RX-7R_维修手册.pdf - 第106页
第 2 章 操作顺序书 2- 2. 制造设置菜 单 5 根据基板的尺寸触摸 ／ 以调整通道的宽度，触摸［ OK ］。 6 把基板安放到通道的上游侧，触摸［开始运入］。 基板被 运入 。 7 基板通过时，要确认画面中［基板检出传感器］的显示变为 。 8 按各基板尺寸进行操作顺序 5 ～ 7 ，如没有问题，触摸［调整 OK ］。 于是显示后通道 基板检出 传感器 的调整画面。 注意 • 如果不出现 的显示，请进行以 下调 整。 － 传感器灵…
第
2
章
操作顺序书
2-2. 制造设置菜单
2-2-3.
机械调整
这里，对象是通过画面操作进行机械调整的项目。
Stage1
：基板检出传感器
1
从画面左侧的子菜单中触摸［机械调整］。
显示［进度列表］画面。
2
触摸［开始机械调整］。
显示如下画面。首先对前通道的基板检出传感器进行调整。
3
触摸［装置内作业开始］。
进行左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
4
选择要使用的基板尺寸。
显示［传送通道微调操作］画面。
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第
2
章
操作顺序书
2-2. 制造设置菜单
5
根据基板的尺寸触摸 ／ 以调整通道的宽度，触摸［
OK
］。
6
把基板安放到通道的上游侧，触摸［开始运入］。
基板被运入。
7
基板通过时，要确认画面中［基板检出传感器］的显示变为 。
8
按各基板尺寸进行操作顺序
5
～
7
，如没有问题，触摸［调整
OK
］。
于是显示后通道基板检出传感器的调整画面。
注意
•
如果不出现 的显示，请进行以下调整。
－ 传感器灵敏度的调整
－ 传感器光轴的调整
9
后侧通道也与前侧通道相同，以各基板尺寸进行调整。
不方便进行作业时，可以触摸［基准位置］的 / 使基准轨道移动。
后通道的调整完成后，将显示［全部调整完成。］。
10
触摸［调整
OK
］。
自动显示［进度列表］画面，下一个［伺服调整］菜单可开始操作。
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第
2
章
操作顺序书
2-2. 制造设置菜单
机械调整的确认项目
No.
控制名称
部位
Bit
装置
判断
方式
向下一
画面转移
1
基板检出传感器（前
R
）
[CAN] (IN)
传送
00,01 BIT01
－
手动
手动
2
基板检出传感器（前
C
）
00,01 BIT00
3
基板检出传感器（前
L
）
00,01 BIT08
4
基板检出传感器（后
R
）
[CAN] (IN)
传送
00,01 BIT03
－
手动
手动
5
基板检出传感器（后
C
）
00,01 BIT02
6
基板检出传感器（后
L
）
00,01 BIT09
－
Stage1
结束确认
自动
手动
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