YSD_Users_K.pdf - 第388页
3-14 3 4 .5 6 각스 플라인의청소 • 급유 1 컨베이어폭 을최대 로설정합니다 . 셋 업화 면 의[ 컨베 이 어폭 ] 버튼 을눌러서 「최대 폭 」을선 택해주십 시 오 . e 2 비상 정지버튼 을누 릅니다 . 안전 을위해 ,반드시장비 를비 상정지상태 로해 주 십시오 . 3 6 각스 플라 인부 를청소합니다 . 6 각스플라인전체 의오래된구 …

3-13
3
4.4.2 컨베이어벨트의교환
컨베이어 벨트가 마모되어서 교환이 필요한 경우는, 다음과 같은 순서로 교환해 주십시오 .
e
1
비상정지버튼을누릅니다 .
안전을위해 ,반드시장비를비상정지상태로해
주십시오 .
2
벨트의텐션을느슨하게합니다 .
1. 텐션풀리의위치를마커펜등으로마킹합니
다.
2. 육각렌치 (4,5) 로텐셔너볼트를풀고 ,긴구
멍끝까지 ( 푸는방향 )텐셔너를이동시킵니
다.
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3
벨트를분리합니다 .
육각렌치 (3) 로벨트구동용풀리의볼트를풀고 ,
샤프트를뺍니다 .벨트를풀리로부터분리해서
샤프트와의틈새로빼주십시오 .
5732 4 -N7- 00
4
기판클램프ASSY 를분리합니다 .
육각렌치 (3) 로기판클램프ASSY고정볼트 (4 군
데 ) 를풀고 ,기판클램프ASSY 를분리해주십
시오 .
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5
컨베이어로부터벨트를분리합니다 .
6
반송부를청소합니다 .
컨베이어프레임과기판가이드의틈새를얇은브
러시 ,또는와이퍼로청소해주십시오 .
7
새로운벨트를끼웁니다 .
1. 새로운벨트를풀리에걸어서임시로끼워둡니
다.
2. 샤프트를풀리에접속하고볼트를체결합니다 .
3. 벨트텐셔너를이동시켜서텐션을가하면서마
킹한위치에서볼트를체결합니다 .
8
기판클램프ASSY 를장착합니다 .
기판클램프ASSY 를원위치에장착해주십시오 .
9
벨트의상태를확인합니다 .
[ 장치 ]-「컨베이어」탭의[ 좌 ],[ 우 ] 버튼으로
벨트를회전시켜서동작상태를확인해주십시오 .
컨베이어벨트의회전이불규칙하거나 ,벨트가많
이처져있을경우는 ,텐션풀리의위치를조정해
주십시오 .
벨트텐션 풀기
Step 2
육각렌치 (5mm)
마킹
육각렌치 (4mm)텐셔너 볼트
텐션 풀리
반송벨트의 분리
Step 3
육각렌치(3mm) 샤프트와 풀리의 틈새
기판 클램프의 분리
Step 4
기판클램프 ASSY 고정볼트

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3
4.5 6 각스플라인의청소
•
급유
1
컨베이어폭을최대로설정합니다 .
셋업화면의[ 컨베이어폭 ] 버튼을눌러서「최대
폭」을선택해주십시오 .
e
2
비상정지버튼을누릅니다 .
안전을위해 ,반드시장비를비상정지상태로해
주십시오 .
3
6 각스플라인부를청소합니다 .
6 각스플라인전체의오래된구리스와더러움을
종이와이퍼 ( 클린룸용 )등으로닦아주십시오 .
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4
구리스를도포합니다 .
손에지정구리스 (NSL) 를묻혀서 ,볼스크류의
표면및리드홈부분에균일하게도포해주십시
오.
6각 스플라인의 청소
Step 3
닦기용 와이퍼

3-15
3
4.6 에어 / 미스트필터의점검
•
청소
에어 컴프레서내의 오일 , 물 , 불순물 등이 장비 안으로 유입되지 않도록, 에어/ 미스트 필터가 사용되고
있습니다. 이들 필터의 점검•청소 및 필터용 미디어의 교환방법을 다음과 같이 설명합니다.
c
주의
작업을안전하게실시하기위해서에어커플러를분리해둡니다 .오일 ,물 ,불순물등이튀지않도록주의해주십시오 .
또한 ,커플러를분리할때에는큰배기음이발생하므로 ,주의해주십시오 .
█
준비할것
•
중성세제 ,에어블로우툴 ( 옵션구입품 ),닦기용와이퍼
c
주의
배기블로우에어가얼굴에맞닿을경우가있으므로 ,에어블로우를실행할때에는반드시보호안경과방진마스크를착용해주십
시오 .
4.6.1 필터컵의청소
1
필터컵 ( 이후 ,컵이라고함 )안을체크합니다 .
컵안에오일또는물이들어있는지확인해주십시오 .더러워져있을경우는 ,다음의순서에따라서청
소해주십시오 .
참고
컵 하단의 드레인 콕은 , 오토드레인 타입입니다. 컵 안에 오일이나 물이 차면 자동적으로 배출되므로 , 호스 등을 연결해 놓
을 것을 권장합니다.
2
컵을분리합니다 .
컵의버튼을누르면서좌측으로돌려서밑으로뻬
주십시오 .분리한컵은이중구조로되어있습니
다 .안쪽의투명컵을청소해주십시오 .
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3
컵안의더러움을청소합니다 .
1. 컵을가볍게물세척합니다 .
2. 물을섞은중성세제로다시안을씻어냅니다 .
3. 에어블로우한후 ,와이퍼등으로수분을닦
습니다 .
4
컵을장착합니다 .
1. 컵의버튼을분리했을때의위치에맞춰서 ,컵
을위로밀어올립니다 .
2. 찰칵하고소리가날때까지컵을우측으로돌
려주십시오 .
5
에어커플러를장착합니다 .
에어커플러를접속해서 ,에어가새지않는지확
인해주십시오 .
필터 컵의 분리
Step 2
필터 컵
에어 커플러 접속부
버튼
에어필터(내부)
오일 미스트
필터(내부)