RX-7R_维修手册.pdf - 第207页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 10 按［确认 OK ］。 11 请按照相同的步骤分别执行 “ Z=2 , 、 Z=4 ” 的转写补正及确认。 133
第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
3
贴装完成后，按［
X
位置补正确认］。
4
如果
“
偏差
3σ”
的值在规格以内，转写补正操作即结束。
5
规格内 ： 按［关闭］进入到下一步骤。
6
规格外 ： 按［重新执行补正］，执行同样步骤。
7
按［拆下基板］。
8
按［恢复］。
9
按［确认完成］。
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第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
10
按［确认
OK
］。
11
请按照相同的步骤分别执行
“Z=2,
、
Z=4”
的转写补正及确认。
133
第
2
章
操作顺序书
2-4. 维护
2-4.
维护
2-4-1.
机械阀拆卸和维护
1
为了防止垃圾、灰尘等从阀吸入，拆下本机后侧下部的护罩，将真空泵的断路器
(CP3)
置于
OFF
。
2
松开
2
个
M2
的塑料（＋）螺丝
(a)
，拆下机械阀。
请按相同方法拆下全部 16 处的机械阀。
注意
•
拆下机械阀时，附带的 O 形环（2 个）和过滤器可能会脱开，故请注意。
•
如果机械阀的过滤器已脏污，吸取率会降低，故请更换。
机械阀背侧
O 形环和过滤器
134