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第 1 部 基本篇 第 2 章 生产 2- 97 2- 12 -1- 4 外形基准位置调整 要进行外形基准位置 调整。 ・ 外形基准位置调整

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2-12-1-3 传送控制
在传送通道状态画面显示后,执行传送动作,进行马达、支撑台等有关控制。
详情内容请参见「第 9 手动控制」的「9-4-1 传送控制」的各小项。
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2-12-1-4 外形基准位置调整
要进行外形基准位置调整。
外形基准位置调整
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2-12-1-5 基板传送
显示各种传感器的状态,一边进行基板搬入、基板搬出、释放基板、个别控制、自动调整基板宽度,
一边进行传送相关的调整。
(1) 操作
传送动作
选择传送动作。可选择(基板)搬入、(基板)搬入( 2 )搬出(基板释放基板重夹。
((基板)搬入( 2 )仅单通道传送才能选择)
起动时选择「基板搬入」
搬送动作显
根据指定的传送动作、动作站点,以图形显示传送状态的变化。
搬入后的 BOC 校准设置
选择基板搬入是否立即实施 BOC 校准。
「按照操作选项」根据操作选项的设置决定是否进行 BOC 标记识别。
「必须执行」必须进行 BOC 标记识别。
「不执行」不执行 BOC 标记识别。
状态
显示执行传送动作中的信息。
显示传送方向、BOC 标记、固定状态的信息。
轴退避
将轴进行退避。
执行
按下执行按钮,执行[基板搬入][基板搬出][释放基板] [
重夹]动作。