RX-7R_维修手册.pdf - 第134页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 2 打开前面护罩，在右侧装置的前侧通道上，把基板翘曲检测传感器转写调整治具板安 放到距轨道端 245 ㎜的位置。 请把基板标记和 治具 标记 的位置对齐。 3 关闭前面护罩，触摸［安装完成］。 进行左右一次性 更换台车上升 、前面护罩的 锁定。 Tips • 不进行这一操作 顺序也可进到 下一工序。 4 触摸［完毕］。 显示右 侧装置 基板 翘曲检测传感器转 写调整的 画面。 第 2 轨道 第 …
第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
2-3-2.
高度校准
HMS
转写
Stage1 的处理完成后，显示如下画面。首先把基板翘曲检测传感器转写调整治具板安装到右侧装置上。
1
触摸［开始安装］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，XY 轴退避，根据治具板的尺寸对前侧通道
的传送宽度自动进行宽度调整。然后，进行左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
通道宽度需要进行微调时，请触摸 / 进行调整。
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第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
2
打开前面护罩，在右侧装置的前侧通道上，把基板翘曲检测传感器转写调整治具板安
放到距轨道端
245
㎜的位置。
请把基板标记和治具标记的位置对齐。
3
关闭前面护罩，触摸［安装完成］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
4
触摸［完毕］。
显示右侧装置基板翘曲检测传感器转写调整的画面。
第 2 轨道
第 1 轨道
治具插入位置
治具标记
基板标记
基板翘曲检测传感器
转写调整治具板
装置前面
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2
章
操作顺序书
2-3. 校准
5
触摸［校准执行］。
用传感器和摄像机对治具板的孔进行测定，测定转写。校准正常完成后，贴装头移动，照射激
光到基板标记的中心。
6
以目视确认激光已射到基板标记的中心。
7
触摸［完毕］。
停止激光照射。保存校准结果，显示基板翘曲检测传感器转写调整治具板的拆卸画面。
8
触摸［开始拆卸］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，XY 轴向退避位置移动。然后进行基板夹钳
下降、左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
9
拆下基板翘曲检测传感器转写调整治具板。
10
触摸［拆卸完成］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
11
触摸［完毕］。
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