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3-1 3 1 . 에러 와 대책 다음과 같이 일상적 인 생산중에 발생 할 수 있는 에러 와 그 대 책 을 설 명 합니 다 . 1 . 1 대표적 인 에러 와 대처 방법 코드 에러 명 칭과 내용 Es000 1 3 2 차 리미트 오 버 상태 동작 범위 종단 을 나타 내 는 센서 (2 차 리 미트 센서 ) 가 반응하고 있습니 다 . 원인 동작 범위 종단 을 나타 내 는 센서가 반 응하 고 있 습니 …
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1. 에러와 대책
다음과 같이 일상적인 생산중에 발생할 수 있는 에러와 그 대책을 설명합니다 .
1.1 대표적인 에러와 대처방법
코드 에러 명칭과 내용
Es00013
2 차 리미트 오버
상태 동작범위 종단을 나타내는 센서 (2 차 리미트 센서 ) 가 반응하고 있습니다 .
원인 동작범위 종단을 나타내는 센서가 반응하고 있습니다 .
대책 해당 축을 동작범위 중앙 부근까지 손으로 밀어서 이동시켜 주십시오 .
Ea00070
기판반송 에러
상태 컨베이어상에 규정수량 이상의 기판이 반입되었습니다 .
원인
기판요구 신호를 보내지 않았음에도 불구하고 , 상류측에서 기판이 반입되었습니다 . 또는 이상 기판을 검출했습니
다.
대책
상류측의 반출 출구센서 또는 본 장비의 반입센서 위치조정 및 기판검출 센서 입구스톱퍼 센서를 재조정 해 주십
시오 .
Ea00074
기판고정 에러
상태 기판반송 유닛 , 로케이트 핀 , 푸쉬업이 정상적으로 작동되지 않습니다 .
원인 센서의 위치조정 불량 , 또는 스피드 컨트롤러에 의한 동작의 불안정
대책 기판반송 유닛의 높이관계 센서의 동작을 확인해 주십시오 .
Ea00267
피듀셜 FINE 수속 에러
상태
Fine 타입 인식에 있어서 , 보정위치가 Fine 수속 위치내로 집결되지 않았습니다 . Fine 수속 위치는 , 장비 데이터
에 정의되어 있습니다 .
원인 수속조건이 너무 엄밀합니다 .
대책 장비 데이터에서 수속조건을 완화시키거나 , 일반 피듀셜 데이터를 사용해 주십시오 .
Ea00410
도트인식 에러
상태 도트사이즈 보정을 할 수 없습니다 .
원인
•
최저 샘플수 이상의 도트를 인식불가
•
보정 타이머가 0
•
측정한 면적의 합계가 0.01mm~2 이하
•
측정한 도트가 마크 정보의 공차외
대책 도트인식에 사용하는 마크 데이터를 조정해 주십시오 .
Ea00436
기판데이터 프리디스펜스 높이 경고
상태 도트 디스펜스의 높이가 너무 낮습니다 .
원인 디스펜스 시퀀스에 부적절한 값이 설정되어 있습니다 .
대책
설정을 재확인하여 주십시오 .
- 하강목표위치가 , 기판면 높이 +0.5mm 보다 낮음
- 다음 작업을 허가하는 높이가 , 기판면 높이 -0.5mm 보다 낮음
- 하강목표위치가 , 다음 작업을 허가하는 높이보다 높음
- 다음 작업을 허가하는 높이가 , 상승목표 위치보다도 높음
Ea07011
위치보정 디스펜스 에러
상태 위치보정에 필요한 샘플수가 부족합니다 .
원인 위치보정 디스펜스 동작에서 정상적으로 인식된 도트의 횟수가 , 위치보정에 필요한 최저 샘플수를 밑돌았습니다 .
대책 도포상태 및 마크 데이터를 확인해 주십시오 .
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코드 에러 명칭과 내용
Ea02652
인터록 에러
상태 헤드의 높이가 위험한 위치에 있어서 X.Y,R,W 축을 이동할 수 없는 상태입니다 .
원인 헤드의 높이가 위험한 위치에 있어서 X.Y,R,W 축을 이동할 수 없습니다 .
대책
헤드를 안전한 높이까지 이동시켜 주십시오 . 하강단 센서를 겸비하고 있는 장비는 헤드의 하강단 센서의 상태를
확인해 주십시오 .
Ea02653
인터록 에러
상태 헤드의 높이가 위험한 위치에 있어서 , 운전을 할 수 없습니다 .
원인 헤드의 높이가 위험한 위치에 있습니다 .
대책 헤드를 안전한 높이까지 이동시켜 주십시오 .
Ea02790
노즐 높이계측 미완료 ( 옵션 )
상태 노즐 높이계측이 완료되지 않아서 , 자동운전을 시작할 수 없습니다 .
원인 노즐 높이계측이 미완료 상태입니다 .
대책
높이보정 기능을 사용할 경우는 , 자동운전 시작전에 [ 셋업 ]-[ 노즐높이 계측 ] 버튼을 눌러서 사용할 헤드의 높이
를 측정해 주십시오 .
Ea02895
디스펜스 동작중의 비상정지
상태 디스펜스 동작중에 비상정지를 하였습니다 .
원인 디스펜스 동작이 불안정 할 가능성이 있습니다 .
대책 디스펜스 상태를 확인하여 주십시오 .
Ea02896
0 점 리세트 미완료 ( 옵션 )
상태 레이저 변위계의 0 점 리세트가 미완료되어 , 자동운전을 시작할 수 없습니다
원인 레이저 변위계의 0 점 리세트가 완료되지 않았습니다 .
대책
높이보정 기능을 사용할 경우는 , 자동운전 시작전에 [ 셋업 ]-[ 레이저 0 점 설정 ] 버튼을 눌러서 레이저 변위계를
리셋해 주십시오 .
Ea03211
W 축 인터록
상태 W 축이 인터록으로 멈추었습니다 .
원인 컨베이어 폭의 축 검지 센서가 이상을 검지했습니다 .
대책 푸쉬업 핀 또는 백업 유니트의 위치를 확인하여 주십시오 .
Ea03248
히터온도 공차에러
상태 헤드용 히터온도가 설정온도의 유효범위를 벗어났습니다 .
원인 히터가 설정온도에 미치지 않습니다 .
대책 [ 장치 ]-[ 헤드 ] 화면에서 히터가 설정온도까지 상승하는 것을 확인한 후에 운전을 시작해 주십시오 .
Ea07004
도트 스테이션 페이퍼 소진 에러
상태 도트 스테이션의 페이퍼가 소진되었으므로 , 페이퍼를 교환하여 주십시오 .
원인 센서가 페이퍼 소진을 검출했습니다 .
대책 도트 스테이션의 페이퍼를 교환해 주십시오 .
Ea07006
용액소진 감지완료 실장완료
상태
용액소진을 감지하고 나서 , 지정 기판수량을 생산완료 했습니다 .
다음의 대책을 실행하고 재가동하여 주십시오 .
● 용액소진의 원인을 제거한다
( 리셋처리는 여부는 상관없습니다 .)
● 리셋한다
대책을 실행하지 않으면 , 운전은 시작을 할 수 없습니다 .
또한 , 리셋 처리만으로 자동운전을 재개한 경우는 , 그 다음 기판을 1 장 생산완료 할 때까지 정지하지 않으므로
주의해 주십시오 .
원인 용액소진을 감지했습니다 .
대책 실린지를 교환해 주십시오 .