YSD_Users_K.pdf - 第143页
4-14 4 3 .1 . 3 도 트 인식 용 마 크 데이 터의 작성 보 정 을 실 행 하 기 위 해 서 는 , 각 도 트 의 면 적 측정 용 마 크 데 이 터 를 작 성 할 필 요가 있 습 니 다 . 프 리 디 스 펜 스 데 이 터 에 서 지 정 되 어 있 는 마 크 번 호 에 보 정 용 마 크 데 이 터 를 설 정 합 니 다 . 마 크 데 이 터 는 다른 기 판 데 이 터 를 복 사 해 서…
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4
3
도트 스테이션상에 설정합니다 .
[ 편집 ] 버튼을 눌러서「도트 스테이션상」을 선택합니다 .
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마크 번호를 설정합니다 .
보정에 사용할 마크 번호를 입력합니다 . 일반적으로 111 노즐을 사용하고 있을 경우는 ,「11」을 입력합
니다 .
n
요점
마크 번호는 임의로 결정할 수가 있습니다만 , 가능한한 구별하기 쉽도록 노즐번호와 비슷한 번호를 입력해 주십시오 .
각 노즐과 마크번호와에 관해서는 , 전술의「3.1 디스펜스 보정 기능을 사용」의「█ 노즐 설정값」표를 참조해 주십시오 .
█
디스펜스 보정기능을 사용안할 경우
「프리 디스펜스」탭 화면의 [ 체크박스 ] 버튼을 눌러서「보정」란의 체크를 해제합니다 . 예비 도포한 도트를 인식할 경우는 ,
후술의「3.1.3 도트 인식용 마크 데이터의 작성」을 참조해서 마크 데이터를 작성합니다 .
디스펜스 보정 미사용
[체크박스] 버튼
체크를 해제
도트인식을 할 경우는,「Check」로 설정
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3.1.3 도트 인식용 마크 데이터의 작성
보정을 실행하기 위해서는 , 각 도트의 면적 측정용 마크 데이터를 작성할 필요가 있습니다. 프리 디스펜스
데이터에서 지정되어 있는 마크 번호에 보정용 마크 데이터를 설정합니다. 마크 데이터는 다른 기판 데이터
를 복사해서 작성하며, 다음과 같이 도트 인식용 마크 데이터의 작성 방법에 대해서 설명합니다.
n
요점
한 번 작성한 데이터는 마크 데이터베이스에 등록해 둔 후에, 세팅해서 데이터를 작성하면 효율적입니다 .
상세한 내용은 제 8 장「2. 사용자 데이터베이스의 작성」을 참조해 주십시오 .
1
마크 데이터를 복사합니다 .
1. 복사할 기판 데이터를 선택해서 표시합니다 .
2. [ 마크 ] 버튼을 눌러서 마크 화면의 [ 보조편집 ] 버튼을 누릅니다 .
3. 복사할 마크를 선택하고 , [ 복사 ] 버튼을 눌러 주십시오 .
마크 화면
[복사] 버튼 [덮어쓰기 첨부] 버튼
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2
마크 데이터를 붙이기 합니다 .
1. 붙이기 할 기판 데이터를 선택해서 표시합니다 .
2. 마크 화면을 열어서 , 붙이기 할 마크 번호를 선택하고 , [ 덮어쓰기 첨부 ] 버튼을 누릅니다 .
보통 , 111 노즐을 사용하고 있을 경우는 , No.11 을 선택합니다 .
3. 필요에 따라서 마크명 , 코멘트를 변경해 주십시오 .
n
요점
마크 번호는 임의로 결정할 수가 있습니다만 , 가능한한 구별하기 쉽도록 노즐번호와 비슷한 번호를 입력해 주십시오 .
각 노즐과 마크번호와에 관해서는 , 전술의「3.1 디스펜스 보정 기능을 사용」의「█ 노즐 설정값」표를 참조해 주십시오 .
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3
마크타입을 설정합니다 .
「마크」화면의「기본」탭을 누르고 ,「마크타입」을「디스펜스 도트」로 설정해 주십시오 .
4
각 파라미터를 설정합니다 .
적정 용액온도 , 토출정압 , 토출부압을 입력합니다 .
[마크]-「기본」화면
「디스펜스 도트」로 설정
마크 타입
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마크의 형상정보를 설정합니다 .
[ 마크 ]-「형상」탭을 표시해서 각 파라미터를 설정합니다 .
각 항목의 상세한 내용은 하기의 표를 참조해 주십시오 .
[마크]-「형상」화면
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█
형상정보 설정예
111 노즐의 경 우
항목 권장값 내용
A 형상체크방식 면적 / 주변길이 보통 , 면적 / 주변길이로 형상체크 합니다 .
B 기준면적 (mm
2
) 0.19 0
메인 도포액량의 면적값을 입력합니다 . 111 노즐 이외의 설정값은
전술 「3.1 디스펜스 보정 기능을 사용」 의 「█ 노즐 설정값」 표를 참조해 주십시오 .
C 형상정수 3.545 「형상체크방식」 이 「면적 / 주변길이」 의 경우는 , 「3.545」 로 설정합니다 .
D 면적공차 (%) 60 보통 , 60% 로 설정합니다 . 도트의 인식상태에 따라 변경합니다 .
E 형상공차 (%) 60 보통 , 60% 로 설정합니다 . 도트의 인식상태에 따라 변경합니다 .
F 면적공차 ( 확인용 )(%) 30 보통 , 30% 로 설정합니다 . 보정후의 인식에서 허용가능한 공차를 입력합니다 .
G 형상공차 ( 확인용 )(%) 40 보통 , 40% 로 설정합니다 . 보정후의 인식에서 허용가능한 공차를 입력합니다 .
H
최저 샘플 수
2 111 노즐은 2 점 도포이므로 , 「2」 로 설정합니다 .
I 조명 교체 반사조명 일반적으로 반사조명으로 설정합니다 .