RX-7R_维修手册.pdf - 第135页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 5 触摸［校准执行］。 用传感器和 摄像机 对 治具 板的孔进行 测定，测定转 写。校准正常 完成后， 贴装头 移动， 照射激 光到基板标记的 中心。 6 以目视确认激光已射到基板标记的中心。 7 触摸［完毕］。 停止激光照射。 保存 校准结 果，显示 基板 翘曲 检测传感器转写 调整 治具板的拆 卸 画面。 8 触摸［开始拆卸］。 进行左右一次性 更换台车 上升、 前面护罩的锁定后 ， XY …
第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
2
打开前面护罩，在右侧装置的前侧通道上，把基板翘曲检测传感器转写调整治具板安
放到距轨道端
245
㎜的位置。
请把基板标记和治具标记的位置对齐。
3
关闭前面护罩，触摸［安装完成］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
4
触摸［完毕］。
显示右侧装置基板翘曲检测传感器转写调整的画面。
第 2 轨道
第 1 轨道
治具插入位置
治具标记
基板标记
基板翘曲检测传感器
转写调整治具板
装置前面
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第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
5
触摸［校准执行］。
用传感器和摄像机对治具板的孔进行测定，测定转写。校准正常完成后，贴装头移动，照射激
光到基板标记的中心。
6
以目视确认激光已射到基板标记的中心。
7
触摸［完毕］。
停止激光照射。保存校准结果，显示基板翘曲检测传感器转写调整治具板的拆卸画面。
8
触摸［开始拆卸］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，XY 轴向退避位置移动。然后进行基板夹钳
下降、左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
9
拆下基板翘曲检测传感器转写调整治具板。
10
触摸［拆卸完成］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
11
触摸［完毕］。
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第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
基板面
基板翘曲检测传感器转写调整治具板的拆卸完成后，显示如下画面。 把右侧装置传送轨道的基板压条位
置设定为“手按位置”。
1
触摸［装置内作业开始］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，XY 轴向待机位置移动，进行左右一次性更
换台车下降、前面护罩解除锁定。
2
打开前面护罩，把右侧装置前后通道传送轨道的基板压条位置移动到
“
手按位置
”
( )
。
3
关闭前面护罩，触摸［装置内作业完成］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
4
触摸［完毕］。
显示右侧装置前后通道的基板面高度测定画面。
装置前面
第 3 轨道
第 1 轨道
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