RX-7R_维修手册.pdf - 第136页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 基板面 基板翘曲检测传 感器转写调整 治具板的拆卸 完成后 ， 显示 如下 画面。 把右 侧装置传 送轨道 的基 板压条位 置设定为 “ 手按 位置 ” 。 1 触摸［装置内作业开始］。 进行左右一次性 更换台车上升 、前面护罩的 锁定后， XY 轴向待机位置移 动，进行左右 一次性更 换台车下降、前 面护罩解除锁 定。 2 打开前面护罩，把右侧装置前后通道传送轨道的基板压条位置移动到 “ 手按…
第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
5
触摸［校准执行］。
用传感器和摄像机对治具板的孔进行测定，测定转写。校准正常完成后，贴装头移动，照射激
光到基板标记的中心。
6
以目视确认激光已射到基板标记的中心。
7
触摸［完毕］。
停止激光照射。保存校准结果，显示基板翘曲检测传感器转写调整治具板的拆卸画面。
8
触摸［开始拆卸］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，XY 轴向退避位置移动。然后进行基板夹钳
下降、左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
9
拆下基板翘曲检测传感器转写调整治具板。
10
触摸［拆卸完成］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
11
触摸［完毕］。
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第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
基板面
基板翘曲检测传感器转写调整治具板的拆卸完成后，显示如下画面。 把右侧装置传送轨道的基板压条位
置设定为“手按位置”。
1
触摸［装置内作业开始］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，XY 轴向待机位置移动，进行左右一次性更
换台车下降、前面护罩解除锁定。
2
打开前面护罩，把右侧装置前后通道传送轨道的基板压条位置移动到
“
手按位置
”
( )
。
3
关闭前面护罩，触摸［装置内作业完成］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
4
触摸［完毕］。
显示右侧装置前后通道的基板面高度测定画面。
装置前面
第 3 轨道
第 1 轨道
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第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
5
触摸［校准执行］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，以传感器测定基板面高度，显示基准高度
的测定结果。
校准正常完成后，显示［校准处理正常完成。］的信息。
6
确认测定结果没有问题。
7
触摸［完毕］。
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