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第 2 部 功能 详解篇 第 9 章 手动 控制 9-5 9-3- 2 Head 设备控制 选择菜单的 [ H ead ] - [ Head 设备控制 ] ,即可显示 H ead 设备控制画面。 (1) 状态 1) OCC 在 XY 轴坐标、照明 ( 垂 直照明,角度照明 ,外圈照明 ) 的 ON 或 OFF 控 制结束时显示。 外圈照明,在未设置 选项的状态下显示为「** **」。 2) HMS 在 XY 轴坐标, Z 轴坐标控 制结…

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(2) 控制项目
用单选按钮选择控制项目。真空与吹风不能同时 ON
1) XY 轴移动
控制项目选择 [XY 轴移动]时,输入移动目标位置的坐标,按下[执行]按钮即可选择的控
制单元基准进行移动
坐标,在移动完时更显示。
2) Z 轴移动
控制项目选择 [Z 轴移动]时,输入移动目标位置的坐标,按下[执行]按钮后,被选择的 Head
即会移动。
坐标,在移动完成时更新显示。
3)
θ
轴移动
控制项目选择 [
θ
轴移动]时,输入移动目标位置的坐标[执行]按钮后被选择的 Head
即会移动。
坐标,在移动完成时更新显示。
4) ZA 轴移动
控制项目选择 [ZA 轴移动]时,从下拉框中选择移动目的地高度并按[执行]按钮后,ZA 轴即
移动。
移动完成时下拉框旁边的当前高度会更新。
5) 真空控制
对所选择的 Head 的真空的 ON/OFF,进行控制。
控制项目选择 [真空控制]时,按 [ON]按钮,[OFF]按钮,[ON/OFF]
按钮,进行控制。
压力状态,在控制结束时更新显示。
6) 吹风控制
对所选择的 Head 吹风的 ON/OFF,进行控制
控制项目选择[吹风控制]时,按[ON]按钮[OFF]按钮[ON/OFF]按钮,进行控制
压力状态,在控制结束时更新显示。
(3) 状态显示
XY 轴坐标,Z 轴坐标,
θ
轴坐标,压力值,在控制结束时显示
压力值会连续显示。
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9-3-2 Head 设备控制
选择菜单的[Head][Head 设备控制],即可显示 Head 设备控制画面。
(1) 状态
1) OCC
XY 轴坐标、照明(直照明,角度照明,外圈照明) ON OFF 制结束时显示。
外圈照明,在未设置选项的状态下显示为「****」。
2) HMS
XY 轴坐标,Z 轴坐标控制结束后显示。
(2) 控制单元选择
用单选按钮选择控制对象单元。MS 参数的选项单元里没有勾选(没有安装)的单元,不
选择。对机器设置[使用单元]里的设定,没有影响。
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(3) 控制项目
用单选按钮选择控制项目。
控制单元不同,显示的按钮不一样。
1) OCC
a) XY 轴移动
Head 控制的 XY 轴移动相同。
b) 垂直照明控制
OCC 垂直照明的 ON/OFF,进行控制。
·移动滑动条,设定光量。
· 选择“垂直照明控制, [ON]按钮,[OFF]按钮[ON/OFF]按钮,进行控制。
· 照明的状态,在控制结束时更新显示。
c) 角度照明控制
OCC 角度照明的 ON/OFF,进行控制 (b)直照明控制一样,要设定光量。
d) 外圈照明 (选购项)
OCC 外圈照明的 ON/OFF,进行控制。与(b) 垂直照明控制一样,要设定光量
MS 参数中没有设定选项时,不能选择
e) 极性控制
OCC 极性正/反,进行控制。
勾选控制项目的“极性控制时,用[]按钮[]
按钮,[/]按钮,进行控制。