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Version 2.00 사용자 매뉴 얼 2019년 2 월
4-5
4
2.4 기판반송부
2.4.1 W 축가이드및볼스크류와6 각스플라인
W축의 급유개소
W축 가이드
W축 가이드
W축 볼스크류
W축 6각 스플라인
W축 볼스크류
구리스 건 :
손으로 도포 :
가이드 및 볼스크류, 6각 스플라인
5740 4 -N7- 0 0
급유부위 급유개소 주기 작업방법
가이드 2
1 회 / 매월
손으로도포
볼스크류 2 손으로도포
6 각스플라인 1 손으로도포
4-6
4
2.4.2 PU 축볼가이드와볼스크류
PU축의 급유개소
PU축 볼가이드
PU축 볼스크류
PU축 볼스크류
구리스 건 :
손으로 도포 :
볼가이드와 볼스크류
57405-N7-00
급유부위 급유개소 주기 작업방법
볼가이드 2
1 회 / 매월 손으로도포
볼스크류 2
Version 2.00
사용자 매뉴얼
2019년 2월