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3-7 3 █ 대책방법 대책 방법 [1] 노즐내의 공기빼기 토출시킨 본드가 끊기지 않고 나 올때까지 실시한다 . ( 도중 에 끊기는 것 은 기 포가 원인 ) [2] 노즐의 청 소 • 아세톤이나 용제로 씻은 노즐 을 클리닝 핀으 로 경로에 고 착되어 있는 본드를 제거한 다 . • 좌우 노즐의 홀에는 기구 상의 차 이가 있으므 로 , 노즐 경 로를 상 처내지 않도록 주의해서 청소한다 . ( 상세…

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2. 도불량의 대응
산중다음과 도포불랑이 발생우는 , 대책항목 표의 열의 순번따라서 작실시주십
시오 .
대표적인 도포불량 현상
소납 표준
견본 도포량
과납
A : 미납한쪽만 도포 C : 본드 늘어짐
D : 브릿지B : 첫점이 소납
E : 도포 편차
F : 전체가 소납과납
G : 정지후의 도포 불안정
67300-N7-00
대책항목
대책 / 량내용
A B C D E F G
( )
( )
( )
(
)
/
[1] 노즐내의 공기빼 2
1 1 2
[2] 노즐의 청소 3 2 2 3
[3] 백업핀을 늘린다 4
3 2 2 3 1
[4]
디스펜스 테스실행
, 도포압을 확인하
조정한다
1 1 1 1 2
[5]
특정부위의 포량을
늘린다
2 1 2
[6]
직전에 프리 디스펜싱
추가한다
3 2 6 3 3
[7] 포온도 확인
1 3 2 4 4
[8]
기준면적과 프리 디스
펜스 값을
4 3 5
[9]
프리 디스펜싱 작을
실행한
1 1
[10]
잔량확
량검지센서 재조정
5 5 4
[11] 디스펜스 시퀀스 변경
3 5 4 4
[12] 예비보테이블
4
[13] 최소 / 최대 보정 설정 6
[14]
노즐 데이터 / 수로
전체조정 실행
5 7 5
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대책방법
대책 방법
[1] 노즐내의 공기빼기 토출시킨 본드가 끊기지 않고 올때까지 실시한다 . ( 도중끊기는 것은 기포가 원인 )
[2] 노즐의 청
아세톤이나 용제로 씻은 노즐클리닝 핀으경로에 착되어 있는 본드를 제거한 .
좌우 노즐의 홀에는 기구상의 이가 있으므 , 노즐 경로를 상처내지 않도록 주의해서 청소한다 .
( 상세한 내용후편의 메인터넌스 매뉴얼 2 1.2 노즐의 청소 참조 )
[3] 백업핀을 늘린다 접촉 노즐용할 경우 , 능한한 백업핀을 많이 세워서 기판의 휘어짐을 보강한다 .
[4]
디스펜스 테스실행후 ,
압을 인하고 조정한
± 20% 기준으로 력을 수동조정해서 , 두차완화시키 , 보정값의 정확성을 향상시킨다 .
디스펜스 테스트후에는 , 반드보정리셋한다 .
( 상세한 내용제 4 2. 디스펜스 테트 기 참조 )
[5] 정부위의 도포량늘린다
[ 기판 ]- 디스펜스 화면에서 해당 부위의 액량을 변경한다 .
해당 부품의 전체 액량변경할 경우는 , 품정보를 수정하고 디스펜스를 다시 전개한다 .
[6]
직전에 프리 디스펜싱을
추가한다
직접 동입력으로 프리 디스펜싱 를 추가한다 .
( 상세한 내용 7 장 4.1 포의 추가 / 디스펜스전개하않을 경우 참조 )
[7] 포온도 확 조사적정 온도를 문의한다 .
[8]
기준면적과 프리 디스펜스
값을
기준 면적시의 액량과 프리 디스펜스의 액량이 같인한다 . 실제 포면적과 기준면적의 이를 보정
타입 ( ) 에서 구하므 , 값이 서로 다르면 예측한 면적이 되지 않는다 .
( 상세한 내용제 4 3.1.8 설정의 정합성을 확인」 참조 )
[9]
프리 디스펜싱 작을 실행
한다
프리 디스펜싱 작은 기판마다 실행해서 인한다 .
( 상세한 내용 3.1 프리 디스펜스 실행간격 지정기능」 참조 )
프리 디스펜싱 작은 다음과 같이 설정한 .
[ 기판 ]- 기판」 - T: 프리도팅 시간」 설정한다 .
[ 비설정 ]- 스테이션」 에서 해당 헤드 시간조건 A 에 240 을 입력한다 .
[ 비설정 ]- 스테이션」 - 프리도팅 개수 10 개로 설정한다 .
※표준노즐만 용할 경우 , 추가 설정한다 .
[ 비설정 ]- 스테이션」 - 매트릭스 피치를 6.000 4.000
[ 비설정 ]- 스테이션」 - 매트릭스 수를 6 →10
( 상세한 내용 , 4 5.1.1 프리 디스펜싱 기능의 설정」 참조 )
[10]
잔량확
량검지센서 재조정
량검지 센서의 반응범위에는 편차가 있으므로 , 반드각 실린지를 회전시켜서 센서의 반응을 확인한
.( 량있 : 제일 낮은 위치의 / 잔량없음 : 제일 높은 위치의 )
( 상세한 내용 2
잔량검지 센서의 조정방법」 참조 )
[11] 디스펜스 시퀀스 변경 4 6.2 디스펜스 시퀀스의 편집」 참조해서 디스펜스 시퀀스의 내용변경한다 .
[12] 예비보정 테이블 사
노즐 전 :[ 장비설정 ]- 예비보정 테이블 에서 노즐마다 설정한다 .
첫점만 :[ 비설정 ]- 노즐 데이터」 - 예비액량 값 ( 타이머 ) 을 입력한다 .
[13] 최소 / 최대 보정 설정
[ 비설정 ]- 스테이션」 - 위치좌 보정량 미트 체크 설정한다 .
[ 비설정 ]- 「디스펜스 정」 최소보정 , 최대보정」 값을 입력한다 .
( 상세한 내용제 4 5.3 디스펜스 보정 리미트 체크 참조 )
[14]
노즐 데이터 / 수로
전체조정 실행
[ 비설정 ]- 노즐 데이터 - 계수 값을 변경한다 .
디폴트 :1.0 →수치 변경후의 포량 :0.9( ) 1 1.1( )
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외의 불량
불량의 원인대책
갑자기 도포량이 늘어날 경
원인 히터설정온도가 높 .
대책 적정온도로 설정하고 , 노즐선단에서 용액을 동으로 배출시켜서 온도가 내려갈 때까지 기다려 십시오 .
원인 토출 에어압력이 적정치보다 높다 .
대책 에어압력을 적정치되돌려 주십시 .
원인 액량데이터에 큰 수치가 잘못 입력되있다 .
대책 디스펜스 데이터의 액량치를 적정치로 되돌려 주십시오 .
원인 노즐홀의 직경이 큰 노즐이 장착되어 있다 .
대책 적정한 노즐세팅하여 주십시 .
원인 실린내의 용액 온도실온보다 낮 .
대책 실린지 내부가 실온이 때까지 충분한 시간두십시오 .
원인 디스펜스체크만 실행하고 보정을 용하지 않고있다 .
대책
셋업화면의 노즐정보 의 각 헤드보정타입없음」 로 되어 있는지 확인해 주십시오 .
보정타입설정되어 있으포량이 갑자기 늘경우가 있습니다 .
갑자기 도포량이 줄거나 , 또는 안나
원인 실린내의 용액이 없다 .
대책 실린지의 교환과 용액소진 경고용 수치 , 용액소진 센서의 설정 ( 스테이션의 최대액량) 재검토 주십시 .
원인 히터설정온도가 낮 .
대책 적정온도로 설정하고 , 「장치」 - 헤드 탭의 온도 시가 설정치로 때까지 기다려 주십시오 .
원인 실린지의 뚜껑을 닫지 않고 치해서 , 실린선단부 , 실린지내 피스톤 주위의 용액이 건조해서 굳어졌다 .
대책 실린지를 교환해 십시오 .
원인 기판의 두께가 분적으로 , 또는 패턴의 동박 두께가 이전보다 두꺼워졌다 .
대책 기판확인해 십시오 . 액량 데이터를 변경해 주십시 .
원인 노즐 세팅시에 이물혼입되어서 막혀있다 .
대책 노즐세척하고 에어블로우 해 십시오 .
원인
실린지노즐헤드에 장착한며칠동안 방치하여 , 노즐선단 또는 실린지 내에서 용액이 굳어있 .
(UV 경화형이 아더라도 방치하면 굳어진다 .)
대책
노즐내의 경화제거와 세척을 주십시오 . 불가능할 경우노즐을 교환주십시 .
저장상태가 양호한 실린지 (접착제) 로 교환주십시 .
원인 노즐이 제대로 장착되어 있지 않다 .
대책 노즐과 실린지를 착하고 , 노즐과 인트 노즐을 세척한 후 , 실하게 장착해 십시오 .
원인 디스펜스 체크만 실행하고 보정을 용하지 않고있다 .
대책
셋업 화면의 노즐정보 의 각 헤드 보정타입」 「없음」 으로 되어 있는지 확인해 주십시 .
보정타입설정되어 있으포량이 갑자기 줄어 들 경우가 있습니다 .
용액이 도되지 않을 경우
원인 실린내의 용액중에 작은 기포가 혼입되어 있다 .
대책 실린지를 교환해 십시오 . 탈포를 충분히 실시해 십시오 .
원인 노즐 또는 실린지 내에 고체화입자가 분포되어 있다 .
대책 린지를 교환해 십시 .