YSD_Users_K.pdf - 第123页
3-10 3 3. 페이퍼 사 용량 의 절감 도트 스테 이 션 의 페 이퍼 사 용량을 절감 할 수 있 는 기 능에 대해 서 다 음 과 같이 설 명 합니 다 . 3 .1 프리 디스펜스 실 행간격 지정기 능 프 리 디 스 펜 스 동 작을 장수 또 는 시 간 별 로 실 행 간 격 을 지 정 하는 기 능 입 니 다 . 실 행 간 격 을 지 정 함 으로 서 도트 스 테 이 션 의 도포 횟 수를 줄여 서…
3-9
3
불량의 원인과 대책
기판 표면에 노즐 스톱퍼의 찍은 흔적이 심하게 남을 경우
원인 헤드 하강단이 너무 낮다 .
대책 기판면의 높이 또는 지정되어 있는 디스펜스 시퀀스 목표높이를 재확인 해 주십시오 .
원인 노즐이 올바르게 장착되어 있지않다 .
대책 노즐을 올바르게 장착해 주십시오 .
용액의 늘어짐이 발생할 경우
원인 노즐의 능력이상의 액량 데이터가 입력되어 있다 .
대책 데이터의 재검토 , 또는 액량에 맞는 노즐로 교환해 주십시오 .
원인 히터의 설정온도가 낮다 .
대책 적정 온도로 설정해 주십시오 .
원인 헤드의 상승속도가 너무 빠르다 .
대책 디스펜스 시퀀스의 상승속도를 늦춰 주십시오 .
원인 노즐의 선단에 고착물이 있다 .
대책 노즐의 선단을 칫솔 등으로 닦아 주십시오 .
용액의 물보라가 디스펜스 포인트 주변에 흩어져 날려 있을 경우
원인 헤드의 상승속도가 너무 빠르다 .
대책 디스펜스 시퀀스의 상승속도를 늦춰 주십시오 .
원인 노즐의 선단에 고착물이 있다 .
대책 노즐의 선단을 칫솔 등으로 닦아 주십시오 .
디스펜스 포인트가 어긋날 경우
원인 디스펜스 데이터에 부적절한 데이터가 입력되어 있다 .
대책 해당되는 디스펜스 데이터를 수정해 주십시오 .
원인 노즐이 제대로 장착되어 있지 않다 .
대책 노즐을 확실하게 장착해 주십시오 .
2 점 노즐의 도포각도가 어긋날 경우
원인 기판이 위로 많이 휘어져 있다
대책 푸쉬업 핀을 재조정 해 주십시오 .
원인 노즐이 올바르게 장착되어 있지않다 .
대책 노즐을 올바르게 장착해 주십시오 .
실린지의 잔량감소와 함께 택타임이 늦어질 경우
원인 실린지의 수두차에 의해 도포량이 줄어들고 보정 타이머가 늘어났다
대책 디스펜스 보정 리미트 체크를 설정해 주십시오 . ( 상세한 내용은 제 4 장 「5.3 디스펜스 보정 리미트 체크」 참조 )
장비 , 헤드별로 기능차가 클 경우
원인 밸브 등이 노화되었다 .
대책
밸브를 교환하거나 에어 경로를 청소해서 원인을 제거해 주십시오 .
잠정적인 대책으로 [ 장비설정 ]- 「노즐 데이터」 의 「계수」 값을 변경한다 .
디폴트값 :1.0 →수치 변경후의 도포량 :0.9( 소 ) 〈 1 〈 1.1( 대 )
노즐마다 XYR 에 편차가 있을 경우
원인 노즐 개체에 차이가 있다 .
대책 위치보정 디스펜스 기능을 사용해 주십시오 . ( 상세한 내용은 제 4 장 「4. 위치보정 디스펜스 기능」 참조 )
3-10
3
3. 페이퍼 사용량의 절감
도트 스테이션의 페이퍼 사용량을 절감할 수 있는 기능에 대해서 다음과 같이 설명합니다 .
3.1 프리 디스펜스 실행간격 지정기능
프리 디스펜스 동작을 장수 또는 시간별로 실행간격을 지정하는 기능입니다. 실행간격을 지정함으로서 도트
스테이션의 도포 횟수를 줄여서 , 페이퍼 사용량을 절감할 수가 있습니다. ( 헤드단위로 설정가능 )
█
설정범위
•
기판수량 간격 :0~999 장
•
시간간격 :0~30000 초
기판수량 간격 , 시간간격 중에서 어느 한쪽을 설정해서 , 그 조건으로 실행 간격을 지정할 수도 있습니다 .
█
기판수랑 간격의 설정 예
「기판수량 간격」지정에서 헤드 1 의 설정값이「2」일 경우는 , 2 장 간격으로 프리 디스펜스를 실행하고 , 헤드 2 의 설정값
이「4」의 경우는 , 4 장 간격으로 프리 디스펜스를 실행합니다 .
헤드번호 / 기판수량 1 장째 2 장째 3 장째 4 장째 5 장째
헤드 1 실행 – 실행 – 실행
헤드 2 실행 – – 실행
█
간격실행 설정방법
1. [ 기판 ]-「프리 디스펜스」화면을 표시합니다 .
2. 「기판수량 간격」,「시간간격 (sec)」란에 설정값을 입력합니다 .
실행간격의 설정
간격 지정조건 설정
68300-N7-00
n
요점
초기에는 연속생산에 있어서 2 장에 1번으로 간격을 설정해 주십시오 . 구체적인 설정은 다음과 같습니다.
• 기판수량 간격 :2 장
• 시간간격 : 사이클 타임 +10 초 정도
c
주의
설정 간격을 너무 띄우면 , 도트 디스펜스의 첫번재 점수가 극단적으로 작아질 수가 있습니다 . 점차적으로 간격을 넓히면서 도포
상태를 확인해 주십시오 .
3-11
3
4. 잔량검지 센서 기능
일반적인 조정방법으로 잔량검지 센서에 의한 용액소진 검출이 되지 않았을 경우에 유효한 기능에 대해서 설명
명합니다 .
4.1 잔량검지 각도지정 기능
일반적인 잔량검지로 용액소진을 검지할 수 없을 경우는, 피스톤부의 반사로 인해 검출합니다.
앰프부의 출력 전환 스위치를「D_ON」쪽으로 설정하고 , 검지 각도를 지정해서 용액소진을 검출할 수가 있
습니다 .
참고
본 기능은 ,「D_ON」,「L_ON」의 어느쪽의 설정도 사용할 수 있습니다. 보통, 각도지정으로 잔량을 검출할 경우는 ,
「D_ON」으로 설정합니다.
각도 지정
피스톤 검출 위치
잔량검지 센서
실린지 홀더
피스톤 하부
(잔량없음)
실린지 홀더의 구멍은
90°마다 열려 있다
잔량검지 센서
실린지(투명)
센서광축 (반사)
센서광축(투광)
67301-N7- 0 0
█
동작 개요
운전 시작전 , 기판 1 장 생산후에 , 지정각도 및 +90°+180°+270°의 4 각도에서 잔량검지를 실행합니다 .
피스톤 동작에 의한 용액의 잔량의 편차로 인해, 1군데만으로는 검지할 수 없을 경우가 있으므로 , 4 각도에서 검지합니다.
용액 소진을 검지한 경우 , 기판 1 장 생산후에 에러를 표시합니다 .
이때 , 일반적인 잔량검지에 비해서 , 에러 표시 타이밍이 늦어질 경우가 있습니다 .
█
제한 사항
•
실린지에 따라서 잔량검지를 할 수 없을 경우가 있습니다 .
•
모든 헤드가 같은 R 축 각도로 잔량검지를 할 수 있을 필요가 있습니다 .
•
기판 데이터 등에 의해 , 사이클 타임이 늦어질 수가 있습니다 .
[ 기판 ]-「기판」-「부품 선취」는「한다」로 설정합니다 .
참고
최종 도포좌표에서 대기위치 까지의 거리가 짧고 , 각도 검지 시간이 길 경우, 사이클 타임이 늦어질 수가 있습니다.