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3-1 3  1.  매 주 1 . 1 컨베이 어센 서의상태와동 작확인 본 장 비 에 는 컨 베 이 어 센 서 로서 투 과 형 화이 버 센 서 를 사 용 하 고 있 습 니 다 . 컨 베 이 어 레 일 폭 을 변 경 해 도 센 서 가 올 바 르 게 동작 하 는 지 다음 과 같이 확 인 해 주십 시 오 . 컨베이어 센서의 상태와 동작확인 투광부 센서 수광부 센서 기판 5 73 00-N …

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제 3 장 정기적인유지보수항목
목차
1. 매주 3-1
1.1 컨베이어센서의상태와동작확인 3-1
1.2 기판클램프의상태와동작확인 3-2
1.2.1 기판클램프의상태확인 3-2
1.2.2 기판클램프동작의확인 3-2
2. 매월 3-3
2.1 X,Y 축의청소와급유 3-4
2.1.1 X 축볼스크류의청소
•
급유 3-4
2.1.2 X 축가이드의청소
•
급유 3-5
2.1.3 Y 축볼스크류의청소
•
급유 3-6
2.1.4 Y 축가이드의청소
•
급유 3-7
3. 6 개월 3-8
3.1 베이스부필터의청소 3-8
4. 1 년 3-9
4.1 W 축의청소
•
급유 3-9
4.1.1 W 축볼스크류의청소
•
급유 3-9
4.1.2 W 축가이드의청소
•
급유 3-9
4.2 Z 축의청소
•
급유 3-10
4.2.1 Z 축가이드및볼스크류 ,샤프트의청소
•
급유 3-10
4.3 푸쉬업 (PU) 축의청소
•
급유 3-11
4.3.1 PU 축볼스크류및볼가이드의청소
•
급유 3-11
4.4 기판반송부의점검 3-12
4.4.1 컨베이어벨트의점검과청소 3-12
4.4.2 컨베이어벨트의교환 3-13
4.5 6 각스플라인의청소
•
급유 3-14
4.6 에어 / 미스트필터의점검
•
청소 3-15
4.6.1 필터컵의청소 3-15
4.6.2 에어필터및미스트필터의청소 3-16
4.7 컨트롤러부필터의청소및교환 3-17
5. 도트스테이션의유지보수 3-18
3-1
3
1.매주
1.1 컨베이어센서의상태와동작확인
본 장비에는 컨베이어 센서로서 투과형 화이버 센서를 사용하고 있습니다.
컨베이어 레일 폭을 변경해도 센서가 올바르게 동작하는지 다음과 같이 확인해 주십시오 .
컨베이어 센서의 상태와 동작확인
투광부 센서
수광부 센서
기판
57300-N7-00
1
[ 장치 ]-「컨베이어」탭을선택합니다 .
2
[ 컨베이어폭 ] 버튼으로컨베이어폭을
변경합니다 .
컨베이어폭변경대화창이표시되므로 ,컨베이어
폭을입력하고[OK] 버튼을눌러주십시오 .
컨베이어가지정된폭으로변경됩니다 .
3
에러의발생유무를확인합니다 .
컨베이어폭을변경했을때 ,에러메시지가표시
되지않으면 ,컨베이어센서는정상적으로동작하
고있다고판단됩니다 .
에러메시지가표시되었을경우는 ,다음과같은
순서대로센서를조정해주십시오 .
58300-N7-00
█
컨베이어센서의조정방법
컨베이어센서로부터의출력상태를확인합니다 .
1.[ 장치 ]-「I/O」탭을선택합니다 .
2.출력모니터 (Output) 의드롭다운리스트에서「컨베
이어」를선택합니다 .
3.「CONVSENSORTUNING」(T01000E,0) 를
선택합니다 .
4.[ON/OFF] 버튼을눌러서0(OFF) → 1(ON) →
0(OFF) 로전환해서 ,자동튜닝을실행합니다 .
5.재차[ 컨베이어폭 ] 버튼을눌러서컨베이어폭을변
경하고 ,에러메시지가표시되지않으면센서는정상
적으로동작하고있습니다 .
58301-N7- 0 0
컨베이어 화면
Step 2
[컨베이어 폭] 버튼
컨베이어 센서의 튜닝
Step 3
2 3
4
3-2
3
1.2 기판클램프의상태와동작확인
1.2.1 기판클램프의상태확인
기판의 클램프 상태에 관해서 다음의 항목을 확인해 주십시오 .
1.기판클램프했을때 ,기판에덜컹거림이없을것 .
2.기판클램프했을때 ,기판누름플레이트와기판과의사이에틈새가없을것 .
3.기판클램프했을때 ,컨베이어레일상면과기판과의단차가발생하지않을것 .
4.기판클램프유닛의동작이원활하게작동할것 .
1.2.2 기판클램프동작의확인
1
[ 장치 ]-「컨베이어」탭을선택합니다 .
2
[ 컨베이어폭 ] 버튼을눌러서기판폭을
입력합니다 .
컨베이어폭변경대화창의「변경후의컨베이어
폭」란에기판폭을입력하고[OK] 버튼을눌러주
십시오 .
컨베이어가지정된폭으로이동합니다 .
3
기판두께를입력합니다 .
[ 푸쉬업 ] 버튼을눌러서「두께」란에기판두께를
입력하고[OK] 버튼을눌러주십시오 .
4
[ 기판클램프 ] 버튼을눌러서기판을
클램프합니다 .
5
재차[ 기판클램프 ] 버튼을눌러서
기판을언클램프합니다 .
58302-N7-00
"Step4,5" 의기판클램프 ,언클램프를반복
실행해서 , 동작이안정되는지확인합니다 .
동작의 확인
Step 2-5
2
45
3