YSD_Users_K.pdf - 第244页
5-56 5 6.4 인 식 파라미터 인식 파라미터 68 537- N7- 0 0 A : 표면 타입 마크표 면 과 기판 ( 마크 주 위 ) 과의 명암 관계 를 설 정 합니 다 . 아 래 표 를 참 고 하 여 주십시 오 . 비반사체 기판보다 마크가 어두움 반사체 기판보다 마크가 밝음 설 정 밝음 비교 인식상태 기판 마크 기판 마크 표면 타입 6753 6 - N7 - 0 0 B : 인식타입 인식 타…
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A, B: 마크외형 XY(mm)
마크의 외형치수를 입력합니다 . 아래 표를 참조해서 , 자 등으로 계측한 정확한 값을 입력하여 주십시오 . 기본 파라미터의
「마크 타입」을「배드마크」로 설정한 경우는 , 이 파라미터는 표시되지 않고 , 그 대신에 「마크검출범위」가 표시됩니다 .
예 마크 외형형상 타입
X
X
Y
Y
지름의 길이를 입력한다.
각변의 길이를 입력한다.
한 변의 길이를 입력한다.
X의 길이를 「마크외형 X」로, Y의 길이
를 「마크외형Y」에 입력한다.
마크 검출 범위내에 표시된 두 변중에 짧은
변의 길이를 입력한다.
원
사각형/장방형
정삼각형
특수형상
각 검출
마크 외형
67535-N7-00
C: 마크면적 (mm
2
)
이 파라미터는 , 「형상타입」을 「특수형상」으로 설정했을 때만 표시됩니다 . 마크의 면적을 mm 단위로 입력하여 주십시오 .
D: 마크주위길이 (mm)
이 파라미터는 , 「형상타입」을 「특수형상」으로 설정했을 때만 표시됩니다 . 마크의 주위 길이를 mm 단위로 입력하여
주십시오 .
n
요점
조명의 상태 등 환경에 의해 , 인식시의 값이 실제값과 달라서 , 에러가 날 경우가 있습니다 . 그럴 경우, 인식 파라미터의「마크
인식 공차」를 크게 하거나, 「마크인식 공차」를 일단 100% 로 설정해서 마크조정의 인식테스트를 해서 얻은 면적과 주변길
이 데이터를 입력합니다 . 데이터를 얻은 후는 , 「마크인식 공차」를 원래의 값으로 되돌려 주십시오 .
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6.4 인식 파라미터
인식 파라미터
68537-N7- 0 0
A: 표면타입
마크표면과 기판 ( 마크주위 ) 과의 명암관계를 설정합니다 . 아래 표를 참고하여 주십시오 .
비반사체
기판보다 마크가 어두움
반사체
기판보다 마크가 밝음
설 정
밝음 비교
인식상태
기판
마크
기판
마크
표면 타입
67536-N7-00
B: 인식타입
인식타입에는 다음의 6 종류가 있습니다 .
ᆞ 일 반
이외의 모든 형상타입에 대하여 이 인식타입을 사용합니다 . 단 , 이 방법으로 인식할 수 없을 경우는 다른 인식방법을
시도하여 주십시오 .
ᆞ 특수 1
「일반」으로는 인식할 수 없는 마크에 대해 사용하여 주십시오 .
ᆞ 특수 2
「일반」으로는 인식할 수 없는 마크로 , 잘린부분이 있는 마크에 대하여 사용하여 주십시오 .
ᆞ 패턴윤곽 , 패턴다치 , 패턴전체
패턴으로 등록할 마크에만 사용합니다 . 상세한 내용은 후술의「6.6.1 패턴 등록」을 참조하여 주십시오 .
C: 마크 경계값
마크를 인식할 때의 2 치화 화면의 경계값입니다 . 후술의 마크조정에서 최적화합니다 .
D: 마크인식공차 (%)
설정된 마크 면적값과 실제로 비젼인식 되었을 때의 면적값의 오차를 , 어느 정도까지 허용하는지를 % 로 설정합니다 .
권장치는「30」입니다 .
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E, F: 마크검출범위 XY(mm)
마크외형 +3.00mm 를 기준으로 합니다 . 예를 들면 , 아래 그림과 같이 마크의 외형이 1mm 일 경우 , 4mm 를 입력합니
다 . 다만 , 마크이외의 패턴 ( 레지스트ᆞ실크ᆞ기타 ) 도 검출되면 , 마크 검출범위 값을 작게해서 , 마크만 검출되도록 설정
하여 주십시오 .
1
4
마크 검출범위
마크
기판
마크 검출범위 예
67537-N7- 00
참고
기본 파라미터의 「마크 타입」을「배드마크」로 설정한 경우는 , 「마크 검출범위」는「형상 파라미터」에 표시됩니다 .
G~K: 조명레벨
마크를 인식할 때의 조명은 몇 개의 영역으로 나뉘어져 있습니다 . 각각의 영역의 조명레벨이 여기에 설정되어 있습니다 .
후술의 마크조정에서 최적화합니다 .
L, M: 마크외 , 마크내 노이즈 컷트수
마크화상을 2 치화해서 인식했을 때 , 마크의 외측 또는 내측에 노이즈로서 나타나는 부분을 컷트하기 위한 값입니다 .
후술의 마크조정으로 최적치를 구하여 입력합니다 .
N: 인식 시퀀스
보통 「일반」으로 설정합니다 . 인식속도를 중시할 때는 「고속」, 인식 정밀도를 중시할 때는 「Fine」으로 설정합니다 .