YSD_Users_K.pdf - 第240页
5-52 5 6 .1 작 성 순서 버 튼 영 역 의 [ 마 크 ] 버 튼 을 누 르 면 , 아 래 그 림 과 같 이 마 크화 면 이 열 립 니 다 . 화 면 상 부 의 데 이 터 No . 행 에 「마 크 명 」과 「코 멘 트 」를 입 력 하 고 , 하 부 의 리 스트 에 각 종 파 라 미 터 를 설 정 합 니 다 . 1 [ 마크 ] 버튼 을 눌러서 , 마크 화면을 표 시 합 니다 . 마크 화…
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6. 마크 정보의 작성
기판에서 사용하는 마크정보의 작성법을 설명합니다 . 마크정보는 등록된 마크별로 아래 그림과 같이 여러가지
파라미터를 가지고 있습니다 . 이 파라미터를 설정할 때는 , 데이터베이스로부터 비슷한 형상의 샘플을 복사하여 ,
상이한 파라미터만 변경하면 간단합니다 . 직접 설정하지 않는 파라미터는 마크조정에서 확인하면서 최적치를
구합니다 .
마크 파라미터의 구성
형상타입
마크외형
(마크외형 X)
(마크면적)
(마크주위 길이)
마크 타입
데이터베이스 번호
마크명
코멘트
(마크타입)
• 피듀셜
• 배드마크
• 배드용 피듀셜
• 디스펜스 도트
• 높이 보정
표면타입
인식타입
마크 검출범위 XY
외륜 조명레벨
내륜 조명레벨
동축 조명레벨
IR 외륜 조명레벨
IR 내륜 조명레벨
마크외 노이즈 컷트수
마크내 조이즈 컷트수
인식 시퀀스
마크 경계값
마크 인식공차
68533-N7- 0 0
참고
표시되는 파라미터는 선택한 「마크타입」과「형상타입」등에 의해 달라집니다.
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6.1 작성순서
버튼영역의 [ 마크 ] 버튼을 누르면 , 아래 그림과 같이 마크화면이 열립니다. 화면상부의 데이터 No.행에
「마크명」과「코멘트」를 입력하고 , 하부의 리스트에 각종 파라미터를 설정합니다.
1
[ 마크 ] 버튼을 눌러서 , 마크화면을 표시합니다 .
마크 화면
21 3
5
47
68534-N7-00
2
「마크명」을 입력합니다 .
마크별로 구별이 되는 이름을 19 자 내외의 영숫자로 입력합니다 . 스페이스는 사용할 수 없습니다 .
3
「코멘트」를 입력합니다 .
필요에 따라 코멘트를 입력합니다 . ( 입력하지 않아도 상관없습니다 .)
4
파라미터를 설정합니다 .
「기본」 「형상」 「인식」탭을 선택하면서 , 화면의 우측하단에 표시되는 리스트에 파라미터를 설정하여
주십시오 .
각 파라미터의 설정방법에 대해서는 , 후술의「6.2
〜
6.4」을 참조해 주십시오 .
참고
파라미터의 설정은, 마크 데이터베이스로부터 닮은 형상의 샘플을 복사해서, 상이한 파라미터만 변경하면 간단히 설정할 수
있습니다 .
5
마크조정을 실행합니다 .
설정한 파라미터의 확인 및 조정작업 (「마크조정」이라고 함 ) 을 합니다 . ( 본 장「5.5 마크조정을 실행
한다」를 참조하여 주십시오 .)
6
상기의 작업을 반복합니다 .
기판에 사용하는 모든 마크에 대하여 상기의 작업을 실행하여 주십시오 .
7
데이터를 저장합니다 .
버튼영역의 [ 기판저장 ] 버튼을 눌러서 데이터를 저장하여 주십시오 .
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6.2 기본 파라미터
[데이터 베이스]버튼
2 1
마크
기본 파라미터
3
4
5
68535-N7- 0 0
1. 마크타입
리스트에서 마크타입을 선택합니다 . 피듀셜기능으로 사용할 때는 「피듀셜」, 배드마크를 사용할 때는「배드마크」를 선택
합니다 . 또한 , 피듀셜마크를 배드마크로서 사용할 때는 「배드용 피듀셜」로 설정합니다 .
여기서 설정한 항목이 데이터 No. 의 「마크타입」란에 표시됩니다 .
2. 데이터베이스 번호
데이터베이스로부터 파라미터값을 복사한 경우 , 복사원본의 데이터베이스 번호가 표시됩니다 . 데이터베이스로부터
파라미터값을 복사하고 싶을때는 , [D/B] 버튼을 눌러 주십시오 .
「데이터베이스 일람」화면이 표시되므로 , 복사 원 데이터를 선택하고 [ 세팅 ] 버튼을 눌러서 , 복사를 실행합니다 .
3. 배드마크 판별
「일반」이나「반전」을 선택합니다 .「 일반」을 선택하고 배드마크가 검출되지 않으면 작업을 실행합니다 .
또한 ,「반전」을 선택해서 배드마크가 검출되면 작업을 실행합니다 .
4. 적정 용액온도 , 토출정압 , 토출 부압
이 란은 , 메모로서 사용해 주십시오 .
5. 상한 유효범위 , 하한 유효범위
상하한 유효범위는 , 측정한 결과가 어느 범위에 있으면 유효한지를 mm 단위로 입력합니다 . ±극성은 헤드 좌표계와 마찬
가지로 , 아래 방향이 +, 윗 방향이 - 가 됩니다 .