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第 1 部 基本篇 第 4 章 制作生产 程序 4- 199 (1) 板标记的示 教 进行基板标记的示教 时，请在示教开始 后按以下步骤 进行操作。 1) 定刻度框 将刻度框的上边及左 边分别对准标记的 上端及 左端，按 [ 确定 ] 按钮确定 。 确定后，同样将下边 及右边分别对准标 记的下端及 右端 ，按 [ 确定 ] 按钮 确定。 此时，将自动识别标 记，取得校正所需 数据。 2) 置降噪级别 自动获得标记周围的 降噪级别，并显示…
第 1 部 基本篇 第4 章 制作生产程序
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选择[示教]，移动到输入的标记位置 XY 坐标后，会显示选择的摄像机的映像及刻度框(矩形框)。
1) 择设备
通过按下选择设备的摄像机按钮，可进行极性(明暗)的反转。
标记相对于基板映像过黑时，请按摄像机按钮使标记映像变白。
使用摄像机按钮使标记反转仅在刻度框的输入时有效。
2) 置照明模式
在标准照明的设置下可识别标记时，可省略设置的操作。
请仅在标记识别不稳定时，进行照明的设置。
照明模式
处 理
标准照明
识别通常的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片照明 在标记上有阻剂/保护胶片（保护膜）等，标准照明时标记反射
不佳，识别不稳定时使用。
用户定义照明
当上述 2 种情况下标记的反射均不佳，识别不稳定时，直接设
定垂直、角度照明的光量时使用。
在选择了用户定义时，需要直接输入照明值。
请选择角度/垂直照明，在编辑框中输入数值，或按 + - 按钮变更数值。
3) 动速度
可选择摄像机的移动速度。
触摸摄像机映像框，XY 轴即向 8 个方向移动，触摸过程中轴会持续移动。
注意
为了避免人身伤害，在示教操作过程中，切勿将手放入装置内部，也不要将脸
和头靠近装置。
第 1 部 基本篇 第4 章 制作生产程序
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(1) 板标记的示教
进行基板标记的示教时，请在示教开始后按以下步骤进行操作。
1) 定刻度框
将刻度框的上边及左边分别对准标记的上端及左端，按[确定]按钮确定。
确定后，同样将下边及右边分别对准标记的下端及右端，按[确定]按钮确定。
此时，将自动识别标记，取得校正所需数据。
2) 置降噪级别
自动获得标记周围的降噪级别，并显示到监视器。
用拍照映像框上下调整，使标记清晰可见，并且把周围的干扰降低到最低。
调整结束后请按下[确定]按钮。
[＊]
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[ ]ＰＲ
显示摄象机图像和刻度框。
首先设定上面及左面的刻度框。
请分别调整至与标记的上面及左面一致。
调整后按下[确定]按钮。
同样的，设定下面及右面的刻度框。
调整后按下[确定]按钮。
第 1 部 基本篇 第4 章 制作生产程序
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3) 设置标记形状
设置降噪级别后，标记形状将被自动判别，画面左侧标记形状列表的对应标记旁边会附带[*]。
判别结果有误时，请按框的上下选择正确的标记。
按下[确定]按钮进入下一步。
4) 设置检出框
接着，进行检出框的示教。
设置标记形状后，会自动显示标记尺寸 1.5 倍大的窗口，与画面中心一致。
要改变检出框的位置时，与刻度框的设置步骤相同。
在此，如果按下[Prev]按钮，可返回刻度框的设置。
按与刻度框同样的方式来设定检出框。
设置方法，与刻度框相同。
调整后按下[确定]按钮。