RX-7R_维修手册.pdf - 第191页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 2 以目视确认 OCC 图像正确地出现在 AT C 圆孔位置的中央，。 触摸 / 可调整 摄像机 照明 的亮度。 触摸 可使槽号提升 1 位。槽号到 20 时，吸嘴盒 编号 变为 2 。 3 用 OCC 图像确认１、 2 号吸嘴盒之全部 #1 ～ #2 0 槽的圆孔位置。 4 触摸［确认 OK ］。 117
第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
2-3-5. ATC
调整
1
从画面左侧的子菜单中触摸［
ATC
调整］。
显示［进度列表］画面。
2
触摸［个别显示］。
吸嘴的交換位置确认
Stage5 的处理完成后，显示如下画面。首先进行 ATC 的位置确认。
1
触摸［确认开始］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，［ATC 号码］和［插槽号码］内显示“1”。
读取 1 号和 2 号吸嘴盒的标记，使 OCC 中心向 1 号吸嘴盒 1 号槽的圆孔位置移动。然后进行左
右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。OCC 图像在画面右下方显示，OCC 照明亮灯。
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第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
2
以目视确认
OCC
图像正确地出现在
ATC
圆孔位置的中央，。
触摸 / 可调整摄像机照明的亮度。
触摸 可使槽号提升 1 位。槽号到 20 时，吸嘴盒编号变为 2。
3
用
OCC
图像确认１、
2
号吸嘴盒之全部
#1
～
#20
槽的圆孔位置。
4
触摸［确认
OK
］。
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第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
吸嘴的交換确认
吸嘴的状态确认完成后，显示如下画面。为了确认吸嘴的更换，把吸嘴安装到吸嘴盒内。
1
触摸［装置内作业开始］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，装在贴装头上的全部吸嘴收存至吸嘴盒，
所有的基板传送轨道向身前靠近。然后进行左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
2
打开前面护罩，用手拆下装置内的左右吸嘴盒。
3
在装置内左右吸嘴盒之槽号
#1
～
#8
和
#11
～
#18
的位置上安装吸嘴（合计
32
个）。
请将吸嘴的半缺部对准销子。
4
把吸嘴盒装在原来的位置上。
5
关闭前面护罩，触摸［装置内作业完成］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
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