RX-7R_维修手册.pdf - 第132页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 3 用手移动 XY 轴的 Y 轴，使与装置内前端的机械限动器接触，接着将 Y 轴向后移动， 与后端的机械限动器接触。 4 触摸［校准完毕］。 测定 XY 轴之最大值和最小 值的 1 mm 前 方的 量（ 软件极限 值 ）及当时 的行程量。 列表显示测定结 果，［完毕］ 按钮 生效 。 5 触摸［完毕］。 显示左 侧装置 XY 校准的［个别显 示］ 画面。 请依照 画面 的指示，与右侧装置 相同 …
第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
XY
轴的软件极限
1
触摸［开始校准］。
进行左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
注意
•
进行这一操作期间，不能向其他画面移动。
2
打开前面护罩，用手移动
XY
轴的
X
轴，使与装置内左端的机械限动器接触，接着将
X
轴向右移动，与右端的机械限动器接触。
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第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
3
用手移动
XY
轴的
Y
轴，使与装置内前端的机械限动器接触，接着将
Y
轴向后移动，
与后端的机械限动器接触。
4
触摸［校准完毕］。
测定 XY 轴之最大值和最小值的 1 mm 前方的量（软件极限值）及当时的行程量。
列表显示测定结果，［完毕］按钮生效。
5
触摸［完毕］。
显示左侧装置 XY 校准的［个别显示］画面。请依照画面的指示，与右侧装置相同地实施校准。
全部工序完成后，显示为［已完成 XY 校准。］。
6
触摸［调整
OK
］。
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第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
2-3-2.
高度校准
HMS
转写
Stage1 的处理完成后，显示如下画面。首先把基板翘曲检测传感器转写调整治具板安装到右侧装置上。
1
触摸［开始安装］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，XY 轴退避，根据治具板的尺寸对前侧通道
的传送宽度自动进行宽度调整。然后，进行左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
通道宽度需要进行微调时，请触摸 / 进行调整。
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