YSD_Users_K.pdf - 第269页
6-1 6 1 . 셋업 파라미 터 1 .1 도중 부터 운 전 「셋 업 」화 면 의 [ 도 중부 터 운 전 ] 버 튼 을 누 르 면 , 「 도 중부 터 운 전 」대 화 창 이 열 립 니 다 . 기 판 의 생 산 도 중에 리 세 트 한 데 이 터 를 계 속 해 서 도 포 하 고 싶 은 경 우 나 , 특 정 의 블록 또 는 특 정 의 탑 재 포 인 트 만 도포 하 고 싶 은 경 우에 사용 합 니 …
제 6 장 기능의 활용
목차
1. 셋업 파라미터 6-1
1.1 도중부터 운전 6-1
1.1.1 저장되어 있는 데이터 읽기 6-2
1.1.2 탑재 플래그의 편집 6-2
2. 티칭과 트레이스 6-3
2.1 트레이스 기능 6-3
2.2 자동 트레이스 기능 6-6
2.3 티칭기능 6-7
2.3.1 포인트 티칭 6-7
2.3.2 커서 티칭 6-11
3. 보조편집 기능 6-15
3.1 보조편집 화면으로의 전환 6-15
3.2 선택범위의 지정 6-16
3.3 행 편집 6-17
3.4 검색
•
대체 6-18
3.5 배열변경 6-19
4. 조정 화면에서의 디스펜스 테스트 6-21
6-1
6
1. 셋업 파라미터
1.1 도중부터 운전
「셋업」화면의 [도중부터 운전 ] 버튼을 누르면 , 「도중부터 운전」대화창이 열립니다.
기판의 생산도중에 리세트한 데이터를 계속해서 도포하고 싶은 경우나 , 특정의 블록 또는 특정의 탑재포인트
만 도포하고 싶은 경우에 사용합니다. 이 기능은 첫장째의 기판에만 유효하고 , 그 다음 기판부터는 일반적
인 도포작업을 합니다.
[도중부터 운전] 버튼
도중부터 운전
68600-N7-00
6-2
6
1.1.1 저장되어 있는 데이터 읽기
자동운전을 도중에서 리세트하면 자동적으로 그 때의 상태가 저장됩니다. 「도중부터 운전」대화창의 [ 읽기 ]
버튼을 누르면 , 작업을 중단했을 때의 정보가 읽혀집니다.
자동운전을 재개하면 , 정지되었던 시점의 상태부터 계속해서 도포할 수가 있습니다.
또한 , 에러에 관한 정보도 저장되어 있으므로 , 어떠한 이유로 도포되지 않은 데이터의 도포도 실행합니다.
저장되어 있는 데이터를 읽은후
자동운전 재개
1
5
블록 NO.1
도포 재개
블록 NO.2
2
6
3
7
4
8
1
5
2
6
3
7
4
8
1
5
블록 NO.1 블록 NO.2
2
6
3
7
4
8
1
5
2
6
3
7
4
8
: 도포
: 미도포
리세트
67600-N7-00
1.1.2 탑재 플래그의 편집
탑재번호를 지정함에 따라, 특정의 포인트만 도포할 수가 있습니다.
또한 도포 도중에 정지 , 리세트한 경우, [ 읽기 ] 버튼을 눌러서 데이터를 읽은 후 , [ 탑재 플래그 ] 버튼으로
각 도포 포인트의 「도포완료」수정을 할 수 있습니다.
단 , 이 기능은 첫장째의 기판에만 유효하고 , 그 다음 기판부터는 일반적인 도포작업을 실행합니다.
[탑재 플래그] 버튼
탑재 플래그의 편집
「옵셋번호」 선택박스
도포완료 플래그
68601-N7-00