RX-7R_维修手册.pdf - 第194页

第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 吸嘴交换测试 确认吸嘴交换 完成 后,显示如 下画面。 为了 测试 吸嘴交换 ,把吸 嘴安装到吸嘴 盒。 1 触摸[装置内作业开始]。 进行左右一次性 更换台车上升 、前面护罩的 锁定后,装 在贴装头上的全 部吸嘴收存至 吸嘴盒, 所有的基板传送 轨道向身前靠 近。然后进行 左右一次性 更换台车下降、 前面护罩解除 锁定。 2 打开前面护罩,用手拆下装置内的左右吸嘴盒。 3 在 2 号吸嘴盒之槽…

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操作顺序书
2-3. 校准
6
触摸[完毕]。
显示确认 ATC 交换吸嘴的画面。
7
触摸[执行吸嘴交换确认]。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后,进行全部吸嘴 ID 识别,将 32 个吸嘴依
次从交换器安装贴装 吸嘴号上。然后进行左右一次性更换台车下降、前面护罩解除
锁定。
吸嘴交换确认正常完成后,显示[吸嘴交换确认正常完成。]的信息,[完成]按钮生效。
8
触摸[完毕]。
显示左侧装置调整 ATC 的[个别显]画。请根据画面指示与装置相同地执行校准。
全部工序完成后,显示[调整 ATC 完成。]。
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操作顺序书
2-3. 校准
吸嘴交换测试
确认吸嘴交换完成后,显示如下画面。 为了测试吸嘴交换,把吸嘴安装到吸嘴盒。
1
触摸[装置内作业开始]。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后,装在贴装头上的全部吸嘴收存至吸嘴盒,
所有的基板传送轨道向身前靠近。然后进行左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
2
打开前面护罩,用手拆下装置内的左右吸嘴盒。
3
2
号吸嘴盒之槽号
#1
#8
#11
#18
的位置上安装吸嘴(合计
16
个)。
4
将吸嘴盒装到原来的位置。
5
关闭前面护罩,触摸[装置内作业完成]。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
6
触摸[完毕]。
显示 ATC 吸嘴交换测试的画面。
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操作顺序书
2-3. 校准
7
触摸[执行吸嘴交换测试]。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后,执行全部吸嘴 ID 识别,将 16 个吸嘴在
左右的吸嘴盒上进行交换,复原。然后进行左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
吸嘴交换测试正常完成后,显示[吸嘴交换测试正常完成。]的信息,[完成]按钮生效。
8
触摸[完毕]。
显示为了进行 ATC 测试吸嘴安装画面。
9
触摸[调整
OK
]。
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