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第 1 部 基本篇 第 2 章 生产 2- 24 <基板传送装置构造 概要> 传送限动器的安装位置是,当传送方向为左→右时安装在右侧,传送方向为右→左时安装在左侧。 使用传送限动器时 ,下游 (OUT) 侧在基板前端接 触到传送限动器 的位置上基板被 夹紧 。 1) 基板 传 入, IN 传感器①检测 出基板时,传送马 达⑩会驱动驱 动轴 ⑪ ,通过传送 带开始传送。 并且,限动器 ⑲ 同时 变为 ON 。 2 ) 当基板到达限动器 ⑲…

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1 基本篇 2 生产
2-23
2-7-1-1 传送部的构成
· 传送部的构成 (通道)
<基板传送装置各部分的名称>
1 IN
传感器
9
传送电磁阀
17
支撑销检出传感器受光
2 OUT
传感器
10
传送马达
18
挡块传感器
3 WAIT
传感器光缆受光
11
驱动轴
19
挡块
4 WAIT
传感器光缆发光
12
侧梁
20 (WAIT2
传感器光缆受光
)
5 C_OUT
传感器光缆受光
13
支撑台
IN
21 (WAIT2
传感器光缆发光
)
6 C_OUT
传感器光缆发光
14
支撑台
OUT
22 (WAIT2
传感器光缆受光
)
7 PWB
导轨
15
自动调整宽度马达
23 (WAIT2
传感器光缆发光
)
8 支撑台原点传感器
16
支撑销检出传感器发光
2
1
15
11
3
4
8
10
11
12
10
13
14
17
16
18
11
7
5
9
12
6
21
2
0
22
23
基板传送方向
18
19
1 基本篇 2 生产
2-24
<基板传送装置构造概要>
传送限动器的安装位置是,当传送方向为左→右时安装在右侧,传送方向为右→左时安装在左侧。
使用传送限动器时,下游(OUT)侧在基板前端接触到传送限动器的位置上基板被夹紧
1) 基板入,IN 传感器①检测出基板时,传送马达⑩会驱动驱动轴,通过传送带开始传送。
并且,限动器同时变为 ON
2) 当基板到达限动器,被 STOP 传感器检测到,支承台⑬⑭上升。此时,通过限动器、支
承销将基板的外形进行固定。临时固定完成后,限动OFF,完成基板固定。
3) 固定后,下一基板相同地运入,在 WAIT 传感器③的位置上待机。
4) 生产结束后解除固定,开始传出。
5) 最早的基板通过 C OUT 传感器⑤后,限动器再次变为 ON,进行下一基板的固定准备。
1 基本篇 2 生产
2-25
2-7-1-2 传送轨道宽度的调整
<在「自动调整基板宽度画面」中的调整方法>
(1)请从生产的菜单选择[生产辅助]-[支援准备]
(2)请对准传送宽度尺寸。
按下画面的 1「自动调整基板宽度」,即可显示「自动调整基板宽度」面。
「自动基板宽度调整」在单通道、双通道下,有不同的操作。
注意
按照以下说明点击[移动]按钮后,传送即随之启动。
点击之前,务必确认传送活动区域没有妨碍物体。
1) 自动基板宽度调整
③选择[移动]调整宽度。
达旋转,执行调整。
选择[宽度回原点]
执行传送的返回原点。
输入
[
尺寸
]
[
余宽
]
[余宽]度不适合基板传送宽度时,
输入。大致为
0.5mm
0.5mm
。)
请检查传送是否顺畅。