RX-7R_维修手册.pdf - 第127页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 XY 自动校准 OCC 照明的校准完 成后,显示 如下画 面。 进行右 侧装置 的 XY 自动校准。 1 触摸[校准执行]。 进行左右一次性 更换台车 上升、 前面护罩的锁定后 ,连续进行 OCC 像素 率的确定、 XY 轴原点 确定、 XY 粗定位 、 XY 校准、基准位置 的测 定。 所有的 XY 自动校准正常 完成 后,显示 校准结 果 画面。 对未测定点重新 进行了测定时 ,以图表显示 …

第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
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触摸[拆卸完成]。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
18
触摸[完毕]。
显示右侧装置的 XY 自动校准画面。
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第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
XY
自动校准
OCC 照明的校准完成后,显示如下画面。进行右侧装置的 XY 自动校准。
1
触摸[校准执行]。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后,连续进行 OCC 像素率的确定、XY 轴原点
确定、XY 粗定位、XY 校准、基准位置的测定。
所有的 XY 自动校准正常完成后,显示校准结果画面。
对未测定点重新进行了测定时,以图表显示测定结果的离差和偏移值。
2
确认校准结果无问题,触摸[关闭]。
3
触摸[确认
OK
]。
校准的执行结果被保存,显示玻璃治具板的拆卸画面。
4
触摸[装置内作业开始]。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后,进行 XY 轴退避、左右一次性更换台车下降、
前面护罩解除锁定。
5
打开前面护罩,拆下传送装置上的玻璃治具板和治具板架。
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第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
6
安装右侧装置第
2
轨道
~
第
4
轨道的基板压条。
请朝箭头方向顶住固定。
注意
•
附属在第 3 轨道上的球塞会脱出,所以请注意不要丢失。
用 6 处螺丝将基板压条固定。
螺丝紧固扭矩
M4 CP 螺栓:2 N·m ±0.1 N·m
一字槽头螺丝:1 N·m ±0.05 N·m
基板压条
球塞
第 4 轨道
第 3 轨道
第 2 轨道
装置前面
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