YSD_Users_K.pdf - 第162页

4-33 4 4 . 위치 보 정 디스 펜 스 기능 4 . 1 개요 와 제한 사항 본 기 능 은 , 노 즐 의 감 합공 차 및 노 즐 개 체 의 정 밀 도 에 의 해 노 즐 위 치 틀어 짐 을 계 측 하 고 , 보 정 함 으로 서 도포 정 밀 도 를 향상 시 킬 수 있 는 기 능 입 니 다 . 도트 스 테 이 션 및 도트 플 레 이 트 상 에 도포 한 도트 를 인 식 하 고 , 이 상 적 인 …

100%1 / 400
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4
3.1.8 정의 정합성
, 다음. , 111
. 우는, 다음주십 .
각 설정항목의 확인
111노즐의 설정예
[셋업]󳉎「노즐정보」 화면 [장비설정]󳉎「디스펜스 보정」 화면
[기판]󳉎「프리 디스펜스」 화면
「마크」 화면
1
1
4
4
3
3
2
2
68426-N7- 0 0
111 노
설정값 내용
1 입 -111 : 타입 11 대상 노즐과 보정타입이 맞는지 확인합니다 .
2 11 용할 마크 No. 맞는확인합니다 .
3 면적 / 주변길이 : 0.190 형상체크방식이 면적 / 변길이로 되어 있으며 , 기준면적 값맞는확인합니다 .
4 20 액량과 타이머 값이 맞는지 확인합니다 .
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4
4. 위치디스기능
4.1 개요제한사항
, 합공틀어 , 으로
도포 향상 . 도트 도트 도포도트
, 량을 , 판상.
도포 틀어짐량
이상적인 위치
도포위치
도포 틀어짐량
67412-N7-00
스가 가능 , 1 Shot 2Shot 즐이 . ( )
, 2Shot 즐에XY 으로 즐에.
대응 노즐예
사용 가능
사용 불가능
67413 -N7-0 0
[ 설정 ]-[ 파라 ]-[ 치보스펜 ] 면의 [ 기판 로딩 ] [ 커버 픈후 실행 ]
V4.42STD R1.000 이후 대응됩니다 .
도트 플레이트는 V4.42STD R1.000 후에 응됩니 .
도트를 인식도포액용하우는 , 액량위치보정있습 .
특히 , 도트 플레트는 백 조명장착되으므로 , 도트 스테이션에인식라도 , 플레에서인식
않을 능성이 있습 .
위치보정 스펜포함하이터미대 (YGD, HSD-XG ) , 미대프라인 소프
용해서 기판 하면 , 위치보정 스펜상실할 수 있습니 .
Y.Fact 대응 버전 , V4.41STD R1.000 이후 .
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4
4.2 설정방
다음 .
1
위치보디스데이터 화면을 시합니다 .
[ ] 르고「위보정 Disp.합니 .
2
위치보디스테이터를 작성합니다 .
도트 스펜스를 별로 네각 (0 , 90 , 180 , 270 ) 데이작성합니 .
2HEAD 우는 , 이터 (YSD_96001_2HEAD.ygx) , 3HEAD 우는 ,
(YSD_96001_3HEAD.ygx) 사해서 , 용액량과 시퀀 , 마크스펜
맞춰값을 합니 . 프리 스펜스가 우는 , 스펜스트용액량과 마크
력해 주십 .
위치보정 디스펜스
3
프리 디스펜스 데이터에 맞춘다
68427-N7-00
이터 복사
1. 이미 작성되어 있는 기판 표시합니 .
2. [ 기판 ]-「위치 Disp.」화면의 [ 보조편 ] 버튼누릅니 .
3. 복사할 클릭[ ] 버튼누릅니 .
4. 복사할 종행[ 복사 ] 버튼누릅니 .
5. 붙이기 표시합니다 .
6. [ 기판 ]-「위치 Disp.」화면의 [ 보조편 ] 버튼누릅니 .
7. 붙이기 클릭 , [ ] 튼을 누릅니 .
c
주의
장비설정의「위보정 디스펜스」-「최저 샘플수」의 디폴트값「3」이 , 네각도 분의 데이터 ( 스킵항목이 Dot&Check)
3 상 작성해 주십 .
3
실시전 프리 디스펜스에 니다 .
으로 행전 , 프리 스펜스를 . 스펜도트 스테이션
우에사용가능합니 .