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6. 预防保养 QD029-27 254 NXT 机械手册 6.9 每 12000 小时的操作 6.9.1 湿气分离器的清扫 1. 拉 出模组。 （参考 " 5. 1 模组的拉出 / 插入 "） 2. 请将主电源开关 OFF。 3. 取下基座上的盖板。 4. 关闭气源接入处的外部气源，此时配管内 气压降低。 5. 拧松安装螺栓，拆下滤芯 Assy。 6. 使用压缩空气吹气清扫滤芯，污垢严重时 ，请更换新的部品。 fP…

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QD029-27 6. 预防保养
NXT 机械手册 253
7. 请使用清洁纸 (A4565T)，擦去附着在透镜上的尘埃和污垢。
注意 )擦去的时候，请注意不要过分用力而损伤透镜。
8. 请按照与拆除相反的步骤，安装拆除的部件。
注意 )安装具单元的时候，请注意在螺柱不要咬住导线，有可能发生短路。
9. 请取下线性马达轴的保护盖罩。
10.将主电源开关 ON 后接通模组的电源。
11.插入模组。（参考 " 5.1 模组的拉出 / 插入 "）
6.8.5 贴装工作头真空过滤器的更换 〈H04、H08、H12(S)、H12HS〉
请将贴装工作头真空过滤器与新品进行更换。（关于更换步骤，请 " 6.5.5 贴装工作头真空
过滤器的清扫 "）
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6. 预防保养 QD029-27
254 NXT 机械手册
6.9 每 12000 小时的操作
6.9.1 湿气分离器的清扫
1. 拉出模组。（参考 " 5.1 模组的拉出 / 插入 "）
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 取下基座上的盖板。
4. 关闭气源接入处的外部气源，此时配管内气压降低。
5. 拧松安装螺栓，拆下滤芯 Assy。
6. 使用压缩空气吹气清扫滤芯，污垢严重时，请更换新的部品。
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QD029-27 6. 预防保养
NXT 机械手册 255
6.9.2 真空泵过滤器的清扫
1. 拉出模组。（参考 " 5.1 模组的拉出 / 插入 "）
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 取下基座上的盖板。
4. 将真空布管内设定为大气压。
5. 拧松螺栓，拆除过滤器套。
6. 将滤芯从主体上拆下来。
7. 用中性洗涤剂清洗过滤器套。
8. 用压缩空气吹气清扫滤芯或者在污垢严重时更换新的部品。
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