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8-26 8 ■ 「이력」화면에 표 시되는 항 목에 대 해 서 「로그 」, 「생산」, 「로트」탭 각 탭에 표시되 는 항목 의 내 용은 , 화면 오른쪽 아 래에 있는 [ 옵 션 ] 버 튼을 눌러서 참 조 할 수 있 습니 다 . [ 옵 션 ] 버튼 을 누 르면 , 「그리 드표시 설정 」화면 이 표시됩 니다 . 화면 좌 측의 항목을 선택 하면 , 화면 우 측에 선 택 한 항목의 내용이 표시 됩 니 …
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3. 이력관리
3.1 이력에 대해서
본 장비에서는 장비의 생산이력과 기판 데이터별로 생산이력을 관리할 수가 있습니다.
이력은 로그형식의「이력」과 데이터의 카운트를 실행하는「이력 2」의 2 종류가 있습니다.
「이력」은, 에러나 작업의 로그 , 로트별로 생산상황 등을 확인할 수 있습니다.
「이력 2」는 , 헤드나 노즐 등의 에러율과 부품단위의 집계 등을 확인할 수 있습니다.
참고
이력 데이터에서는 , 기판데이터명을 로트명, 기판 데이터의 코멘트 내용을 로트 ID 로서 이용하고 있습니다 .
3.1.1 이력
[이력 ] 버튼을 눌러서「이력」화면을 표시합니다. 「이력」화면에는「로그」,「생산」,「로트」탭이 있습니다.
또 , 기판별 이력을 사용하고 있을 경우는,「기판별」탭이 표시됩니다.
기판별 이력의 사용에 대해서는 , 후술의「3.2.1 기판별 이력의 설정」을 참조해 주십시오 .
이력
「로그」탭의 예
68824-N7- 0 0
로그
본 장비에서 발생한 에러나 각종 작업내용이 표시됩니다 .
1 건의 에러 또는 작업이 1 행의 데이터로 되어 있습니다 . 최대 1000 행까지 표시됩니다 .
생산
본 장비에서 생산한 , 기판 1 장당의 생산결과가 표시됩니다 .
1 장의 기판에 대해 1 행의 데이터로 되어 있습니다 . 최대 1000 행까지 표시됩니다 .
로트
생산기판 전환을 실시한 후에 , 다음 생산기판의 전환을 실행할 때까지를 1 로트로 간주하고 , 그 사이의 생산결과를 집계
한 정보가 표시됩니다 .
1 로트에 대해서 1 행의 데이터로 되어 있습니다 . 최대 1000 행까지 표시됩니다 .
기판별
본 장비에서 생산한 기판마다 생산 택타임 정보 , 부품별 정보 , 헤드별 정보가 표시됩니다 .
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■ 「이력」화면에 표시되는 항목에 대해서
「로그」,「생산」,「로트」탭
각 탭에 표시되는 항목의 내용은 , 화면 오른쪽 아래에 있는 [ 옵션 ] 버튼을 눌러서 참조할 수 있습니다 .
[ 옵션 ] 버튼을 누르면 ,「그리드표시 설정」화면이 표시됩니다 .
화면 좌측의 항목을 선택하면 , 화면 우측에 선택한 항목의 내용이 표시됩니다 .
「기판별」탭
「수량 / 택타임 정보」에 표시되는 항목의 내용은 , 화면좌측의 항목을 선택하면 화면 우측에 선택한 항목의 내용이 표시됩
니다 .
「부품별 정보」,「헤드별 정보」탭에 표시되는 항목의 내용은 ,「로그」,「생산」,「로트」탭과 같이 오른쪽 아래에 있는
[ 옵션 ] 버튼을 눌러서 참조할 수 있습니다 .
항목 내용의 표시
「이력」-「생산」탭의 예
항목을 선택
선택된 내용의 항목을 표시
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3.1.2 이력 2
[이력 2] 버튼을 눌러서「이력 2」화면을 표시합니다.
「이력 2」화면에는「헤드」,「컨베이어」의 탭이 있습니다.
참고
「헤드」,「컨베이어」탭에는 , 사용자가 임의로 리세트 가능한 데이터와 , 메인터넌스용 및 전체누적 데이터의 3 종류가 표시됩
니다 .
이력2
「사용자」탭의 예
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헤드
장비의 헤드에 관한 집계정보가 표시됩니다 . 각 헤드의 이용상황 , 에러의 발생상황 등을 확인할 수 있습니다 .
화면 아래 쪽에는 , 다음과 같은 에러율이 표시됩니다 .
•
하강 에러율 (%)
모든 헤드의 하강 에러수 합계 / 모든 헤드의 하강횟수 합계가 표시됩니다 .
•
블로우 에러율 (%)
모든 헤드의 블로우 에러수 합계 / 모든 헤드의 블로우횟수 합계가 표시됩니다 .
•
흡착 에러율 (%)
모든 헤드의 흡착 에러수 합계 / 모든 헤드의 흡착횟수 합계가 표시됩니다 .
•
FNC 교환 에러율 (%)
모든 헤드의 FNC 교환 에러수 합계／모든 헤드의 FNC 교환횟수 합계가 표시됩니다 .
•
ANC 교환 에러율 (％ )
모든 헤드의 ANC 교환 에러수 합계／모든 헤드의 ANC 교환횟수 합계가 표시됩니다 .
컨베이어
본 장비의 컨베이어에 관한 집계정보가 표시됩니다 .
각 항목의 이용상황이나 에러의 발생상황 등을 확인할 수 있습니다 .
화면 아래 쪽에는 , 동작 에러율이 표시됩니다 .