YSD_Users_K.pdf - 第160页
4-31 4 █ 가 산타입 가산 타입 은 다 음 의 계산식 에 의해 보정 면적 이 계산되어 거기 에 따라 액 량이 보정 됩 니 다 . ( 가 산값 ) =( 인식 해서 얻 은 면적 ) - ( 사 용액 량에서 산 출 한 기 준면적 ) ( 보정면적 )=( 테이블 기준 면 적 )+( 가 산 비 ) 가 산타 입 보정방법의 예 비 례 보정 과 같이 디스펜 스 보정 맵 을 가 지 고 있 는 노즐을 사 용…
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█
비례타입
비례타입은 다음의 계산식에 의해 보정면적이 계산되어 거기에 따라 액량이 보정됩니다 .
( 보정비 )=( 인식해서 얻은 면적 ) ÷ ( 사용액량에서 산출한 기준면적 )
( 보정면적 )=( 테이블 기준면적 )X( 보정비 )
비례타입 보정방법의 예
액량 20msec:1.00 ㎟ / 액량 40msec:3.00 ㎟의 결과를 등록한 디스펜스 보정 맵을 가지고 있는 노즐이 있다고 간주하고 ,
이 노즐로 액량 20 으로 디스펜스 체크를 실행했을 때 , 측정면적이 0.60 이면 , 보정값은 다음과 같이 계산됩니다 .
( 보정비 )=( 인식해서 얻은 면적 ) ÷ ( 사용액량 타이머에서 산출한 기준면적 )
=0.60 ÷ 1.00=0.60
여기에서 얻은 보정비를 전부 섹션에 적용합니다 . 액량과 보정면적의 관계는 다음 그래프와 같습니다 .
0
0.5
1.0
1.5
2.0
2.5
3.0
3.5
0 10 20 30 40 50
비례타입 그래프 1
액량 [msec]
도포면적 [mm2]
기준면적
0.6倍
0.6배
보정면적
674 08-N7-0 0
디스펜스 보정은 기준면적 , 보정면적을 바탕으로 다음과 같이 자동으로 보정합니다 .
1. 디스펜스 체크와 같은 액량 20[msec] 으로 기준면적을 구합니다 .(=1.0)
2. 상기의 1. 에서 얻은 기준면적과 보정면적의 그래프가 교차하는 부위를 구합니다 .
3. 상기의 2. 에서 얻은 부위의 액량이 보정후의 액량이 됩니다 .
0
0.5
1.0
1.5
2.0
2.5
3.0
3.5
0 10 20 30 40 50
1
2
3
비례타입 그래프 2
액량 [msec]
도포면적 [mm2]
기준면적
보정면적
26.7
보정값
67409-N7-00
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4
█
가산타입
가산타입은 다음의 계산식에 의해 보정면적이 계산되어 거기에 따라 액량이 보정됩니다 .
( 가산값 )=( 인식해서 얻은 면적 )-( 사용액량에서 산출한 기준면적 )
( 보정면적 )=( 테이블 기준면적 )+( 가산비 )
가산타입 보정방법의 예
비례보정과 같이 디스펜스 보정 맵을 가지고 있는 노즐을 사용해서 액량 20 으로 디스펜스 체크를 실행했을 때 , 측정면적
이 0.60 이면 , 보정값은 다음과 같이 계산됩니다 .
( 가산값 )=( 인식해서 얻은 면적 )-( 사용액량 타이머에서 산출한 기준면적 )
=0.06-1.00=-0.40
여기에서 얻은 보정비를 전부 섹션에 적용합니다 . 액량과 보정면적의 관계는 다음 그래프와 같습니다 .
0
0.5
1.0
1.5
2.0
2.5
3.0
3.5
0 10 20 30 40 50
−0.4
−0.4
가산타입 그래프 1
액량 [msec]
도포면적 [mm2]
기준면적
보정면적
67410 - N 7-0 0
디스펜스 보정은 기준면적 , 보정면적을 바탕으로 다음과 같이 자동으로 보정합니다 .
1. 디스펜스 체크와 같은 액량 20[msec] 으로 기준면적을 구합니다 .(=1.0)
2. 상기의 1. 에서 얻은 기준면적과 보정면적의 그래프가 교차하는 부위를 구합니다 .
3. 상기의 2. 에서 얻은 부위의 액량이 보정후의 액량이 됩니다 .
0
0.5
1.0
1.5
2.0
2.5
3.0
3.5
0 10 20 30 40 50
24
보정값
1
2
3
가산타입 그래프 2
액량 [msec]
도포면적 [mm2]
기준면적
보정면적
67411-N7-0 0
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4
3.1.8 각 설정의 정합성 확인
정확하게 보정이 되도록 하기 위해 , 다음의 설정항목이 맞는지 확인합니다. 여기에서는 , 111 노즐의 설정을
예로 설명합니다. 임의로 설정되어 있는 경우는, 다음과 같이 설정해 주십시오 .
각 설정항목의 확인
111노즐의 설정예
[셋업]「노즐정보」 화면 [장비설정]「디스펜스 보정」 화면
[기판]「프리 디스펜스」 화면
「마크」 화면
1
1
4
4
3
3
2
2
68426-N7- 0 0
█
111 노즐의 설정예
설정값 내용
1 타입 -111 : 타입 11 대상 노즐과 보정타입이 맞는지 확인합니다 .
2 11 사용할 마크 No. 가 맞는지 확인합니다 .
3 면적 / 주변길이 : 0.190 형상체크방식이 면적 / 주변길이로 되어 있으며 , 기준면적 값이 맞는지 확인합니다 .
4 20 액량과 타이머 값이 맞는지 확인합니다 .