (NSL) 를주입해주십시
오 .축을손으로움직여서여분의구리스를닦아
주십시오 .
57308-N 7- 00
5
커버를원상태로되돌립니다 .
구리스비산방지커버를탈착했을때와반대순으
로장착해주십시오 .
Y축 볼스크류 커버의 분리
Step 2
커버고정 나사
구리스 비산방지 커버
앞쪽뒤쪽
Y축 볼스크류의 청소
Step 3
닦기용 와이퍼
Y축 볼스크류의 급유
Step 4
Y축 볼스크류용 구리스 니플
Y축 볼스크류용 구리스 니플
구리스 건(표준노즐)
3-7
3
2.1.4 Y 축가이드의청소
•
급유
e
1
비상정지버튼을누릅니다 .
안전을위해 ,반드시장비를비상정지상태로해
주십시오 .
2
가이드를청소합니다 .
1. 각축을한쪽으로이동시킨후 ,가이드전체를
먼지가나지않는종이와이퍼 ( 클린룸용 )등
으로닦아냅니다 .
3. 축을반대쪽으로이동시켜서 ,반대쪽의가이
드도닦습니다 .
57309-N7-00
c
주의
가이드레일의이동홈부분도깨끗히닦아주십시오 .
3
구리스를도포합니다 .
구리스건을사용해서 ,Y 축가이드용구리스니플
로부터지정구리스 (NSL) 를주입해주십시오 .
구리스니플은 ,각Y 축가이드
•
슬라이더의전후
에있습니다 .( 합계4 군데 )
구리스건의노즐장착은 ,구리스니플의방향에
맞춥니다 .
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c
주의
Y 축의전후벤트형구리스니플은 ,노즐의방향에맞춰서
구리스건노즐을곧바로삽입해주십시오 .각도가틀어지면
니플이파손되거나어긋날경우가있습니다 .신중하게삽입
해서주입해주십시오 .
4
여분의구리스를닦아냅니다 .
손으로축을수차례움직여서여분의구리스를닦
아주십시오 .
Y축 가이드의 청소
Step 2
닦기용 와이퍼
이동 홈 부
Y축 가이드의 급유
Step 3
Y축 가이드용
구리스 니플
Y축 가이드용
구리스 니플
구리스 건
(표준노즐)
3-8
3
3.6 개월
3.1 베이스부필터의청소
1
장비의전원을OFF 합니다 .
소프트웨어를종료하고 ,장비의전원스위치를
OFF 해주십시오 .
2
커버를탈착합니다 .
십자드라이버로장비뒤쪽우측커버의고정나사
를분리해서커버를탈착해주십시오 .
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3
필터유닛을분리합니다 .
1. 십자드라이버로필터유닛을고정하고있는
나사 (2 개 ) 를분리합니다 .
2. 필터유닛을앞쪽으로당겨서뺍니다 .
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4
필터유닛을청소합니다 .
1. 버큠 ASSY( 옵션 )또는소형청소기로필터에
쌓인먼지를흡입합니다 .
2. 청소하고 ,필터에문제가없으면Step6 으로
진행해주십시오 .
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5
필터를교환합니다 .
Step4 의작업에서필터의더러움을완전히제거
하지못할경우 ,또는필터가망가졌을때는새것
으로교환합니다 .
우측그림과같이십자드라이버로필터가끼워져
있는플레이트의나사를분리하고새필터로교환
해주십시오 .
6
필터유닛을원상태로되돌립니다 .
Step2~Step3 과의반대순으로필터유닛을원상
태로장착해주십시오 .
7
탈착한커버를원위치에장착합니다 .
커버의 탈착
Step 2
뒤쪽 우측 커버
커버고정 나사
필터 유닛의 분리
Step 3
필터
필터 유닛
고정 나사
필터의 청소와 교환
Step 4, 5
필터
필터를 교환할 경우
버큠ASSY 또는
소형 청소기
필터