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4-22 4 3. 1 .5 기 판 상 에서의 도 포 량 확인 도트 스 테 이 션 상 에 도포 하 고 마 크 , 에 어 압 이 확 정 되 면 , 실 제 로 기 판 상 에 디 스 펜 스 해 서 도트 스 테 이 션 과 기 판상 에 서 도포 량 의 차이 를 확 인 합 니 다 . 1 도 트 디스펜 스 파 라미터를 입력 합니다 . [ 기 판 ] - 「 도트 디 스펜 스 」 화면 을 열어 서 , 도포 량…
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에어압을 재조정 합니다 .
재차 디스펜스 테스트를 실행해서 , 각 노즐의 기준면적에 거의 일치하도록 에어압을 미세조정해 주십시
오 . 이 때의 에어압력의 값은 , 생산 시작시의 에어압력 조정값의 기준으로서 메모해 둡니다 .
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데이터를 저장합니다 .
전술의 작업에 의해 대상 노즐의 마크정보가 결정되었으므로 , 기판 데이터를 저장해 주십시오 .
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3.1.5 기판상에서의 도포량 확인
도트 스테이션상에 도포하고 마크 , 에어압이 확정되면 , 실제로 기판상에 디스펜스해서 도트 스테이션과
기판상에서 도포량의 차이를 확인합니다.
1
도트 디스펜스 파라미터를 입력합니다 .
[ 기판 ]-「도트 디스펜스」화면을 열어서 , 도포량을 확인할 파라미터를 입력해 주십시오 .
안정된 상태에서 도포량을 확인하기 위해 , 연속해서 5 점을 각 액량으로 도포하는 데이터를 작성합니다 .
도트 디스펜스
파라미터 입력예
68418-N7- 00
2
기판에 도포합니다 .
[ 기판 ]-「프리 디스펜스」화면을 열고 , [ 편집 ] 버튼을 눌러서「스킵」으로 설정합니다 . 자둥운전으로
기판상에 도포해 주십시오 . 기판에 도포할 크기가 되도록 액량을 변경해서 반복실행 합니다 .
3
도트 스테이션에 도포합니다 .
[ 기판 ]-「프리 디스펜스」화면의 [ 편집 ] 버튼을 눌러서「도트 스테이션상」으로 설정을 되돌립니다 .
기판상에 도포했을 때와 같이 각 액량을 설정합니다 .
「셋업」화면의 [ 디스펜스 테스트 ]-[ 실행 ] 버튼을 눌러서 설정한 각 액량으로 도트 스테이션에 도포해
주십시오 .
4
도포량의 차이를 확인합니다 .
육안으로 기판과 도트 스테이션상에 도포한 액량과 높이를 확인하고 , 이동 카메라로 도트의 면적과
형상을 확인해 주십시오 . 차이가 없으면 , 「프리 디스펜스」탭 화면의 액량을「20」으로 되돌립니다 .
도포량의 상태확인
기판상의 도포가 클 경우 도포에 차이가 없을 경우 기판상의 도포가 작을 경우
도트 스테이션
차이
기판
차이
낮다
높다
높다
낮다
차이 없음
차이 없음
차이 없음
동일 액량으로 도포했을 때의 예
674 0 6 -N7- 0 0
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3.1.6 디스펜스 보정 맵의 작성
작성한 마크 데이터와 프리 디스펜스 파라미터를 바탕으로 , 디스펜스 보정 맵을 작성합니다. 보정 맵의 작
성은 , 새 실린지를 사용해서 도포가 충분히 안정된 상태에서 실행합니다. 전술「3.1.4 도트 스테이션상에서
의 도포확인」에서 실린지의 액량이 줄지 않았으면 , 그대로 사용합니다. 여기에서는 , 111 노즐로 보정 맵을
작성할 경우를 예로 들어서 설명합니다.
1
도트 스테이션의 설정을 변경합니다 .
도트 스테이션에 프리도팅 가능 점수를 늘리기 위해 , 도트 스테이션의 최대 프리도팅 개수를「10」으로
변경합니다 .
[ 장비설정 ]-「도트 스테이션」의「도트 매트릭스」피치를「4.000」으로 하고 , 개수를「10」으로 설정
해 주십시오 .
도팅 피치와 개수변경
피치를「4.000」으로 설정 개수를「10」으로 설정
68419 -N7-0 0
n
요점
최대 프리 도팅수를 4mm 피치 X 10 개로 하면 , 도트 스테이션상의 도포 ( 페이퍼 사용량 ) 를 1열로 할 수가 있으므로 ,
페이퍼 사용량을 절약할 수 있습니다.
c
주의
특주 노즐을 사용할 경우는 , 설정을 변경하지 마십시오 .
2
기판 데이터를 다시 읽습니다 .
[ 기판선택 ] 버튼을 눌러서 기판 데이터를 다시 읽어 주십시오 .
n
요점
장비설정을 변경했을 경우, 설정내용을 반영시키기 위해 기판 데이터를 다시 읽습니다.
3
조정 유틸리티를 기동합니다 .
1. 「셋업」화면의 [ 조정 ] 버튼을 누릅니다 .
2. 「Supervisor」를 선택하고 , 패스워드를 입력한 후 , [OK] 버튼을 누릅니다 .
3. [Dispense Correction] 버튼을 누릅니다 .