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2-41 2 █ 모 니터 : 배 드마크 「기 판 , 블록」, 「로컬」등 의 배 드 마크 인식 결 과를 표시 합 니 다 . 모니터 배드마크 68 22 4 - N7- 0 0 • X, Y 기 판 데 이 터 입 력값 ( 블록 옵 셋 량 고려 ) 을 표시 합니 다 . • 인식결과 실제 로 마 크 를 인식 한 결과에 따라 서 「O K 」또는 「NG」판단 을 합니 다 . OK: 배 드마 크 인식 에 실패…
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모니터 : 피듀셜
「기판 , 블록」, 「로컬」, 「포인트」등의 피듀셜 인식결과를 표시합니다 .
모니터
피듀셜
68223-N7-00
•
보정값 X, Y, R
인식결과 , 기판데이터 입력값과의 비교를 (+),(-) 로 표시합니다 .
•
보정값 신장율
보정값 X, Y, R 을 이용해서 계산한 기판 신장율이 표시됩니다 .
•
인식결과
「성공」또는 「미완료」가 표시됩니다 . 실제로 마크인식 동작을 해서 인식이 성공되면 , 「미완료」에서 「성공」으로 변합니
다.
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모니터 : 배드마크
「기판 , 블록」, 「로컬」등의 배드마크 인식결과를 표시합니다 .
모니터
배드마크
68224-N7- 0 0
•
X, Y
기판데이터 입력값 ( 블록 옵셋량 고려 ) 을 표시합니다 .
•
인식결과
실제로 마크를 인식한 결과에 따라서 「OK」또는 「NG」판단을 합니다 .
OK: 배드마크 인식에 실패한 경우 , 작업을 하는 것을 의미합니다 .
NG: 배드마크 인식에 성공한 경우 , 작업을 하지 않는 것을 의미합니다 .
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모니터 : 높이보정 ( 옵션 )
모니터
높이보정
68225-N7-00
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레이저
• 커런트
현재의 레이저 높이를 측정한 결과를 표시합니다 . 이는 , 샘플 횟수와 장비 설정에 의존합니다 . 수치는 레이저 0 점 설정
리셋값에서의 옵셋량을 표시합니다 .
레이저 0 점 설정 리셋값을 기판면과 같게 할 경우 , 기판면 높이에서의 옵셋량이 표시됩니다 . 플러스 마이너스 관계는 ,
헤드 Z 축과 같습니다 .
• 로컬
측정한 결과를 샘플링 횟수로 평균처리한 값을 표시합니다 . 번호는「도트 디스펜스」탭내의 높이 보정란의 번호가 표시됩니
다 . 수치는 레이저 0 점 설정 리셋값에서의 옵셋량을 표시합니다 .
레이저 0 점 설정 리셋값을 기판면과 같게 할 경우 , 기판면 높이에서의 옵셋량이 표시됩니다 . 플러스 마이너스 관계는 ,
헤드 Z 축과 같습니다 .
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노즐
• 높이
셋업 화면의 유틸리티내의 [ 노즐높이 계측 ] 버튼을 눌러서 계측한 결과를 표시합니다 .
표시하고 있는 값은 , 장비 데이터의 기준높이에서의 옵셋량이 됩니다 .