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第 1 部 基本篇 第 1 章 装置概要 1- 10 ◆ 打开安全 盖 (安全罩) 时, 先把 盖( 罩 ) 子推上去, 再把锁杆向 箭头 ( LOC K )方 向推, 锁好。 确认上了锁之后 , 再放开手。 ﹡没有上好 锁就松手时, 安全盖(安 全罩)有落下来的 危险。 ◆ 要关安全盖(安全 罩)时,要先解开 锁,再关闭 。 把安全盖(安全罩) 向上提, 再把锁杆向 O PEN 方向推,解锁。 (请注意,解锁时 要防止安全盖(安 全罩…

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1 基本篇 1 装置概要
1-9
1-1-6 本装置的构成
ATC 单元
⑤基板传送单元
CAL 块单元
负载控制单元(OP)
LNC120 Head 单元 VCS 单元 ⑩供料器台架单 共面性单元(OP)
Head 单元
8 贴片头
X-Y 单元 HMS 单元 吸嘴 RFID 阅读器(OP)
OCC 单元(L) CVS 单元(OP) 废弃盒
①前侧液晶监视器 ⑤迷你信号灯(选购项) ⑨后侧液晶监视器
②操作面板
空气调节器(护盖(罩)内侧)
⑩前部编带套件单元
Rev.D 以后
③电源开关 ⑦真空泵(装置内左侧) 后部编带套件单元
(选购项) Rev.D 以后
④信号灯 ⑧漏电断路器(后部-右侧)
键盘(OP)
1 基本篇 1 装置概要
1-10
打开安全(安全罩)时,先把盖(
子推上去,再把锁杆向箭头LOCK)方
向推,锁好。确认上了锁之后再放开手。
﹡没有上好锁就松手时,
安全盖(安全罩)有落下来的危险。
要关安全盖(安全罩)时,要先解开锁,再关闭
把安全盖(安全罩)向上提,
再把锁杆向 OPEN 方向推,解锁。
(请注意,解锁时要防止安全盖(安全罩)落下来受伤。
﹡不要在安全盖(安全罩)、手杆等处过渡增加负荷。
◆维护 ATC XYHead 时,
进入装置内部作业时,请特别注意不要从后面
撞到安全盖(安全罩)或监视器,不要撞到头,
作业时不要受伤
<开关安全盖(安全罩时的注意事项>
注意不要撞到头部、身体
OPEN(打开)
LOCK(锁定)
<在装置内作业时的注意事项>
1 基本篇 1 装置概要
1-11
1-2 本装置的构造
1-2-1 基板传送部分的构造
基板传送部的构成 (单通道)
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基板传送方向
1 IN 传感 9 传送电磁 17 支撑销检出传器受
2 OUT 感器 10 传送马达 18 挡块传感
3 WAIT 传感器光缆受光 11 驱动轴 19 挡块
4 WAIT 传感器光缆发 12 侧梁 20 (WAIT2 传感器光缆受光)
5 C_OUT 感器光缆受光 13 支撑 IN 21 (WAIT2 传感器光缆发)
6 C_OUT 传感器光缆发光 14 支撑台 OUT 22 (WAIT2 传感器光缆受光)
7
PWB
导轨
15
自动调整宽度马达
23 (WAIT2
传感器光缆发
)
8 支撑台原点传感器 16 支撑销检出传发光
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