RX-7R_维修手册.pdf - 第133页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 2-3- 2 . 高度校准 H MS 转写 Stage1 的 处理完成 后， 显示 如下 画面。首 先把 基板 翘曲 检测传感器 转写调整 治具 板安装到 右侧装置上 。 1 触摸［开始安装］。 进行左右一次性 更换台车 上升、 前面护罩的锁定后 ， XY 轴退避， 根据 治具 板的 尺寸 对前 侧通道 的传送宽度自动 进行 宽度调 整。然后 ，进行左右一 次性更换台车 下降、前面 护罩 解除锁…
第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
3
用手移动
XY
轴的
Y
轴，使与装置内前端的机械限动器接触，接着将
Y
轴向后移动，
与后端的机械限动器接触。
4
触摸［校准完毕］。
测定 XY 轴之最大值和最小值的 1 mm 前方的量（软件极限值）及当时的行程量。
列表显示测定结果，［完毕］按钮生效。
5
触摸［完毕］。
显示左侧装置 XY 校准的［个别显示］画面。请依照画面的指示，与右侧装置相同地实施校准。
全部工序完成后，显示为［已完成 XY 校准。］。
6
触摸［调整
OK
］。
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第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
2-3-2.
高度校准
HMS
转写
Stage1 的处理完成后，显示如下画面。首先把基板翘曲检测传感器转写调整治具板安装到右侧装置上。
1
触摸［开始安装］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，XY 轴退避，根据治具板的尺寸对前侧通道
的传送宽度自动进行宽度调整。然后，进行左右一次性更换台车下降、前面护罩解除锁定。
通道宽度需要进行微调时，请触摸 / 进行调整。
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第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
2
打开前面护罩，在右侧装置的前侧通道上，把基板翘曲检测传感器转写调整治具板安
放到距轨道端
245
㎜的位置。
请把基板标记和治具标记的位置对齐。
3
关闭前面护罩，触摸［安装完成］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
4
触摸［完毕］。
显示右侧装置基板翘曲检测传感器转写调整的画面。
第 2 轨道
第 1 轨道
治具插入位置
治具标记
基板标记
基板翘曲检测传感器
转写调整治具板
装置前面
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