RX-7R_维修手册.pdf - 第400页

第 3 章布置图 3- 6. 气动控制单元 3- 6. 气动控制单元 AIR C OMB INA I ON M ANIF OLD (TROLLY LIFT ) VACUUM PUMP M ANIF OLD (AI R SUPPLY) M ANIF OLD (VACUUM) 8

第

3

章

布置图

3-5. 伺服单元

3-5.

伺服单元



X

、Y 伺服单元



多轴伺服单元

(SV5)

7

第

3

章

布置图

3-6. 气动控制单元

3-6.

气动控制单元

AIR COMBINAION

MANIFOLD

(TROLLY LIFT)

VACUUM PUMP

MANIFOLD

(AIR SUPPLY)

MANIFOLD

(VACUUM)

8

第

3

章

布置图

3-7. 贴装头单元

3-7.

贴装头单元



MAIN SHAFT ASSY

9