RS-1使用說明書.pdf - 第842页
第 2 部 功能 详解篇 第 10 章 设备 运行信息 10 - 16 (2) [ 重新设置 ] 按钮 点击 [ 重新设置 ] 按钮 ，或点击主菜单中 的 [ 初始化 ] － [ 重新设置 ] 后，显示如下画面 。 可清除一览中的特定 内容或所有内容。 · 按 [ 全部选择 ] 按钮 ，可选择所有的复 选框。 · 点击需要重新设置 的项目复选框，按 [ 确定 ] 按钮后 ，可显示询问信息画 面，点击 [ 确定 ] 后， 对象项目都将被重…
第 2 部 功能详解篇 第 10 章 设备运行信息
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10-3-6 轴运行信息
选择主菜单的[机器]－[轴运行信息]后，显示轴运行信息画面。
(1) 轴运行信息
No.
项目
内容
1 X 轴总移动距离 X 轴的移动距离累计。
2 Y 轴总移动距离 Y 轴的移动距离累计。
3 ZA 轴总移动距离 ZA 轴的移动距离累计。
4 Z 轴总移动距离 各 Head 的 Z 轴移动距离累计。
5
θ
轴总移动距离（旋转）
各 Head 的
θ
轴移动距离累计。
6 支撑台轴总移动距离 支撑台轴移动距离累计。
7 AWC 轴总移动距离 基板宽度自动调整轴（IN／OUT）移动距离累计。
第 2 部 功能详解篇 第 10 章 设备运行信息
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(2) [重新设置]按钮
点击[重新设置]按钮，或点击主菜单中的[初始化]－[重新设置]后，显示如下画面。
可清除一览中的特定内容或所有内容。
·按[全部选择]按钮，可选择所有的复选框。
·点击需要重新设置的项目复选框，按[确定]按钮后，可显示询问信息画面，点击[确定]后，
对象项目都将被重新设置，并关闭画面。
·点击[取消]按钮，则数据不被重新设置，画面仍显示原来的数据。
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10-3-7 传送运行信息
从主菜单中选择[机器]－[传送运行信息]后，可显示传送运行信息画面。
(1) 传送
No.
项目
内容
1
通过基板总数
通过的基板张数累计。
2 入口马达驱动次数 搬入马达驱动次数的累计。
3 入口马达驱动时间 搬入马达驱动时间的累计。
4 中心马达驱动次数
中心马达驱动次数的累计。
5 中心马达驱动时间
中心马达驱动时间的累计。
6
中心 2 马达驱动次数
中心 2 马达驱动次数的累计。
7
中心 2 马达驱动时间
中心 2 马达驱动时间的累计。
8 出口马达驱动次数 出口马达驱动次数的累计。
9 出口马达驱动时间 出口马达驱动时间的累计。
10
传送错误次数
传送错误次数的累计。
11 等待基板搬入时间 从基板可搬入状态到下一块基板被夹紧的时间累计。
12
等待基板搬出时间
基板传送动作开始到结束的时间累计。
13
等待基板传送时间
从被夹紧的基板释放到完成夹紧/搬出完了为止的时间
累计。
14
支撑台驱动次数
支撑台驱动次数的累计。
15 自动调整基板宽度驱动次数 自动调整基板宽度动作次数的累计。
16
IN 缓冲器选择器驱动次数
IN 缓冲选择器动作的次数累计。
17 OUT 缓冲器选择器驱动次数 OUT 缓冲选择器动作的次数累计。
18 传送挡块驱动次数 传送挡块动作次数的累计。
19 挡块驱动次数 支撑台挡块动作的累计次数