YSD_Users_K.pdf - 第217页
5-29 5 4 . 6 높 이보 정 파라미 터 ( 옵 션 ) 높 이 보 정 파 라 미 터 에 서 는 , 레 이 저 변 위 계 를 이 용 해 서 높 이 계 측 의 좌 표 와 계 측 방 법 을 설 정 합 니 다 . 1 5 2 3 높이보정 파라미터 화면 4 68 51 7- N7- 0 0 1. 코 멘 트 작 업 내 용 등의 메모로서 사 용 합니 다 . 2. 모 드 높이 계 측용의 1 점측정 , 2 …
5-28
5
■ 배드마크 작업에 관하여
기판 배드마크와 블록 배드마크를 설정했을 때 , 배드마크 기능의 작업 흐름을 플로우 차트로 나타냅니다 .
그 블록의 작업을
하지 않는다
그 블록의
작업을 한다
모든 블록의
작업을 한다
스타트
기판 배드마크를 탐색
검출 비검출
블록 배드마크를 탐색
배드마크 작업의 흐름
검출 비검출
67517-N7- 00
5-29
5
4.6 높이보정 파라미터 ( 옵션 )
높이보정 파라미터에서는 , 레이저 변위계를 이용해서 높이 계측의 좌표와 계측방법을 설정합니다.
1
5
2 3
높이보정 파라미터 화면
4
68517-N7- 0 0
1. 코멘트
작업내용 등의 메모로서 사용합니다 .
2. 모드
높이 계측용의 1 점측정 , 2 점측정 평균의 설정에 사용합니다 .
•
1 점 측정의 경우는 ,「로컬 메인」으로 설정합니다 .
•
2 점 측정 평균의 경우는 , 2 행분의 데이터를 작성합니다 . 1 행째는「로컬 메인」으로 설정하고 ,2 행째는「로컬 서브」로
설정합니다 .
3. 마크
마크 파라미터내의 높이 보정용으로 설정한 마크번호를 입력합니다 .
4. X, Y
기판원점에서의 XY 좌표를 입력합니다 .
5. 실행 / 스킵
높이보정의 실행여부를 설정합니다 .「스킵」으로 설정하면 높이보정은 실행하지 않습니다 .
5-30
5
4.7 위치보정 디스펜스 파라미터
본 기능은 , 노즐 탈장착시의 위치 틀어짐을 보정하며 , 도포위치를 안정시킬 수가 있습니다.
n
요점
위치보정 디스펜스의 좌표는 , 2HEAD 의 경우 (YSD_96001_2HEAD.ygx) 기판 데이터를 , 옵션의 3HEAD 의 경우는 ,
(YSD_96001_3HEAD.ygx) 의 좌표를 복사해서 , 용액량과 시퀀스 , 마크번호를 프리 디스펜스에 맞춰서 값을 입력해 주십
시오 . 프리 디스펜스를 사용하지 않을 경우는 , 디스펜스 테스트에서 용액량과 마크정보를 작성해서, 그 값을 입력합니다.
위치보정 디스펜스 파라미터 화면
2
1
3 7 94 5 6 8
68518-N7- 0 0
1. 위치보정 디스펜스 항목
위치보정 디스펜스의 실행여부를 설정합니다 . 변경할 경우는 , [ 편집 ] 버튼을 눌러서「실행」,「스킵」을 선택합니다 .
「실시전 프리 디스펜스」에 체크하면 위치보정을 하기전에 프리 디스펜스를 실시합니다 .
2. 패턴명칭
위치보정 디스펜스의 명칭을 입력합니다 .( 공란이어도 상관없습니다 .)
3. 스킵
위치보정 디스펜스의 각 도포위치의 실행 설정을 합니다 . 도트 디스펜스에서 사용하지 않는 헤드는 스킵 ( ) 해 주십시
오 . 스킵란을 클릭하면 , 항목이「Dot&Check」「
」「 」로 바뀝니다 .
•
Dot&Check: 도포한 후에 도트를 인식하고 , 도포인식 보정량을 산출합니다 .
•
: 프리 도팅만 실행합니다 .
•
: 스킵합니다 .
4. 용액량
프리 디스펜스에 맞는 값을 입력해 주십시오 .
5. 헤드
위치보정 디스펜스에 사용할 헤드를 번호를 설정합니다 .
6. 시퀀스
프리 디스펜스에 맞는 값을 입력해 주십시오 .
7. X, Y
마스터 기판데이터 (MCH_SETUP.ygx) 의 좌표를 복사해서 사용해 주십시오 .
8. R
마스터 기판데이터 (MCH_SETUP.ygx) 의 좌표를 복사해서 사용해 주십시오 .
9. 마크
프리 디스펜스에 맞는 값을 입력해 주십시오 .