RX-7R_维修手册.pdf - 第137页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 5 触摸［校准执行］。 进行左右一次性 更换台车 上升、 前面护罩的锁定后 ，以传感器测 定 基 板面 高度，显示 基 准 高度 的测定结果。 校准正常完成后 ，显示［ 校准处理 正常 完成。］的信息 。 6 确认测定结果没有问题。 7 触摸［完毕］。 63
第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
基板面
基板翘曲检测传感器转写调整治具板的拆卸完成后，显示如下画面。 把右侧装置传送轨道的基板压条位
置设定为“手按位置”。
1
触摸［装置内作业开始］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，XY 轴向待机位置移动，进行左右一次性更
换台车下降、前面护罩解除锁定。
2
打开前面护罩，把右侧装置前后通道传送轨道的基板压条位置移动到
“
手按位置
”
( )
。
3
关闭前面护罩，触摸［装置内作业完成］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
4
触摸［完毕］。
显示右侧装置前后通道的基板面高度测定画面。
装置前面
第 3 轨道
第 1 轨道
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第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
5
触摸［校准执行］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，以传感器测定基板面高度，显示基准高度
的测定结果。
校准正常完成后，显示［校准处理正常完成。］的信息。
6
确认测定结果没有问题。
7
触摸［完毕］。
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第
2
章
操作顺序书
2-3. 校准
高度开关
1
触摸［校准执行］。
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩锁定，传感器对吸嘴高度检测开关的高度进行测定。
会显示基板面高度与吸嘴高度检测开关的高度差，确认在±0.05 以内。如不符合规格入，请松
开螺丝调整差分，再次进行校准。
2
触摸［完毕］。
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