RX-7R_维修手册.pdf - 第139页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 治具芯片放置台 基板面的高度测 定完成后， 显示 如下画面。 从转写校准 的治具 放置 台上拆下 治具 芯片。 1 触摸［开始拆卸］。 进行左右一次性 更换台车上升 、前面护罩的 锁定后， XY 轴向待机位置移 动，进行左右 一次性更 换台车下降、前 面护罩解除锁 定。 2 打开前面护罩，从右侧装置转写校准治具放置台上拆下治具芯片。 3 关闭前面护罩，触摸［拆卸完成］。 进行左右一次性 更换台车…
第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
高度开关
1
触摸［校准执行］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩锁定，传感器对吸嘴高度检测开关的高度进行测定。
会显示基板面高度与吸嘴高度检测开关的高度差，确认在±0.05 以内。如不符合规格入，请松
开螺丝调整差分，再次进行校准。
2
触摸［完毕］。
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第
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章
操作顺序书
2-3. 校准
治具芯片放置台
基板面的高度测定完成后，显示如下画面。从转写校准的治具放置台上拆下治具芯片。
1
触摸［开始拆卸］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，XY 轴向待机位置移动，进行左右一次性更
换台车下降、前面护罩解除锁定。
2
打开前面护罩，从右侧装置转写校准治具放置台上拆下治具芯片。
3
关闭前面护罩，触摸［拆卸完成］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
4
触摸［完毕］。
显示转写校准治具放置台的高度测定画面。
装置前面
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章
操作顺序书
2-3. 校准
5
触摸［校准执行］。
用传感器测定治具放置台的高度。校准正常完成后，显示［校准处理正常完成。］的信息。
6
触摸［完毕］。
保存校准结果，显示治具芯片的安装画面。
7
触摸［开始安装］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，XY 轴向待机位置移动，进行左右一次性更
换台车下降、前面护罩解除锁定。
8
打开前面护罩，把治具芯片安装到右侧装置的转写校准治具放置台上。
治具芯片要把有电路图形的一面朝上置放。
9
关闭前面护罩，触摸［安装完成］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
10
触摸［完毕］。
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