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3-1 1 3 4 .3 푸 쉬 업 ( PU ) 축의청소 • 급유 푸쉬 업 축은 , 기 판 클 램 프 시 에 기 판이 휘 어 지 는 것 을 방 지 하는 역 할 과 , 도포 동 작 시 기 판 의 처 짐 을 방 지 하 는 중 요 한 축 이 됩 니 다 . 정 상 적 으로 기 능 할 수 있 도 록 정 기 적 으로 점 검 과 청 소 를 실 시 할 필 요가 있 습 니 다 . 4. 3 . 1 PU 축…

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3-10
3
4.2 Z 축의청소
•
급유
4.2.1 Z 축가이드및볼스크류 ,샤프트의청소
•
급유
e
1
헤드를이동시킵니다 .
1. 셋업화면의[ 실린지교환 ] 버튼을누릅니다 .
2. [ 교환위치이동 ] 버튼을누릅니다 .
3.「비상정지」버튼을누르고 ,커버를오픈합니
다.
2
볼스크류와스플라인샤프트를청소
합니다 .
볼스크류
Z 축을내려서볼스크류를종이와이퍼로닦아주
십시오 .
스플라인 샤프트
각헤드의샤프트를종이와이퍼로닦아냅니다 .
57316 - N 7-0 0
c
주의
볼스크류의홈부분도깨끗히닦아주십시오 .
3
구리스를도포합니다 .
볼스크류
손으로지정구리스를볼스크류전체에도포해주
십시오 .
스플라인 샤프트
손으로지정구리스를각헤드의샤프트에얇게
도포해주십시오 .
4
여분의구리스를닦아냅니다 .
손으로헤드를상하로움직여서 ,너트부분에고
여있는구리스를닦아주십시오 .
57317-N7-00
5
가이드의청소
•
급유를실시합니다 .
볼스크류와같은순서로가이드를청소하고 ,구리
스를도포해주십시오 .
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Z축의 청소
Step 2
종이 와이퍼
Z축의 구리스 닦기
Step 4
구리스 고임
Z축 가이드의 청소
Step 5
종이 와이퍼
3-11
3
4.3 푸쉬업 (PU) 축의청소
•
급유
푸쉬업 축은, 기판 클램프시에 기판이 휘어지는 것을 방지하는 역할과, 도포 동작시 기판의 처짐을 방지하
는 중요한 축이 됩니다. 정상적으로 기능할 수 있도록 정기적으로 점검과 청소를 실시할 필요가 있습니다.
4.3.1 PU 축볼스크류및볼가이드의청소
•
급유
1
컨베이어폭을최소로설정합니다 .
1. 푸쉬업플레이트상의푸쉬업핀을제거합니
다.
2.「장치」화면의「컨베이어」탭을선택합니다 .
3. [ 컨베이어 ] 폭버튼을눌러서사양의최소폭
을입력하고[OK] 버튼을누릅니다 .
2
푸쉬업유닛을상승시킵니다 .
[ 푸쉬업 ] 버튼을눌러서「1」을입력하고[OK] 버
튼을누릅니다 .
58303-N 7- 00
e
3
장비뒤쪽의커버를탈착합니다 .
「비상정지」버튼을누르고 ,뒤쪽의커버를고정하
고있는나사 (6 개 ) 를십자드라이버로분리해
주십시오 .
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c
주의
뒤쪽커버는안전장치등이없습니다 .탈착작업은반드시비
상정시상태에서실시해주십시오 .
4
오래된구리스를닦아냅니다 .
우측그림의볼스크류 (2 군데 ) 와볼가이드 (2 군
데 ) 의오래된구리스를닦기용와이퍼로깨끗하
게닦아주십시오 .
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5
새로운구리스를도포합니다 .
새로운구리스를손가락에2cm 정도묻혀서 ,볼
스크류의리드및볼가이드에균일하게도포해주
십시오 .
6
푸쉬업유닛을상하로동작시킵니다 .
비상정지를해재하고 ,푸쉬업유닛을수동조작으
로수차례상하로동작시켜주십시오 .
e
7
여분의구리스를제거합니다 .
비상정지버튼을누르고 ,여분의구리스를손가락
으로제거해주십시오 .
8
뒤쪽의커버를원상태로장착합니다 .
Step3 에서탈착한장비뒤쪽의커버를원상태로
장착해주십시오 .
c
주의
뒤쪽커버는반드시장착해주십시오 .
뒤쪽 커버의 분리
Step 3
뒤쪽커버
고정나사
푸쉬업의 상승
Step 1, 2
1
2
PU축 볼스크류의 청소
Step 4
볼가이드(2군데)볼스크류(2군데)
3-12
3
4.4 기판반송부의점검
4.4.1 컨베이어벨트의점검과청소
컨베이어 벨트 ( 이후, 벨트라고 함 ) 의 마모상태를 점검합니다. 벨트 반송면이 마모되면 기판이 미끄러져서
안정된 반송을 할 수 없습니다. 따라서 정기적으로 마모상태를 확인할 필요가 있습니다.
또한 , 벨트의 마모에 의해 컨베이어 센서 수광면에 마모 가루가 쌓여서 오검출하거나, 벨트 가이드 홈에
마모 가루가 쌓여서 벨트가 고착될 경우가 있으므로 , 정기적으로 청소하실 것을 권장합니다.
1
컨베이어폭을변경합니다 .
e
1. [ 컨베이어폭 ] 버튼을눌러서공구가사용가
능한폭을입력하고[OK] 버튼을누릅니다 .
2. 비상정지버튼을누르고 ,커버를오픈합니다 .
2
벨트의텐션을느슨하게합니다 .
1. 텐션풀리의위치를마커펜등으로마킹합니
다.
2. 육각렌치 (4,5) 로텐셔너볼트를풀고 ,긴구
멍끝까지 ( 푸는방향 )텐셔너를이동시킵니
다.
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3
벨트를분리합니다 .
풀리와기판가이드부의벨트홈으로부터벨트를
분리해주십시오 .
4
벨트반송면의마모상태를확인합니다 .
Step3 에서분리한벨트반송면의마모상태를확
인해주십시오 .
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n
요점
벨트를교환할필요가있을경우는 ,후술의「컨베이어벨트의
교환」을참조해서교환해주십시오 .
5
기판가이드부의벨트홈과풀리를
청소합니다 .
벨트홈과센서검출면의마모가루는청소기등으
로흡입해주십시오 .컨베이어의반송벨트용풀
리등도깨끗히청소해주십시오 .
6
벨트를원상태로되돌립니다 .
반송벨트의 분리
Step 2-3
육각렌치 (5mm)
마킹
육각렌치 (4mm)텐셔너 벨트
텐션풀리
반송벨트의 확인과 청소
Step 4-5
벨트 홈
반송벨트