YSD_Users_K.pdf - 第58页
1-17 1 8 .1 PREVIOUS INTERF A CE 아 래 의 1 ~ 3 의 조 건 이 갖 추 어 진 경 우 에 , 기 판 반 입 을 시 작 합 니 다 . 1 . 본 체 가 기판반입 가 능한 상 태 （BUSY O UT :ON ） 2. 상류기 로부터 기 판반입 신 호 를 입 력 한 상태 （B A IN [N0100 321 ] :ON ） 3. 상류기 로부터 자동운 전 신 호 를 입 력 한 …
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8. 기기간 입출력 신호
디스펜서는 , 후공정기로부터 신호를 받으면 기판을 반출하고 , 다른 기판을 요구하기 위해 전공정기에 신호를
보냅니다 . NEXT INTERFACE 커넥터는 후공정기와 접속하고 , PREVIOUS INTERFACE 커넥터는 전공정기와
접속하며 , 양쪽 커넥터 모두 본체 후면의 좌우 패널 내부에 배치되어 있습니다 .
NEXT INTERFACE
PREVIOUS INTERFACE
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게이트 신호 커넥터
우→좌 흐름의 예
67114 - N 7-10
c
주의
•
전공정기는 구 VIOS 기(YV100 II 등 ) 의 경우는 별도로 전용 케이블이 필요합니다. 자세한 내용은 사양서를 참조해 주십시오 .
•
기판의 흐름 방향이 좌→우의 경우는 , NEXT 와 PREVIOUS 의 커넥터 위치가 반대로 됩니다 .
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1
8.1
PREVIOUS INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반입을 시작합니다.
1. 본체가 기판반입 가능한 상태 （BUSY OUT:ON）
2. 상류기로부터 기판반입 신호를 입력한 상태（BA IN [N0100321]:ON）
3. 상류기로부터 자동운전 신호를 입력한 상태（UR IN [N0100322]:ON）
n
요점
ㆍ 기판 반입중에 상류기의 자동운전중 신호（UR IN）가 OFF 한 경우, 기판반입을 일시정지합니다.
ㆍ 반입중인 기판이 본체의 입구센서를 통과했다고 판단되었을 때는, BUSY OUT 을 OFF 합니다.
ㆍ BUSY OUT 과 BA IN 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반입을 종료합니다.
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BUSY OUT
(T01000E4)
+24V
+24V
LR OUT
(T01000E7)
UR IN
(N0100322)
BA IN
(N01000321)
반입중 입력
반출요구 출력
자동운전중 출력
자동운전중 입력
LE OUT
(T0100031)
장비간 기판 대기중 입력
I/O BOARD
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PREVIOUS INTERFACE 회로
본체측 PREVIOUS INTERFACE상류기
PREVIOUS INTERFACE
커넥터
AMP 206043-1
(14핀•리셉터클)
67115-N7- 00
■
기판반송 신호사양 (
PREVIOUS INTERFACE)
Pin No. 신호명 어드레스 입출력 사양 신호사양
1 BUSY OUT T01000E4 릴레이 접점출력
기판반입중 신호출력
2 BUSY OUT T01000E4 릴레이 접점출력
3 +24V 입력공통 (+24V)
기판반출요구 신호입력
4 BA IN N0100321 전압 입력
5 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지 )
6~8 비었음
9 +24V 입력공통 (+24V)
자동운전중 신호입력
10 UR IN N0100322 전압 입력
11 LR OUT T01000E7 릴레이 접점출력
자동운전중 신호출력
12 LR OUT T01000E7 릴레이 접점출력
13 LE OUT T0100031 무전압 출력
장비간 기판대기중 신호출력
14 LE OUT T0100031 무전압 출력
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8.2
NEXT INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반출을 시작합니다.
1. 본체가 기판반출 가능한 상태（BA OUT:ON）
2. 하류기로부터 기판반입 신호를 입력한 상태（BUSY IN [N0100320]:ON）
3. 하류기로부터 자동운전 신호를 입력한 상태（LR IN [N0100323]:ON）
n
요점
ㆍ 기판반출중에 하류기의 자동운전중 신호（LR IN）가 OFF 한 경우는 기판의 반출을 일시정지합니다.
ㆍ 반출중인 기판이 본체의 출구센서를 통과했다고 판단될 경우, BA OUT 을 OFF 합니다.
ㆍ BUSY IN 과 BA OUT 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반출을 종료합니다 .
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BUSY IN
(N0100320)
+24V
+24V
UR OUT(T01000E6)
LR IN
(N0100323)
+24V
LE IN
(N0100324)
BA OUT
(T01000E5)
I/O BOARD
GND GND
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반입중 출력
반출요구 입력
자동운전중 입력
자동운전중 출력
장비간 기판 대기중 출력
NEXT INTERFACE 회로
NEXT INTERFACE
커넥터
본체측 NEXT INTERFACE
하류기
AMP 206043-1
(14핀•리셉터클)
67116 -N 7- 0 0
■
기판반송 신호사양 (
NEXT INTERFACE)
Pin No. 신호명 어드레스 입출력 사양 신호사양
1 +24V 입력공통 (+24V)
기판반입중 신호입력
2 BUSY IN N0100320 전압 입력
3 BA OUT T01000E5 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력
기판반출요구 신호출력
4 BA OUT T01000E5 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력
5 비었음
6 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지 )
7 GND
8 비었음
9 UR OUT T01000E6 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력
자동운전중 신호출력
10 UR OUT T01000E6 릴레이 접점 ( 무전압 ) 출력
11 +24V 입력공통 (+24V)
자동운전중 신호입력
12 LR IN N0100323 전압 입력
13 +24V 입력공통 (+24V)
장비간 기판대기 신호입력
14 LE IN N0100324 전압 입력