YSD_Users_K.pdf - 第382页
3-8 3 3 . 6 개 월 3 . 1 베이스부필 터의청소 1 장비의전원을O FF 합니다 . 소프트웨 어 를종 료 하 고 ,장 비 의전원스 위 치 를 OFF 해주십시 오 . 2 커버를탈 착합 니다 . 십 자드라이버 로장비뒤 쪽우측커버 의고 정 나 사 를분리 해서커 버 를탈착해주 십 시 오 . 57 311- N 7- 0 0 3 필터유닛을분 리 합…

3-7
3
2.1.4 Y 축가이드의청소
•
급유
e
1
비상정지버튼을누릅니다 .
안전을위해 ,반드시장비를비상정지상태로해
주십시오 .
2
가이드를청소합니다 .
1. 각축을한쪽으로이동시킨후 ,가이드전체를
먼지가나지않는종이와이퍼 ( 클린룸용 )등
으로닦아냅니다 .
3. 축을반대쪽으로이동시켜서 ,반대쪽의가이
드도닦습니다 .
57309-N7-00
c
주의
가이드레일의이동홈부분도깨끗히닦아주십시오 .
3
구리스를도포합니다 .
구리스건을사용해서 ,Y 축가이드용구리스니플
로부터지정구리스 (NSL) 를주입해주십시오 .
구리스니플은 ,각Y 축가이드
•
슬라이더의전후
에있습니다 .( 합계4 군데 )
구리스건의노즐장착은 ,구리스니플의방향에
맞춥니다 .
57310 -N 7-0 0
c
주의
Y 축의전후벤트형구리스니플은 ,노즐의방향에맞춰서
구리스건노즐을곧바로삽입해주십시오 .각도가틀어지면
니플이파손되거나어긋날경우가있습니다 .신중하게삽입
해서주입해주십시오 .
4
여분의구리스를닦아냅니다 .
손으로축을수차례움직여서여분의구리스를닦
아주십시오 .
Y축 가이드의 청소
Step 2
닦기용 와이퍼
이동 홈 부
Y축 가이드의 급유
Step 3
Y축 가이드용
구리스 니플
Y축 가이드용
구리스 니플
구리스 건
(표준노즐)

3-8
3
3.6 개월
3.1 베이스부필터의청소
1
장비의전원을OFF 합니다 .
소프트웨어를종료하고 ,장비의전원스위치를
OFF 해주십시오 .
2
커버를탈착합니다 .
십자드라이버로장비뒤쪽우측커버의고정나사
를분리해서커버를탈착해주십시오 .
57311- N 7-0 0
3
필터유닛을분리합니다 .
1. 십자드라이버로필터유닛을고정하고있는
나사 (2 개 ) 를분리합니다 .
2. 필터유닛을앞쪽으로당겨서뺍니다 .
57312-N7-00
4
필터유닛을청소합니다 .
1. 버큠 ASSY( 옵션 )또는소형청소기로필터에
쌓인먼지를흡입합니다 .
2. 청소하고 ,필터에문제가없으면Step6 으로
진행해주십시오 .
57313 -N7-0 0
5
필터를교환합니다 .
Step4 의작업에서필터의더러움을완전히제거
하지못할경우 ,또는필터가망가졌을때는새것
으로교환합니다 .
우측그림과같이십자드라이버로필터가끼워져
있는플레이트의나사를분리하고새필터로교환
해주십시오 .
6
필터유닛을원상태로되돌립니다 .
Step2~Step3 과의반대순으로필터유닛을원상
태로장착해주십시오 .
7
탈착한커버를원위치에장착합니다 .
커버의 탈착
Step 2
뒤쪽 우측 커버
커버고정 나사
필터 유닛의 분리
Step 3
필터
필터 유닛
고정 나사
필터의 청소와 교환
Step 4, 5
필터
필터를 교환할 경우
버큠ASSY 또는
소형 청소기
필터

3-9
3
4.1 년
4.1 W 축의청소
•
급유
4.1.1 W 축볼스크류의청소
•
급유
1
컨베이어폭을최대로설정합니다 .
셋업화면의[ 컨베이어폭 ] 버튼을눌러서「최대
폭」을선택해주십시오 .
e
2
비상정지버튼을누릅니다 .
안전을위해 ,반드시장비를비상정지상태로해
주십시오 .
3
볼스크류부를청소합니다 .
볼스크류전체를먼지가나지않는종이와이퍼
( 클린룸용 )등으로오래된구리스와더러움을닦
아냅니다 .
57314 -N7-0 0
c
주의
청소작업시에는 ,볼스크류의리드홈부분도깨끗히닦아주
십시오 .또 ,이물질등의발생여부도확인해주십시오 .
4
구리스를도포합니다 .
손에지정구리스 (NSL) 를묻혀서 ,볼스크류의
표면및리드홈부분에균일하게도포해주십시
오.
4.1.2 W 축가이드의청소
•
급유
1
컨베이어폭을최대로설정합니다 .
셋업화면의[ 컨베이어폭 ] 버튼을눌러서「최대
폭」을선택해주십시오 .
e
2
비상정지버튼을누릅니다 .
안전을위해 ,반드시장비를비상정지상태로해
주십시오 .
3
가이드를청소합니다 .
각축을한쪽으로이동시키고 ,가이드전체를먼
지가나지않는종이와이퍼 ( 클린룸용 )등으로
닦습니다 .
57315-N7-0 0
c
주의
가이드레일의이동홈부분도깨끗히닦아주십시오 .
4
구리스를도포합니다 .
손에지정구리스 (NSL) 를묻혀서 ,볼스크류의
표면및리드홈부분에균일하게도포해주십시
오.
W축 볼스크류의 청소
Step 3
종이 와이퍼
W축 가이드의 청소
Step 3
종이 와이퍼
이동 홈 부